Minder-Hightech bir semi-havle üreticisidir. Semi-havler, cep telefonları ve bilgisayarlar gibi modern yaşamın birçok unsuru için kritik bileşenlerdir. Şimdi, semi-havleleri oluşturmak için birkaç adım vardır, ancak ilk adım, wafer olarak bilinen düz bir yüzeye bir desen çizmektir.

Bu deseni oluşturmak için wafer üzerine özel bir malzeme yerleştiriyoruz. Bu madde fotorezist olarak bilinir. Fotorezisti yerleştirdikten sonra ışığa maruz bırakırız. Işığın altından, fotorezistin bir kısmı sertleşir ve güçlenir. Gölge alanları yumuşak kalır ve silinebilir.

Wafer üzerinde istenen desene ulaştıktan sonra, daha fazla işleme yapacağımız alanlardan fotorezist çıkarılmalıdır. İşte bu noktada Plazma Temizleyici gerçek anlamda oynar.

Fotorezistin kaldırılması için plazma tabanlı yöntemler

Plazma, elektrik yükünün uygulanması nedeniyle yüksek enerji düzeyine sahip bir gaz durumudur. Ve bu aktifleştirilmiş gaz, wafer yüzeyindeki fotoresistin temizlenmesinde oldukça faydalıdır. Plazma sayesinde, fotoresist çatlaklaşabilir ve bunu temizlemek çok daha kolay hale gelir.

Fotoresistin kaldırılması için iki farklı plazma tekniğimiz vardır: kurutma oksidasyonu ve yanma.

Kurutma oksidasyonu: Bu teknikte, plazma direkt olarak fotoresist ile etkileşime girer. Plazma, temas ettiği yerde fotoresisti parçalar ve onu gaz haline dönüştürür. Bu gaz halindeki madde daha sonra wafer yüzeyinden temizlenebilir ve böylece ilerleme için temiz ve kullanılabilecek olan bölgeler açığa çıkar.

Ashing — Bu, bunu yapmanın farklı bir yolu; bu yöntemde fotoresist için reaktif olmayan plazma kullanılır. Plazma, fotoresisti küçük parçalara ayırır. Daha sonra bu küçük parçalar, vaferden su ile sökülebilir. Bu yaklaşım, gereksiz fotoresisti kaldırırken vafere zarar vermeden uygun bir seçenektir.

Fotoresist temizlemek için reaktif plazma kullanımı

Plazma Yüzey Tedavisi vaferden en zor fotoresisti temizlememize yardımcı olan çok güçlü bir araçtır. Plazma kendiliğinden bile inanılmazdır, ancak en iyi kısmı şudur ki, bunu süper seçici bir ajan haline getirebiliriz. Yani, yalnızca fotoresist ile özel olarak etkileşime girecek şekilde ayarlanabilir ve alttaki diğer malzemelerle etkileşime girmez.

Örneğin: Eğer wafer üzerinde metalin fotoresistin altına yerleştirildiği bir kalıbımız varsa, sadece fotoresist ile reaksiyon gösterebilen bir tür plazma kullanabiliriz. Böylece, alttaki metali hasar etmeden fotoresisti aşılabiliriz. Şimdi, bu süreç sırasında wafer'in tüm bölümlerinin bütünlüğünü korumamız gereken çok kritik bir durum.

Fotoresist'i Kaldırmak İçin Plazma Tekniği

Minder-Hightech, waferlerimizden fotoresisti kaldırmak için yeni nesil plazma-teknolojisini kullanmaktadır. Bu bize hata-free semi-iletiler üretme imkanı verir ki bunlar yüksek kalitededir.

Hızlı, ihtiyaçlarınıza göre ayarlanabilir Sistemlerimiz iş akışınıza seemsiz entegre olacak şekilde tasarlanmıştır. Bu da bizim fotoresisti kısa sürede çıkartabileceğimiz anlamına gelir. Ve hızlı olduğumuz için müşterilerimizin tamamen ihtiyaçlarını karşılarız, onların ihtiyaç duydukları zaman harika ürünler teslim ediyoruz.

Ancak plazma sistemlerimiz aynı zamanda çok hassas, verimliliklerinin üzerine ek olarak. Bu hassasiyet bize sadece fotoresistin kendi başına kaldırılmasını sağlar. Teknolojimiz, wafere ait tüm diğer kısımların süreçlerimizden zarar görmesini engeller ve bunu yapamazız. Bu yöntemsel uygulama, orada ürettiğimiz semi-hasilatların kalitesi için daha da önemli hale gelir.

Semi-hasilatlarda Plazma ile Fotoresist Kaldırılması

Yani, kısacası, plazma bizi wafer yüzeyinden bazı fotoresistleri son derece etkili bir şekilde çıkartmamızı sağlayan bir süper güce sahiptir. Minder-Hightech'te en yeni ve en iyi plazma teknolojisini kullanarak tam olarak sıfır defolu kalite semi-habiller üretiyoruz. Plazma sistemlerine gelince, çözümlerimiz hız ile doğruluğu dengelerecek şekilde üretilirken yine de çok verimli olurlar. Bu, müşterilerimizin taleplerini karşılayabilmemiz ve her zaman kaliteli ürünler sunabilmemiz anlamına gelir. Bu da süreçlerimizi, kullandığımız plazma sayesinde sürekli geliştirmemizi sağlar. plazma kaldırma teknolojisi, tüm türdeki elektronik cihazlar için güvenilir aletler olabilecek semi-habillerimizi mümkün olan en iyi hale getirir.