Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Home
Tungkol sa Amin
Kagamitan ng MH
Solusyon
Mga Gumagamit sa ibang bansa
Video
Makipag-ugnayan sa amin
product semiconductor indurstry equipments mdlb mc200 photomask cleaner-42
Tahanan> Mask Aaligner
  • Semiconductor indurstry equipments MDLB-MC200 Photomask cleaner
  • Semiconductor indurstry equipments MDLB-MC200 Photomask cleaner
  • Semiconductor indurstry equipments MDLB-MC200 Photomask cleaner
  • Semiconductor indurstry equipments MDLB-MC200 Photomask cleaner

Semiconductor indurstry equipments MDLB-MC200 Photomask cleaner

MDLB-MC200

Panlinis ng photomask

MASK.jpg

11.jpg

 

Yunit ng paglilinis:

Pinoproseso ang silid ng paglilinis gamit ang mga materyales na lumalaban sa kaagnasan, na may makinis na ibabaw at madaling linisin. Mayroong isang port ng paglabas ng basura sa ilalim ng inner cavity, na gumagamit ng gravity upang payagan ang basurang likido na mailabas sa pipeline ng paglabas ng basura ng pabrika. Mayroong suction port sa loob ng cavity, na maaaring napapanahong kunin ang kapaligiran mula sa cavity. Nilagyan ng 3 awtomatikong swing arm, makakamit nito ang awtomatikong paglilinis.

 

Talahanayan ng parameter ng configuration:

Hindi.

proyekto

Mismong

Remarks

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

Pangkalahatang Pangkalahatang-ideya

Pangalan ng Device: Photomask Cleaner

 

Modelo ng kagamitan: MDLB-MC200

 

Pangkalahatang sukat (humigit-kumulang): 1300mm (W) * 1000mm (D) * 1950mm (H)

 

Buong timbang ng makina (humigit-kumulang): 300KG

 

Taas ng operating table: 900 ± 50mm

 

Mga detalye ng laki ng substrate: angkop para sa 2/4/5/6/8 inch square mask plates

 

Daloy ng proseso: manu-manong paglalagay ng wafer → paglilinis (brush, solusyon sa paglilinis → high-pressure na tubig → megasonic na tubig → deionized na tubig → nitrogen gas drying) → manu-manong pagtanggal ng wafer

 

Uri ng kagamitan: semi-awtomatikong, manu-manong pagkarga at pagbabawas

 

 

 

 

 

 

 

2

 

 

 

 

Konstruksyon ng kagamitan

Shell: hindi kinakalawang na asero, makinis, lumalaban sa kaagnasan, madaling linisin

 

Cleaning chamber: PP, makinis, corrosion-resistant, madaling linisin

 

Pipeline: Ginagamit ang PU/PFA na tumutugma sa pipeline

 

Pag-iilaw sa trabaho: anti-corrosion yellow lighting lighting

 

Estilo ng pagbubukas ng pinto: Dobleng pinto na may function ng alarma sa pagbubukas ng pinto

 

Touch screen: 10 inch full-color na touch screen * 1

 

FFU: Class 100

 

Leak proof bottom support: available

 

 

 

3

 

 

Mataas na precision servo motor

Dami: 1

 

Bilis: -3000~3000rpm

Walang laman na load

Pinakamataas na acceleration ng spindle rotation: 3000rpm/S

Walang laman na load

Katumpakan ng bilis: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)

 

Resolusyon ng bilis: 1rpm

 

 

4

Awtomatikong swing arm

Dami: 3

 

Bilis ng swing arm: 1~30 °/S

 

 

 

 

 

 

 

 

5

 

 

 

 

 

Yunit ng paglilinis

Naglilinis ng swing arm: 1 channel ng deionized na tubig, 1 channel ng nitrogen gas

Megasonic Arm: 1 Megasonic, 1 High Pressure Water

Bili ng brush: 1 brush, 1 tubig, 1 solusyon sa paglilinis

 

Paraan ng paglilinis: awtomatikong paglilinis

 

Deionized water higop function: magagamit

 

Backwash (deionized na tubig): 1 ruta

 

Paraan ng supply: Solusyon sa paglilinis: Diaphragm pump

Deionized na tubig: direktang ibinibigay ng pabrika

 

Tangke ng presyon na may pagtuklas ng antas ng likido

 

 

 

6

 

Brush brush

Dami: 1 (may self-cleaning function)

 

Bilis: hanggang 1000rpm, adjustable na bilis

 

Manu-manong naaayos ang taas

 

 

 

 

7

 

 

Magkarga ng tray

Dami: 5

 

Materyal: PPS+hindi kinakalawang na asero

 

Sukat: Angkop para sa 2/4/5/6/8 inch square mask plates

 

Paraan ng pag-aayos ng substrate: Paraan ng pag-aayos ng kuko

 

 

 

 

8

 

 

Control system

Sistema ng kontrol: gamit ang kontrol ng PLC

 

Programa: 100 mga grupo, bawat pangkat ay binubuo ng 100 mga hakbang, na may maximum na isang hakbang na oras ng 3000.0 segundo

Resolusyon: 0.1S

 

Maaaring i-save, tawagan, baguhin, at tanggalin ang program

 

Magtakda ng mga pahintulot sa pag-encrypt: para sa mga operator ng device, technician, administrator, at manufacturer ayon sa pagkakabanggit

 

Uri ng signal tower: pula, dilaw, berde 3 kulay

 

 

Pagtatanong

product semiconductor indurstry equipments mdlb mc200 photomask cleaner-54Pagtatanong product semiconductor indurstry equipments mdlb mc200 photomask cleaner-55Email product semiconductor indurstry equipments mdlb mc200 photomask cleaner-56WhatsApp product semiconductor indurstry equipments mdlb mc200 photomask cleaner-57 WeChat
product semiconductor indurstry equipments mdlb mc200 photomask cleaner-58
product semiconductor indurstry equipments mdlb mc200 photomask cleaner-59tuktok
×

Kumuha-ugnay