Otomatik CMP Direk Temizleme, Çin Otomatik CMP Direk Temizleme Üreticileri, Tedarikçiler, Fabrika

Ürün Açıklaması

Wafer Kimyasal Mekanik Parlatma Sonrası Temizlik Ekipmanları

CMP Postası Chean

Makine özellikleri

Güçlü süreç yeteneği
Çift hazneli fırçalama, geniş bir işlem uygulanabilirliği yelpazesine sahiptir
Ekipman, 2200*800*2200 (mm) boyutlarında küçük bir alanı kaplar

Uygulama Alanları

Fırçalamadan sonra 6-8 inç CMP
SIC veya diğer alt tabakaların taşlanmasından sonra temizlik

teknik parametreler

4 inç ve 6 inç CMP'den sonra temizlik
Çift hazneli tasarım, bağımsız hazne çalışması Islat ve kurut veya kurut ve kurut
Yüksek hızlı sıkma kurutma SRD

LoadPort ünitesi, yükleme ünitesi

LoadPort bu cihazın yükleme birimidir

Islak Kaset besleme
Sprey nemlendirme fonksiyonuna sahiptir

Fırça ünitesi, Wafer temizleme ünitesi

İki farklı temizleme solüsyonunu destekleyebilen çift hazneli ünite
Fırçalama pozisyonu tarife göre ayarlanabilir Bantlı Konveyör

SRD ünitesi, Wafer kurutma ünitesi

Wafer kelepçe tipi sıkma kurutma, maksimum 4000RPM hız
Wafer yüzeyinde AS temizliği yapabilir ve DIW püskürtebilirsiniz

BOŞALTMA ünitesi, kesme ünitesi

Boşaltma ünitesi, gofret çıkışının temizliğini sağlamak için bağımsız bir FFU'ya sahiptir

Konveyör

Islak alan bant konveyördür

Robot ışınlanması için kuru alan

Fırça ünitesi açıklaması

Bu cihazın fırça ünitesi soldaki şekilde görüldüğü gibi BU1 ve BU2 olmak üzere iki adet fırçalama ünitesinden oluşmaktadır.

Her ünitenin fırça basıncı ayrı ayrı ayarlanabilir (reçetede belirtildiği gibi) ve her fırça bıçağı ünitesi ayrı ayrı farklı kimyasal temizleme solüsyonları ile yıkanabilir.

Makinenin fırçası piyasada yaygın olarak kullanılan PVA fırça tipindedir.
Boşluklar arasındaki iletim bantlı konveyördür. Boşluk içinde bir DIW RINSE vardır

SRD ünitesi

SRD ünitesi, gofret yüzeyini fiziksel olarak temizleyebilen ve döndürerek kurutabilen bir sıkıştırma MANİVİ ve bir AS KOLU ile donatılmıştır.

Özellikler

Ekipman boyutu:	2200 * 800 * 2200 (mm)
Yükleme ve boşaltma yöntemleri	kuru/ıslak/kuru
Fırçalama ünitesi sayısı	2
SRD ünitelerinin sayısı	1
Taşıma yöntemi	Islak bölge bant taşımacılığı, kuru bölge robot taşımacılığı
1 fırçalama haznesine sahip ekipmanın boyutu 18508002200'dür

Paketleme ve Teslimat

Şirket Profili

FAQ

1. Fiyat Hakkında:
Tüm fiyatlarımız rekabetçi ve pazarlığa açıktır. Fiyat, cihazınızın yapılandırmasına ve özelleştirme karmaşıklığına bağlı olarak değişir.

2. Örnek Hakkında:
Sizin için numune üretim hizmeti sağlayabiliriz ancak bunun için bir miktar ücret ödemeniz gerekebilir.

3. Ödeme Hakkında：
Plan onaylandıktan sonra, önce bize bir depozito ödemeniz gerekir ve fabrika malları hazırlamaya başlayacaktır.
Ekipman hazır ve siz bakiyeyi ödersiniz, biz kargoya veririz.

4. Teslimat Hakkında:
Ekipman imalatı tamamlandıktan sonra kabul videosunu size göndereceğiz, ayrıca siz de sahaya gelip ekipmanı inceleyebilirsiniz.

5. Kurulum ve Hata Ayıklama:
Ekipman fabrikanıza ulaştıktan sonra, ekipmanı kurmak ve hata ayıklamak için mühendisler gönderebiliriz. Bu hizmet ücreti için size ayrı bir teklif sunacağız.

6. Garanti Hakkında:

Ekipmanlarımızın 12 aylık garanti süresi vardır. Garanti süresinden sonra herhangi bir parça hasar görürse ve değiştirilmesi gerekirse, sadece maliyet fiyatını talep edeceğiz.