Industriya ng semiconductor RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal , China Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal Manufacturers, Supplier, Factory

Paglalarawan ng produkto

RIE PLASMA Photoresist Remover

Silicon carbide etching
Paglilinis ng ibabaw pagkatapos ng pag-ukit
DESCUM
Matigas na layer ng maskara, tuyo na pag-alis
Silicon oxide o silicon nitride etching
Pag-alis ng optical resistance sa pagitan ng media
Pag-alis ng nalalabi sa ibabaw

Industriya ng semiconductor RIE PLASMA PR removal machine Mga detalye ng Photoresist Residual Removal

paraan

Industriya ng semiconductor RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal factory

Industriya ng semiconductor RIE PLASMA PR removal machine Paggawa ng Photoresist Residual Removal

Kalamangan:

Pangunahing Kalamangan

Mataas na degumming rate: High-density na plasma, mabilis na degumming rate
Katatagan: Pagkatapos ng paggamot sa plasma, mataas na reproducibility
Remote plasma: Remote plasma, mababang ion na pinsala sa wafer
Itinatampok na software: independiyenteng pananaliksik at pagpapaunlad ng software, intuitive na proseso ng animation, detalyadong data at mga talaan
Pagkakapareho: Maaaring kontrolin ng Plasma ang presyon at temperatura sa pamamagitan ng butterfly valve
Salik ng kaligtasan: Ang mababang plasma ay binabawasan ang pinsala sa paglabas ng produkto.
Serbisyo pagkatapos ng benta: Mabilis na tugon at sapat na imbentaryo
Dust control: Matugunan ang mga kinakailangan ng customer.
Pangunahing teknolohiya: Sa halos 40% ng mga miyembro ng R&D team

Cassette Platform (MD-ST 6100/620)

1. 4 Wafer Carrier
2. Mataas na compatibility: ang flexibility ng pagpili ng laki ng wafer ay nagdudulot ng mataas na gastos at kahusayan sa solusyon
3. Mataas na katatagan ng vacuum transfer chamber:
Ang mature at stable na vacuum transmission na disenyo ay maturely na inilapat sa merkado para sa maraming taon at ito ay mahusay na kinikilala ng mga customer.
Ang disenyo ng turntable, compact na espasyo, makabuluhang binabawasan ang panganib ng PARTICAL
4. Nakataong interface ng pagpapatakbo ng software:
Intuitive humanized software operation interface, real-time na pagsubaybay sa katayuan ng pagpapatakbo ng makina;
Comprehensive alarma at fool-proof function upang maiwasan ang maling operasyon.
Napakahusay na function ng pag-export ng data, mga talaan ng iba't ibang mga parameter ng proseso, at pag-export ng mga talaan ng produksyon ng produkto.

robot

1. Ang isang beses na dual wafer pick at disenyo ng lugar ay nagdudulot ng mataas na produktibidad
2. Pagbutihin ang kahusayan sa espasyo.

Plate ng Pag-init

1. High-precision temperature control wafer plate
Wafer heating plate mula sa temperatura ng kuwarto hanggang 250°C, katumpakan ng pagkontrol sa temperatura ±1°C
Wafer heating plate ay na-calibrate ng mga propesyonal na instrumento, at ang pagkakapareho. Sa loob ng ±3°C, tiyakin ang pagkakapareho ng pag-alis ng pandikit
2. Single-chamber dual-wafer processing
Single-chamber dual-wafer na disenyo;
Independent power discharge design para sa bawat wafer, na tinitiyak na ang bawat wafer. Round PR removal effect;
Sa ilalim ng saligan ng pagtiyak sa kahusayan ng UPH, bawasan ang gastos ng produkto. Malakas na compatibility
3. Kapasidad ng produksyon: double-piece design reaction chamber, mataas na kahusayan sa produksyon.

detalye

Pinagmulan ng PLASMA			RF
kapangyarihan	ICP	_
kapangyarihan		BIAS	1000W(pagpipilian)
Naaangkop na saklaw			4~8 pulgada
Iisang pagpoproseso ng slice count			1
Mga sukat ng hitsura			850mmx900mmx1850mm
Kontrol ng system			PLC
Antas ng automation			manwal

Kakayahang Hardware
Uptime/Available time	≧ 95%
Mean time para maglinis （MTTC）	≦6 na oras
Ang ibig sabihin ng oras ng pagkumpuni（MTTR）	≦4 na oras
Ang ibig sabihin ng oras sa pagitan ng mga pagkabigo（MTBF）	≧350 oras
Mean time sa pagitan ng assistant（MTBA）	≧24 oras
Ang ibig sabihin ng ostiya sa pagitan ng sirang（MWBB）	≦1 sa 10,000 wafer
Kontrol ng heating plate	50-250 °

Test Ulat

Industriya ng semiconductor RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal supplier

Tingnan ang Factory

Pag-iimpake at Paghahatid

Profile ng Kompanya

Mayroon kaming 16 na taong karanasan sa pagbebenta ng kagamitan. Maaari kaming magbigay sa iyo ng walang-hintong Semiconductor na frontend at back end na solusyon sa Package Line Equipments mula sa China!