Pinagmulan ng PLASMA |
RF+BIAS |
||
kapangyarihan |
1000W |
1000W |
|
600W |
600W |
||
Naaangkop na saklaw |
4-8 pulgada |
||
Iisang pagpoproseso ng slice count |
isa |
||
Mga sukat ng hitsura |
1140mm x 1050mm x 1620mm |
||
Kontrol ng system |
Sistema ng kontrol sa industriya |
||
Antas ng automation |
manwal |
Kakayahang Hardware |
||
Uptime/Available time |
≧ 95% |
|
Mean time para maglinis (MTTC) |
≦6 na oras |
|
Ang ibig sabihin ng oras ng pagkumpuni(MTTR) |
≦4 na oras |
|
Ang ibig sabihin ng oras sa pagitan ng mga pagkabigo(MTBF) |
≧350 oras |
|
Mean time sa pagitan ng assistant(MTBA) |
≧24 oras |
|
Ang ibig sabihin ng ostiya sa pagitan ng sirang(MWBB) |
≦1 sa 10,000 wafer |
|
Kontrol ng heating plate |
50-250 ° |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Lahat ng Karapatan ay Nakalaan