Hizalayıcı / Hizalama Makinesi fotolitografi, Çin Hizalayıcı / Hizalama Makinesi fotolitografi Üreticileri, Tedarikçiler, Fabrika

Ürünler Açıklama

Maske Hizalayıcı Litografi Makinesi

Mask Hizalayıcı esas olarak küçük ve orta ölçekli entegre devrelerin, yarı iletken bileşenlerin, optoelektronik cihazların, yüzey akustik dalga cihazlarının, ince film devrelerinin ve güç elektroniği cihazlarının geliştirilmesinde ve üretiminde kullanılır.
Maske Hizalayıcı Ayrıca maske hizalama pozlama makinesi, pozlama sistemi, litografi sistemi vb. olarak da bilinir, çip üretimi için temel ekipmandır. Maske üzerindeki ince desenleri ışığa maruz bırakarak silikon levha üzerine basmak için fotoğraf baskısına benzer bir teknoloji kullanıyor
Temel olarak şunlardan oluşur: yüksek hassasiyetli hizalama tezgahı, binoküler ayrılmış görüş alanı dikey mikroskop, binoküler ayrılmış görüş alanı yatay mikroskop, dijital kamera, bilgisayar görüntüleme hafıza sistemi, çok noktalı ışık kaynağı (sinek gözü) pozlama kafası, PLC kontrol Sistemi, Pnömatik sistem, vakum sistemi, direkt bağlantılı vakum pompası, ikincil titreşim önleyici çalışma tezgahı ve aksesuar kutusu

Hizalayıcı / Hizalama Makinesi fotolitografi üretimi

Hizalayıcı / Hizalama Makinesi fotolitografi fabrikası

Karakteristik

1. Yüksek homojenlik sinek gözü maruz kalma kafası / hava yüzdürme tesviye mekanizması / güvenilir vakum kenetleme maruziyeti. yüksek çözünürlük.
2. Maskeyle hizalama yöntemi, kılavuz yerçekiminin ve kuvvetin tutarlılığını sağlayan sabit ve alt tabaka beslemesini korur.
3. Boşluksuz düz kılavuz, yüksek hassasiyet, hızlı hız kullanma.
4. Tüm modeller, tüm standart fotorezistlerle çalışmaya uygundur. AZ, Shipley, SU 8 gibi.
5. Tüm modeller Sistemin 5 maske uygulamasına aktardığı desen kalitesi, ilk maske uygulamasından sonraki desen kalitesi ile aynı olmalıdır.
6. Pozlama süresi 1 saniye ile 1 saat arasında ayarlanabilir. Hizalama doğruluğu 1 µm

Hizalayıcı / Hizalama Makinesi fotolitografi tedarikçisi

Hizalayıcı / Hizalama Makinesi fotolitografi ayrıntıları

Özellikler

Model	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Pozlama türü	Tek taraf			Çift taraflı hizalama ve çift taraflı pozlama
Pozlama modu	Sert, yumuşak ve temassız yakınlıkla temas kurun
Pozlama başlığı miktarı	1 Pozlama başlığı			2 Pozlama başlığı
Işık kaynağı türü	GCQ350 küresel cıva lambası						LED UV pozlama başlığı
soğutma yöntemi	Hava soğutma
Pozlama alanı	Φ100mm	110 × 110mm	Φ100mm		150mm x 150mm
Pozlama modu	Sert, yumuşak temasla uyumlu
Pozlama eşitsizliği	Φ100mm<±3%<>	≤ ± 3%
Pozlama çözünürlüğü	2μm	1 μm
Işın yoğunluğu(365 nm)	≥6 mw/ cm²	≤40 mw/cm2	≥5 mw/cm2		0~30 mw/cm2
Işın homojensizliği	≤ ± 4%	≤ ± 3%
UV ışığı maksimum sapma açısı	4 °	3 °
Aydınlatma aralığı	≤Φ117mm	Φ117mm	≤Φ117mm		Ön ve arka ≥ Φ115mm
Kama hatası telafi modu	Yarım küre otomatik telafi			Otomatik eleme		3 noktalı otomatik telafi
X ve Y eksenlerinin hareketi	± 4mm	± 5mm	± 4mm		± 5 mm
θ'nın yolculuğu	± 3 °	≤5 °	≤±5°		≤0.5 °
XYZ alt tabaka yer değiştirme çözünürlüğü	0.5μm	0.3μm	0.3μm		0.01μm
Mikroskop sistemi	İki tek namlulu mikroskop /İki CCD kamera
Ekran boyutu	15 inç
Görüntüleme sistemi çözünürlüğü	2μm	1.5μm	1.5μm		1.5μm
Maske ve alt tabaka ölçüm mesafesi	0.5 μm	0.3 μm
CCD hedef yüzeyinin çapraz boyutu	1/3,(6mm)						40 mm ～ 110 mm
Tablo boyutunu ayarlama	≤ Kare 5*5 inç (Özelleştirilebilir özellikler)
Yüzey boyutu	Φ 100mm veya 100*100mm kare	60*49.5 mm kare	2”-4”		1"x1"-5"x5"
Yüzey kalınlığı	1-3mm	≤5 mm	1-3mm		≤5 mm
Vakum pompası	Yağsız susturma（-0.07～－0.08MPα）
Basınçlı havayı temizleyin	≥0.4MPα
Power Supply	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
Temiz oda sınıfı	Sınıf 100
Temiz oda sıcaklığı	25 ℃ ± 2 ℃
Temiz odanın bağıl nemi	≤60%
Temiz odanın titreşim genliği	≤4μm
Ekipman boyutu	1300 × 720 × 1600 mm				1500 × 800 × 1600 mm
Ekipman ağırlığı	200kg				280kg

Yüksek hassasiyetli hizalama sistemi üretmek için mükemmele yakın hassasiyette mekanik prosese ihtiyaç vardır. Hizalama sisteminin bir diğer teknik sorunu da hizalama mikroskobudur. Mikroskopun görüş alanını geliştirmek için birçok üst düzey litografi makinesi LED aydınlatma kullanır. Odaklanma işlevine sahip iki set hizalama sistemi vardır. Esas olarak mikroskobun ana gövdesini hedef alan iki göz ve iki görüş alanından, bir çift göz merceğinden ve bir çift objektif merceğinden oluşur (litografi makinesi genellikle kullanıcılara farklı büyütme oranlarına sahip göz merceği ve objektif merceği sağlar). CCD hizalama sisteminin işlevi, maskenin ve numunenin hizalama işaretlerini büyütüp bunları monitörde görüntülemektir.

İş parçası aşaması, maske örneği genel hareket aşaması (XY), maske örneği göreceli hareket aşaması (XY), dönme aşaması, örnek dengeleme mekanizması, örnek odaklama mekanizmasından oluşan litografi makinesinin önemli bir parçasıdır. , levha aşaması, maske kelepçesi ve dışarı çekilebilir maske aşaması. Numune dengeleme mekanizması bir bilya yuvası ve bir yarım küreden oluşur. Tesviye işleminde öncelikle bilye yuvasına ve yarım küreye basınçlı hava uygulanır ve ardından bilye yuvası, yarım küre ve numune parçası odaklama el çarkı boyunca yukarı doğru hareket eder, böylece numune parçası maskeye karşı dengelenebilir ve ardından iki konumlu üç yollu solenoid valf, tesviye durumunu korumak amacıyla bilya yuvasını ve yarım küreyi kilitlemek için vakuma geçirir.

Minder-Hightech, Hizalama/Hizalama Makinesi aracılığıyla size fotolitografi için ileri bir teknoloji getiriyor.

Elektronik ürünlerinizdeki devreleri basarken yeterli doğrulukta sorun mu yaşıyorsunuz? Minder-Hightech'in Hizalama/Hizalama Makinesi ile baskılı devre üretiminizde üst düzey hassasiyet elde edeceğinizi bilmenin rahatlığını yaşayın.

Bu devrim niteliğindeki ürünle, yüksek çözünürlüklü bir görüntüyü fotolitografi kullanarak bir ürüne sorunsuz bir şekilde aktarabilirsiniz. Bu makine, malzemeyi görüntüye hizalayan operasyonel bir sistem aracılığıyla doğruluğu garanti eder.

Resimler basıldıktan ve yüklendikten sonra makine, gerekli pozlama miktarını ve malzemenin resimlere göre nasıl hizalanacağını hesaplar. Bu hesaplama, imalat sanayindeki teknolojik gelişmelere ayak uydurabilecek şekilde güncellenebilen en son bilgisayar yazılımı kullanılarak yapılmaktadır.

Mikro devreler, radyofrekans (RF) devreleri ve yerleşik devreler dahil olmak üzere geniş bir yelpaze oluşturmanıza olanak tanır. Ünite, kimyasal aşındırma ve elektrokaplama gibi çeşitli tamamlayıcı prosedürlerin eklenmesiyle en iyi aşındırma derinliğini, iz genişliğini ve katmandan katmana hizalamayı üretebilir.

Ürünümüzün avantajı, desenlerin malzeme üzerine büyük bir hassasiyetle yerleştirilmesini garanti eden yüksek hizalama üretme kabiliyetinde yatmaktadır. Pek çok karmaşık tasarımı herhangi bir deformasyon olmadan rahatlıkla basabilirsiniz.

Kullanıcı dostu, kompakt ve verimli olması, çeşitli üretim tesislerine veya şirket büyüklüğüne uygun olmasını sağlar. Ayrıca cihazımız, teknik destek ekibimiz tarafından manuel bakım ve yerinde eğitim ile birlikte gelir.

Minder-Hightech'in Hizalama/Hizalama Makinesi, devrelerinizi yazdırırken en iyi sonuçları elde etmenize yardımcı olmak için fotolitografi teknolojisini kullanır. Geleneksel baskı yöntemleriyle karşılaştırılamayacak kadar yüksek doğruluk ve hassasiyet sunan yeni bir teknoloji düzeyini deneyimleyin. Minder-Hightech'in Hizalama/Hizalama Makinesi, üretim şirketinizin rekabette bir adım önde olması için ihtiyaç duyduğu şeydir. Piyasadaki en iyi Hizalama/Hizalama Makinesi teknolojisinin avantajlarından yararlanmak için bugün bizimle iletişime geçin.

Ana Sayfa

Hakkımızda

MH Ekipmanları

Çözüm

Denizaşırı Kullanıcılar

Video

Bize Ulaşın

Hizalayıcı / Hizalama Makinesi fotolitografisi Türkiye

Daha fazla Ürünler

MD-FS Serisi Kondansatör sarma makinesi

MD-FDS Serisi Otomatik Kondansatör sarma makinesi

MD-EFS serisi Kondansatör Sarma Makinesi

MD-EDFS Serisi film Kondansatör Sarma Makinesi

Sorgula

mal

Ürünler

İletişime Geçin

Hizalayıcı / Hizalama Makinesi fotolitografisi Türkiye

Daha fazla Ürünler

Sorgula

mal

Ürünler

İletişime Geçin

İletişime geçin