Hizalayıcı / Hizalama Makinesi fotolitografisi , China Hizalayıcı / Hizalama Makinesi fotolitografisi Manufacturers, Suppliers, Factory

Ürün Açıklaması

Mask Hizalayıcı Litografi Makinesi

Mask Hizalayıcı küçük ve orta ölçekli entegre devreler, semi havüzer bileşenleri, optoelektronik cihazlar, yüzey ses dalgası cihazları, ince film devreleri ve güç elektronik cihazlarının geliştirilmesi ve üretiminde主要用于 kullanılır
Mask Hizalayıcı, aynı zamanda: mask hizalama maruz kalmalı makine, maruz kalma sistemi, litografi sistemi vb. çip üretimi için çekirdek ekipmandır. Fotoğraf baskı teknolojisi gibi bir teknolojiyi kullanarak ışık maruziyeti ile maske üzerindeki ince desenleri silikon diskine bastırır.
Ana bileşenlerinden oluşur: yüksek hassasiyetli hizalama çalışma masası, iki gözlü ayrı görüş alanı dikey mikroskop, iki gözlü ayrı görüş alanı yatay mikroskop, dijital kamera, bilgisayar görüntüleme bellek sistemi, çok noktalı ışık kaynağı (fly eye) maruz kalma başı, PLC kontrol sistemi, pneumatik sistem, vakum sistemi, doğrudan bağlı vakum pompa, ikincil anti-vibrasyon çalışma masası ve aksesuar kutusu.

Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture

Aligner /Alignment Machine photolithography factory

Karakteristik

1. Yüksek eşitlikli fly-eye maruz kalma başı / havada yüzen düzleştirme mekanizması / güvenilir vakum sıkıştırma maruz kalma. yüksek çözünürlük.
2. Mask hizalaması, istikrarlı ve alt tabaka beslemesiyle yapılır ki, bu da rehber gravitesinin ve kuvvetin tutarlılığını sağlar.
3. Boşluklu olmayan doğrusal rehber kullanılır, yüksek hassasiyet, hızlı hız.
4. Tüm modeller, AZ, Shipley, SU 8 gibi tüm standart fotoresistlerle çalışmak için uygun.
5. Tüm modellerde sistem tarafından alt tabana aktarılan desen kalitesi, ilk maske uygulamasından sonraki desen kalitesiyle 5 maske uygulaması sonrası aynı olmalıdır.
6. Vurgu süresi 1 saniye ile 1 saat arasında ayarlanabilir. Hizalama doğruluğu 1 µm

Aligner /Alignment Machine photolithography supplier

Aligner /Alignment Machine photolithography details

Speksiyasyon

Model	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Vurgu türü	tek taraflı			Çift yan hizalaması ve çift yan vurgusu
Maruz kalma modu	Temัสlı sert, yumuşak ve temัสsız yaklaşma
Işınma başı miktarı	1 Işınma başı			2 Işınma başı
Işık kaynağı türü	GCQ350 küresel merkür lambası						LED UV ışınma başı
Soğutma Yöntemi	Hava Soğutma
Işınma alanı	Φ100 mm	110×110mm	Φ100 mm		150mm×150mm
Maruz kalma modu	Temัสlı sert, yumuşak ile uyumlu
İşlenme eşitsizliği	Φ100mm<±3%<>	% ± 3
İşlenme çözünürlüğü	2μm	1 μm
Işın şidd şidd şiddensity (365 nm)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0～30mw/cm2
Işın düzensizliği	≤±4%	% ± 3
UV ışığı maksimum sapma açısı	4°	3°
Işınlama alanı	≤Φ117mm	Φ117mm	≤Φ117mm		Ön ve arkadan ≥ Φ115mm
Üçgen hata kompansasyon modu	Yarı küresel otomatik kompansasyon			Otomatik eliminasyon		3 nokta otomatik kompansasyon
X ve Y eksenlerinin gezintisi	±4mm	±5mm	±4mm		±5 mm
θ'nin gezintisi	±3°	≤5°	≤±5º		≤0.5°
XYZ tabaka kaydırma çözünürlüğü	0.5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
Mikroskop sistemi	İki tek varillikli mikroskop / İki CCD kamera
Ekran Boyutu	15 inç.
Görüntüleme sistem çözünürlüğü	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
Maske ve alt tabaka ölçüm uzaklığı	0.5 µm	0.3 µm
CCD hedef yüzeyinin köşe-köşegen boyutu	1/3,（6mm）						40mm～110mm
Ayar masası boyutu	≤ 5*5 inç Kare (Özelleştirilebilir özellikler)
Substratlar boyutu	Φ 100mm veya 100*100mm kare	60*49.5mm kare	2”-4”		1"x1"-5"x5"
Substrat kalınlığı	1-3mm	≤5 mm	1-3mm		≤5 mm
Vakum Pompası	Yağsız sessizlik（-0.07～－0.08MPα）
Temiz sıkıştırılmış hava	≥0.4MPα
Güç Kaynağı	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
Temiz odası sınıfı	Sınıf 100
Temiz oda sıcaklığı	25℃±2℃
Temiz odanın göreceli nem oranı	≤60%
Temiz odanın titreşim幅ı	≤4μm
Ekipman Boyutu	1300 ×720×1600mm				1500 ×800×1600mm
ekipman ağırlığı	200 kilo				280 kg

Yüksek hassasiyetli hizalama sistemi üretmek için neredeyse mükemmel bir hassasiyetli mekanik süreç gereklidir. Hizalama sisteminin başka bir teknik sorunu da hizalama mikroskopudur. Mikroskopun görüş alanını artırmak için birçok yüksek seviyeli litografi makinesi LED ışık kullanır. İki tane odaklama fonksiyonu olan hizalama sistemi vardır. Ana gövdeye yönelik iki göz ve iki görüş alanı ile oluşur, bir çift gözlük ve bir çift nesne merceği içerir (litografi makinesi genellikle kullanıcılar için farklı büyüme oranlarına sahip gözlük ve nesne merceğini sağlar). CCD hizalama sisteminin işlevi, maske ve örneğin hizalama işaretlerini büyütüp monitöre görüntülemektir.

Çalışma parçası aşaması, maske örnek genel hareket aşamasından (XY), maske örneği göreli hareket aşamasından (XY), döner aşamadan, örnek düzleştirme mekanizmasından, örnek odaklama mekanizmasından, wafer aşamasından, maske sıkıştırıcıdan ve çekme maske aşamasından oluşan litografi makinesinin bir ana parçasıdır. Örnek düzleştirme mekanizması, top oturumu ve yarım küre içerir. Düzleştirme sürecinde, önce basınçlı hava top oturumuna ve yarım kureye uygulanır ve ardından da odaklama el kolosu aracılığıyla top oturumu, yarım küre ve örnek parçası yukarı doğru hareket eder, böylece örnek parça maskeye karşı düzleştirilir ve ardından iki pozisyondaki üç yol solenoid vanası top oturumunu ve yarım kureyi vakum için değiştirerek kilitleme durumunu korur.

Minder-Hightech, size Aligner/Alignment Machine aracılığıyla fotolitografide ileri teknoloji sunmaktadır.

Elektronik ürünlerinizde devreler basarken yeterli hassasiyete sahip olamıyor musunuz? Minder-Hightech'in Aligner/Alignment Machine ile basılı devre üretiminde yüksek seviye bir kesinliğe ulaşacağınızdan emin olabilirsiniz.

Bu devrimci cihazla, fotolitografik yöntemle bir ürün üzerine yüksek çözünürlüklü bir resmi kolayca aktarabilirsiniz. Bu makine, malzemeyi görsel verilere göre hizalayan bir sistemle hassasiyeti garanti altına alır.

Resimler basıldıktan ve yüklendikten sonra, makine malzemenin resimlere göre nasıl hizalanacağına ve gerekli ışık maruziyeti miktarına ilişkin hesaplamalar yapar. Bu hesaplama, üretim sektöründeki teknolojik gelişmelere uyum sağlayacak şekilde güncellenebilen en yeni bilgisayar yazılımı kullanılarak yapılır.

Mikroyuvarlaklar, radyofrekans (RF) devreleri ve dahili devreler içeren geniş bir yelpazede üretim imkanı sağlayacak. Birim, kimyasal oyama ve elektroplating gibi çeşitli tamamlayıcı işlemler eklenerek en iyi oyderinizi, iz genişliğini ve katman-ka-katman hizalamayı sağlayabilir.

Ürünümüzün avantajı, desenlerin malzemenin üzerinde büyük bir hassasiyetle yerleştirildiğiğini garanti eden yüksek hizalama yeteneğindedir. Deformasyon olmadan birçok karmaşık tasarımını rahatlıkla yazdırabilirsiniz.

Kullanıcı dostu, kompakt ve verimli bir yapıya sahip olup, farklı üretim tesisleri veya şirket boyutları için uygun hale getirilmiştir. Ayrıca, cihazımız teknik destek ekibimizle el ile bakım ve yerinde eğitimle birlikte gelmektedir.

Minder-Hightech’in Aligner/Alignment Makinesi, devrelerinizi yazdırırken en iyi sonuçları elde etmenize yardımcı olmak için fotolitografi teknolojisini kullanır. Geleneksel yazdırma yöntemlerinin sağlayamadığı, size yüksek doğruluk ve hassasiyet sunan teknolojinin yeni bir seviyesini deneyin. Minder-Hightech’in Aligner/Alignment Makinesi, üretim şirketinizin rekabetçi avantajı korumak için ihtiyaç duyduğu araçtır. Pazardaki en iyi Aligner/Alignment Makinesi teknolojisinin avantajlarından faydalanmak için hemen bizimle iletişime geçin.

ana sayfa

Hakkımızda

MH Equipment

Çözüm

Yurtdışı Kullanıcılar

video

Bize Ulaşın

Hizalayıcı / Hizalama Makinesi fotolitografisi

Daha Fazla Ürün

MD-FS Serisi Kapasitör sarım makinesi

MD-FDS Serisi Otomatik Kapasitör sarım makinesi

MD-EFS Serisi Kapasitör Sarım Makinesi

MD-EDFS Serisi Film Kapasitör Sarım Makinesi

Sorgu

Articles

Products

Get In Touch