Otomatik Tek Plakalı Gofret Kimyasal Mekanik Parlatıcı CMP, Çin Otomatik Tek Plakalı Gofret Kimyasal Mekanik Parlatıcı CMP Üreticileri, Tedarikçiler, Fabrika

Ürün Açıklaması

ATOM Tek Plakalı CMP

Makine özellikleri

Cihaz esnektir ve birden fazla kafayı destekleyebilir.
Ekipmanın proses kabiliyeti aynı boyuttaki ürünlerin ana akım model seviyesine yakındır.
Cihazlar arası işlemlerin iyi tutarlılığı.

Uygulama Alanları

4-8 inç STI, ILD/IMD, TSV, TGV parlatma ve SiC, LT, LN, GaAs vb. bileşiklerin yüzey parlatma

teknik parametreler

4 inç, 6 inç, 8 inç başlıklar, çoklu bölge kontrolü
Φ20 inç 508MM Plaka Tipi
Baş basıncı kontrol doğruluğu<0.05PSI
Kafa ve Plaka dönüş hızı kontrol hassasiyeti <2RPM

ürün otomatik tek plakalı gofret kimyasal mekanik parlatıcı cmp-53

1. LoadPort Ünitesi

Port, Kaseti Qtank'a daldırmak için çevrilebilir ve bu sayede Bulamaç kristallerinin oluşumu önlenebilir.
Wafer'ın cilalı yüzeyi. Kaset Mapping fonksiyonu ile donatılmıştır.

ürün otomatik tek plakalı gofret kimyasal mekanik parlatıcı cmp-54

2. Robot malzeme alma ünitesi

4 eksenli bir robotla donatılmış olup, gofretleri Kaset'ten polisaj ünitesine otomatik olarak aktarabilir.

ürün otomatik tek plakalı gofret kimyasal mekanik parlatıcı cmp-55

3. Parlatıcı Ünitesi

Bu ünite, Platen * 1, Head * 1, PC * ile donatılmıştır
1, Bulamaç Kolu * 1, HCLU * 1 ve EPD uç noktası
algılama. Otomatik gofret yükleme ve boşaltma, çok bölgeli kafa kontrolü, Bulamaç elde edebilir
Tarif ayarları, uç nokta tespiti ve diğer fonksiyonlarla iniş noktası değişimi.

ürün otomatik tek plakalı gofret kimyasal mekanik parlatıcı cmp-56

CMP Cilalama Kafası

Bu cihazda yapılandırılan Parlatma Başlıkları firmamız tarafından bağımsız olarak geliştirilmiş, tasarlanmış ve üretilmiştir.
Bunlar arasında, 4 inç 3 boşluklu Kafa, Çin'de çok boşluklu 4 inç Kafa boşluğunu dolduran firmamız tarafından yaratılmış benzersiz bir üründür. Firmamız, müşterinin ürününün özelliklerine göre Kafayı hızla değiştirebilir veya özelleştirebilir. TGV ince film (200um) ürünlerinin geliştirilmesinde, Kafanın iç yapısı ince film parlatma gereksinimlerini karşılamak üzere değiştirildi. LN yüzey OX parlatma teknolojisinin geliştirme süreci sırasında, firmamız 6 inç Kafayı derinlemesine yükseltti ve müşterinin ürün gereksinimlerini başarıyla karşıladı.

ürün otomatik tek plakalı gofret kimyasal mekanik parlatıcı cmp-57

Uygulamalar

Geleneksel IC düzlemleştirme parlatma işlemi；

TGV/TSV işlemi;

Akıllı Kesim ve Ön Bağlama CMP；

SIC alt tabaka parlatma/galyum arsenit parlatma.

ürün otomatik tek plakalı gofret kimyasal mekanik parlatıcı cmp-58

Özellikler

Liman	Miktar * 1, Q-tank ile
Robot	Miktar * 1, gofret transferi için
HCLU	Miktar * 1, gofretlerin otomatik yüklenmesi ve boşaltılması için
Parlatma kafası	Miktar * 13 boşluk kontrolü, 0.1PSI kontrol doğruluğu, 400-1200 UM gofret işlemlerini destekleyebilir.
Polisaj kafası hızı	5-150RPM
Parlatma Diski	Adet * 1 Parlatma Diski Boyutu 508mm, Parlatma Pedi Hızı 10-150rpm.
Kolu kırpma	Miktar * 1 parlatma pedi. Parlatma pedi çevrimiçi (eş zamanlı) veya çevrimdışı (parlatmadan sonra) parlatılabilir. kol, yukarı ve aşağı dönebilen ve hareket edebilen bir düzeltme şaftı ile donatılmıştır ve hız ve yere basma kuvveti kontrol edilebilir. kırpma aleti kırpma şaftına takılır ve hızlı bir şekilde kaldırıldı. Farklı tipteki parlatma pedlerine göre, parlatma dahil olmak üzere farklı tipteki parlatma araçları yapılandırılır fırçalar, elmas yüzükler ve elmas diskler.
UPA parlatma başlığı hava basınç kontrol ünitesi	Miktar * 13Daha iyi yüzey düzeltme etkisi için bölge ayarlanabilir
Parlatma sıvısı besleme pompası	Miktar * 2. Peristaltik pompalar sıvı temini için kullanılır, 2 peristaltik pompa farklı parlatma sağlamak üzere yapılandırılmıştır sıvıları parlatma diskine aktarır. Her pompa, işlemin herhangi bir adımında kullanılabilir.
Bulamaç Kolu	Miktar * 1 Bulamacın iniş noktasını kontrol edebilir ve parlatma pedini temizleyebilirsiniz.
İşletim kontrol sistemi, operatör modu, bakım modu ve teknik mod gibi kullanıcı düzeyinde kontrol sağlayabilir ve değişken ious modları parolalarla kontrol edilir. Sistem yazılımı her işlem adımının işlem parametrelerini düzenleyebilir ve düzleştirebilir ve Programa göre çip yüzeyindeki ince filmi parlatın. Ekipmanın çalışma durumunu izleyebilir, izleyebilir gerçek zamanlı olarak işlem parametrelerini ve yazılım çeşitli işlem verilerini otomatik olarak depolayabilir. Acil durdurma ile donatılmıştır Ekipmanın çalışmasını derhal durdurmak ve kontrol gücünü kesmek için kullanılan düğme.

Paketleme ve Teslimat

ürün otomatik tek plakalı gofret kimyasal mekanik parlatıcı cmp-59

ürün otomatik tek plakalı gofret kimyasal mekanik parlatıcı cmp-60

Şirket Profili

FAQ

1. Fiyat Hakkında:
Tüm fiyatlarımız rekabetçi ve pazarlığa açıktır. Fiyat, cihazınızın yapılandırmasına ve özelleştirme karmaşıklığına bağlı olarak değişir.

2. Örnek Hakkında:
Sizin için numune üretim hizmeti sağlayabiliriz ancak bunun için bir miktar ücret ödemeniz gerekebilir.

3. Ödeme Hakkında：
Plan onaylandıktan sonra, önce bize bir depozito ödemeniz gerekir ve fabrika malları hazırlamaya başlayacaktır.
Ekipman hazır ve siz bakiyeyi ödersiniz, biz kargoya veririz.

4. Teslimat Hakkında:
Ekipman imalatı tamamlandıktan sonra kabul videosunu size göndereceğiz, ayrıca siz de sahaya gelip ekipmanı inceleyebilirsiniz.

5. Kurulum ve Hata Ayıklama:
Ekipman fabrikanıza ulaştıktan sonra, ekipmanı kurmak ve hata ayıklamak için mühendisler gönderebiliriz. Bu hizmet ücreti için size ayrı bir teklif sunacağız.

6. Garanti Hakkında:
Ekipmanlarımızın 12 aylık garanti süresi vardır. Garanti süresinden sonra herhangi bir parça hasar görürse ve değiştirilmesi gerekirse, sadece maliyet fiyatını talep edeceğiz.