Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Fiyat Al

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Anasayfa
Hakkımızda
MH Equipment
Çözüm
Yurtdışı Kullanıcılar
Video
Bize Ulaşın
Ana Sayfa> MH Equipment> Kıvırma ve Parlatma Makinesi
  • Otomatik CMP Sonrası Temizlik
  • Otomatik CMP Sonrası Temizlik
  • Otomatik CMP Sonrası Temizlik
  • Otomatik CMP Sonrası Temizlik
  • Otomatik CMP Sonrası Temizlik
  • Otomatik CMP Sonrası Temizlik
  • Otomatik CMP Sonrası Temizlik
  • Otomatik CMP Sonrası Temizlik
  • Otomatik CMP Sonrası Temizlik
  • Otomatik CMP Sonrası Temizlik
  • Otomatik CMP Sonrası Temizlik
  • Otomatik CMP Sonrası Temizlik

Otomatik CMP Sonrası Temizlik

Ücretsiz Teklif Alın
Ürün Açıklaması

Wafer Kimyasal Mekanik Parlatma sonrası Temizleme Ekipmanı

CMP Sonrası Temizlik

Makine özellikleri

Güçlü süreç yeteneği
Çift oda fırçalama, geniş bir süreç uygulanabilirliği aralığına sahip
Ekipman küçük alan kaplar, boyutları 2200 * 800 * 2200 (mm)

Uygulama alanları

6-8 inç CMP sonrası fırçalama
SIC veya diğer alt tabakaların üzerine empoze edilmesinden sonra temizleme

Teknik Parametreler

4-inci ve 6-ncı CMP'den sonra temizleme
Çift odalı tasarım, bağımsız oda operasyonu İçi ıslak ve dışı kuru veya içi kuru ve dışı kuru
Yüksek hızda döner kurutma SRD

LoadPort birimi, yükleme birimi

LoadPort bu cihazın yükleme birimidir
Islak kaset beslemesi
Bulaşık nemlendirme fonksiyonuna sahip

Fırça birimi, Wafer temizleme birimi

Çift odalı birim, iki farklı temizleme çözümünü destekleyebilir
Fırça konumu tarifye göre ayarlanabilirBelt Conveyor

SRD birimi, Wafer kurutma birimi

Wafer kavrama türünde döner kurutma, maksimum 4000RPM hızıyla
Wafer yüzeyinde AS temizliğini gerçekleştirebilir ve DIW spraysi yapabilir

UNLOAD birimi, kesim birimi

UnLoad birimi bağımsız bir FFUya sahip olup wafer çıktısının temizliğini garantiler

Konveyör

Nemli alanbelt konveyör
Kurutma alanı Robot teleportasyonu için

Fırça birimi açıklaması

Sol taraftaki şekilde gösterildiği gibi, bu cihazın fırça birimi iki fırçalama biriminden oluşmaktadır, yani BU1 BU2.
Her birimin fırça basıncı ayrı ayrı ayarlanabilir (tarifde belirtilen gibi), ve her bir fırça bıçak birimi farklı kimyasal temizleme çözeltileriyle ayrı ayrı yıkanabilir.
Makinanın fırçası, piyasadaki yaygın kullanılan tür olan PVA fırçasıdır.
Odalar arasındaki aktarım kemerli taşıyıcıdır. Odanın içersinde bir DIW AÇIKLAMA bulunmaktadır

SRD birimi

SRD birimi, fiziksel olarak daha derin temizleme ve döner kurulama yapmak için bir sıkıştırma CHUCK ve bir AS KOLU ile donatılmıştır.
Speksiyasyon
Ekipman boyutu:
2200 * 800 * 2200 (mm)
Yüklemek ve boşaltma yöntemleri
kuru giriş/ıslak giriş/kuru çıkış
Fırça birimlerinin sayısı
2
SRD birimlerinin sayısı
1
Ulaşım yöntemi
Nemli bölge kemer taşıma, kurak bölge robot taşıma
Fırça odalı ekipmanın boyutu 1850 * 800 * 2200'dür
Paketleme ve Teslimat
Şirket Profili
SSG
1. Fiyat Hakkında:
Tüm fiyatlarımız rekabetçi ve müzakere edilebilir. Fiyat, cihazınızın yapılandırmasına ve özelleştirme karmaşıklığına bağlı olarak değişir.

2. Örnek Hakkında:
Sizin için örnek üretim hizmetleri sunabiliriz, ancak bazı ücretler ödemelisiniz.

3. Ödeme Hakkında:
Plan onaylandıktan sonra, önce bize bir anapara ödemeniz gerekir ve fabrika malzemeleri hazırlamaya başlayacak. Ekipman hazır olduğunda ve kalan ödemiş olduktan sonra, gönderimi yapacağız.
eşya hazır olduğunda ve bakiyeyi ödediğinizde, gönderimi yapacağız.

4. Teslimat Hakkında:
Ekipman üretimi tamamlandığında, size kabul videosunu göndereceğiz ve ayrıca ekipmanı incelemek için yere gelebilirsiniz.

5. Kurulum ve Ayarlama:
Ekipman fabrikana ulaştığında, mühendislerimizi göndererek ekipmanı kurup ayarlayabiliriz. Bu hizmet için ayrı bir fiyat teklif edeceğiz.

6. Garanti Hakkında:

Ekipmalarımız 12 aylık garanti süresine sahiptir. Garanti süresinin sonunda, herhangi bir parça hasar görmüşse ve değiştirilmesi gerekiyorsa, sadece maliyet fiyatını alırız.

Daha Fazla Ürün

Sorgu

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Gizlilik Politikası

Sorgu Email WhatsApp Top
×

İLETİŞİME GEÇİN