|
Wafer Boyutu
|
4”~ 8” wafer
|
|
Wafer kalınlığı
|
100~750 mikron
|
|
Wafer türü
|
Si, SiC, GaN veya diğer malzemeler
|
|
Film türü
|
Mavi film, UV film
Genişlik: 230 ~ 300 mm Uzunluk: 100 m Kalınlık: 0.05 ~ 0.2 mm |
|
Wafer taşıyıcı halkası
|
6”、8”DISCO
|
|
Yüklemek ve boşaltmak yöntemi
|
El ile wafer/tasıyıcı halka yerleştirme ve çıkarma
|
|
Film konumlandırma doğruluğu
|
±0.5mm
6” ve 8” waferler için standart 6” ve 8” wafer plakaları |
|
Vakum Pompası
|
Minder-Hightech
|
|
Elektrostatik kontrol
|
Deionizasyon fanı
|
|
Kontrol ünitesi
|
PLC kontrolüne dayalı, 10” dokunmatik ekranlı
|
|
Güvenlik koruması
|
Işık perdesi koruması ve acil durum durdurma düğmesi ile donatılmış
|
|
Güç kaynağı voltajı
|
Tek fazlı AC 220V, 16A
|
|
Sıkıştırılmış Hava
|
0.45~0.6MPa, akış hızı 70L/dk
|
|
Makine kasası
|
Beyaz plastik kaplama metal kasası
|
|
Volume
|
850mm (genişlik)*1750mm (derinlik)*1970mm (yükseklik)
|
|
Net ağırlık
|
480 kg
|
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
