MDLB-MC200
Panlinis ng photomask
Yunit ng paglilinis:
Pinoproseso ang silid ng paglilinis gamit ang mga materyales na lumalaban sa kaagnasan, na may makinis na ibabaw at madaling linisin. Mayroong isang port ng paglabas ng basura sa ilalim ng inner cavity, na gumagamit ng gravity upang payagan ang basurang likido na mailabas sa pipeline ng paglabas ng basura ng pabrika. Mayroong suction port sa loob ng cavity, na maaaring napapanahong kunin ang kapaligiran mula sa cavity. Nilagyan ng 3 awtomatikong swing arm, makakamit nito ang awtomatikong paglilinis.
Talahanayan ng parameter ng configuration:
Hindi. |
proyekto |
Mismong |
Remarks |
1 |
Pangkalahatang Pangkalahatang-ideya |
Pangalan ng Device: Photomask Cleaner |
|
Modelo ng kagamitan: MDLB-MC200 |
|
||
Pangkalahatang sukat (humigit-kumulang): 1300mm (W) * 1000mm (D) * 1950mm (H) |
|
||
Buong timbang ng makina (humigit-kumulang): 300KG |
|
||
Taas ng operating table: 900 ± 50mm |
|
||
Mga detalye ng laki ng substrate: angkop para sa 2/4/5/6/8 inch square mask plates |
|
||
Daloy ng proseso: manu-manong paglalagay ng wafer → paglilinis (brush, solusyon sa paglilinis → high-pressure na tubig → megasonic na tubig → deionized na tubig → nitrogen gas drying) → manu-manong pagtanggal ng wafer |
|
||
Uri ng kagamitan: semi-awtomatikong, manu-manong pagkarga at pagbabawas |
|
||
2 |
Konstruksyon ng kagamitan |
Shell: hindi kinakalawang na asero, makinis, lumalaban sa kaagnasan, madaling linisin |
|
Cleaning chamber: PP, makinis, corrosion-resistant, madaling linisin |
|
||
Pipeline: Ginagamit ang PU/PFA na tumutugma sa pipeline |
|
||
Pag-iilaw sa trabaho: anti-corrosion yellow lighting lighting |
|
||
Estilo ng pagbubukas ng pinto: Dobleng pinto na may function ng alarma sa pagbubukas ng pinto |
|
||
Touch screen: 10 inch full-color na touch screen * 1 |
|
||
FFU: Class 100 |
|
||
Leak proof bottom support: available |
|
||
3 |
Mataas na precision servo motor |
Dami: 1 |
|
Bilis: -3000~3000rpm |
Walang laman na load |
||
Pinakamataas na acceleration ng spindle rotation: 3000rpm/S |
Walang laman na load |
||
Katumpakan ng bilis: ± 1rpm (50rpm~3000rpm) |
|
||
Resolusyon ng bilis: 1rpm |
|
||
4 |
Awtomatikong swing arm |
Dami: 3 |
|
Bilis ng swing arm: 1~30 °/S |
|
||
5 |
Yunit ng paglilinis |
Naglilinis ng swing arm: 1 channel ng deionized na tubig, 1 channel ng nitrogen gas Megasonic Arm: 1 Megasonic, 1 High Pressure Water Bili ng brush: 1 brush, 1 tubig, 1 solusyon sa paglilinis |
|
Paraan ng paglilinis: awtomatikong paglilinis |
|
||
Deionized water higop function: magagamit |
|
||
Backwash (deionized na tubig): 1 ruta |
|
||
Paraan ng supply: Solusyon sa paglilinis: Diaphragm pump Deionized na tubig: direktang ibinibigay ng pabrika |
|
||
Tangke ng presyon na may pagtuklas ng antas ng likido |
|
||
6 |
Brush brush |
Dami: 1 (may self-cleaning function) |
|
Bilis: hanggang 1000rpm, adjustable na bilis |
|
||
Manu-manong naaayos ang taas |
|
||
7 |
Magkarga ng tray |
Dami: 5 |
|
Materyal: PPS+hindi kinakalawang na asero |
|
||
Sukat: Angkop para sa 2/4/5/6/8 inch square mask plates |
|
||
Paraan ng pag-aayos ng substrate: Paraan ng pag-aayos ng kuko |
|
||
8 |
Control system |
Sistema ng kontrol: gamit ang kontrol ng PLC |
|
Programa: 100 mga grupo, bawat pangkat ay binubuo ng 100 mga hakbang, na may maximum na isang hakbang na oras ng 3000.0 segundo Resolusyon: 0.1S |
|
||
Maaaring i-save, tawagan, baguhin, at tanggalin ang program |
|
||
Magtakda ng mga pahintulot sa pag-encrypt: para sa mga operator ng device, technician, administrator, at manufacturer ayon sa pagkakabanggit |
|
||
Uri ng signal tower: pula, dilaw, berde 3 kulay |
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Lahat ng Karapatan ay Nakalaan