Teknikal na parameter | Pagsukat mode | PSI/VSI/super depth of field/maliwanag na field |
Isang field ng view ng pagsukat (20× objective lens) | 500*350μm (awtomatikong pagtahi) | |
Pag-aayos ng anggulo | ±12° manwal | |
Pagsasaayos ng Z-axis | 20mm electric + 50mm manual (magaspang at pinong mekanismo ng pagsasaayos) | |
Longitudinal scanning range | 0-10mm | |
Longitudinal na resolusyon | <0.2nm | |
Repeatability ng longitudinal roughness measurement | 0.01nm (PSI mode) | |
indikasyon ng error sa taas ng hakbang pagsukat | <0.75% (VSI mode) | |
Lateral na resolusyon: @550nm | 0.69μm (20× objective lens) | |
Masusukat na sample reflectivity | 0.1%-100% | |
Pagsukat ng oras | <5s (PSI mode) | |
Pag-andar ng pagsusuri | Pag-andar ng pagsusuri | 3D na pagsukat ng taas, 3D na pagtatasa ng pagkamagaspang, 2D na sukat ng sukat |
3D na output ng data | 3D point cloud data, grayscale na data ng imahe, naka-customize na ulat |
Pagpapalaki ng layunin | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
Numerical aperture | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Optical na resolution @550nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Lalim ng focus (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
Distansya ng pagtatrabaho (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Lahat ng Karapatan ay Nakalaan