Reaktif iyon etçilmesi korkutucu bir terim gibi görünse de, aslında teknoloji için küçük parçaları brunch boyutuna dönüştürmek amacıyla kullanılan bir yöntemdir. Bu küçük parçalar, akıllı telefonlar, bilgisayarlar gibi her gün kullanılan birçok cihazda temel bileşenlerdir. Bu sürecin ana amacı, malzemeden bölümleri çıkarmak ve böylece küçük ve kesin parçalar elde etmektir. Bu makalede, reaktif iyon etçilmesi nedir konusunu ele alacağız — RIE'nin diğer plazma-kimyasal tedavi yöntemlerine göre pozitif ve negatif yönleri; bu süreçte plazma kimyasının rolü; doğru şekilde RIE ekipmanını kullanarak nasıl yüksek kaliteli sonuçlar elde edilebileceği ve son olarak teknoloji aracı olarak hangi yere sahip olduğu konularını tartışacağız. Brdcrh xvv.
Reaktif iyon etmeşi, küçük iyonlar ve gaz kullanarak malzeme parçalarını uzaklaştıran karmaşık bir yöntemdir. Bunu, tam olarak belirli bir şekli oluşturmak için seçici olarak materyal parçalarını uçuracak yüksek güçlü bir spraya benzetebilirsiniz. Bu iyonların malzemenin yüzeyine fırlatılmasıyla ilgilidir. Iyonlar malzemeye çarptığında, onunla reaksiyon girer ve ablasyon yoluyla uzaklaştırılabilecek kadar küçük parçalara ayrılır. Malzemeyi hava ile tamamen yalıtılmış ve sıfır basınçta olan, vakum odası adı verilen bir tür kutuya koyarsınız. Bu küçük parçacıklar, radyo frekansı enerjisiyle üretilir ve burada iyonlar oluştururlar.
Detay açısından en iyi olanlardan biri olan reaktif iyon aşındırma, bu nedenle yüksek kesinlikte köşeli ve eğri özellikler üretebilir, ancak bunu sıvı yerine bir gaz ile yapar. Bu, bu yöntemle yapılan parçaların teknoloji [1] açısından tamamen uygun olduğu anlamına gelir. Ayrıca, bu en hızlı süreçlerden biridir; daha fazla parça kısa sürede üretilir. Bu süreç böylece çok hızlı olduğundan, belirli bir parçadan büyük talep olan şirketler için oldukça verimli olabilir.
Ancak reaktif iyon aşındırma da sorunları vardır. Bazen tüm malzemeler için uygun olmadığı gibi, bazı farklı türlerdeki malzemeler bu lazer kesimlere sahip olamaz. Ayrıca, uygun sıcaklık ve basınçlar yerinde olmalıdır. Yeni süreç doğru koşullar bulunmuyorsa beklediği kadar iyi sonuç vermeyebilir. Tek eksiklik, diğer aşındırma uygulamalarına göre kurulumun maliyet açısından yasaklayıcı olmasıdır, bu da bazı işletmelerin toz kaplama avantajından yararlanmasını engelleyebilir.
Reaktif iyon oyumu sürecinde plazma kimyası önemli bir yere sahiptir. Bu iyonlar, plazma tarafından üretilmiş olup, malzemenin kimyasal bağlarını bozarak kesmeye neden olur. Bağlar bir kez kırılırsa, malzeme minik parçalar halinde ayrılır ve ardından bir gaz akımı ile uçar gider. Kimyasal bir reaksionda elde edilen şey, kullanılan gaz türüne göre değişebilir. Örneğin, azot gazı, malzemeleri istenmeyen kalıntılar bırakmadan kaldırmaya izin veren temiz-oylama sağlarken, oksijen gazı, gereksinime bağlı olarak uygun olabilecek farklı bir tür oyama sağlar.
Güçlü süreç kontrolü, reaktif iyon aşındırma ile iyi sonuçlar elde etmek için kritik importance taşır. Bu, sıcaklık, basınç, gaz akışı ve iyon enerjileri gibi birçok parametreyi ölçmeyi gerektirir. Kararlı bir ortam, aşındırma çizgisinde tutarlı ve öngörülebilir sonuçlara katkıda bulunur. Eğer bu değişkenlerden biri etkili şekilde kontrol edilmezse, bu durum son ürün üzerinde yansıyabilir. Ayrıca, aşındırma işlemine başlamadan önce malzemeyi temizlemek ve uygun hazırlık yapmak gerekir. Eğer malzemeyi aşındırmaya başlamadan önce hazırlamak için yeterli zaman harcanırsa, bu daha iyi sonuçlara yol açmalıdır.
Bir örneği, mikrofabrikasyon endüstrisinde çeşitli teknolojik cihazlar için çok küçük parçalar yapmak amacıyla yaygın olarak kullanılan reaktif iyon oyama (RIE) tekniğidir. Grafitenin faydalı olduğu şeylerden biri de, modern teknolojiye esansiyel olan küçük elektronik devreler, sensörler ve mikrofluidik cihazlar üretmek için kullanılmaktadır. Ayrıca, birer molekül kadar küçük ölçeklerde gördükleri, işittikleri, hissettikleri ve hareket ettirdikleri cihazlar olan mikro-elektromekanik sistemler (MEMS) yapımında da kullanılmaktadır. Bu tür MEMS'ler, akıllı telefonlar gibi küçük cihazlardan daha büyük araçlara ve hatta tıp ekipmanlarına kadar birçok uygulamada kullanılmaktadır. Bu süreçler arasında, reaktif iyon oyaması kritik bir rol oynar çünkü bu ileri teknolojilere gerekli olan küçük ve hassas özellikler üretebilir.
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
