Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Fiyat Al

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Anasayfa
Hakkımızda
MH Equipment
Çözüm
Yurtdışı Kullanıcılar
Video
Bize Ulaşın
Ana Sayfa> Wafer Dilimi Makinesi
  • Otomatik Tek Platen Wafer Kimyasal Mekanik Parlatma Planarizasyonu CMP
  • Otomatik Tek Platen Wafer Kimyasal Mekanik Parlatma Planarizasyonu CMP
  • Otomatik Tek Platen Wafer Kimyasal Mekanik Parlatma Planarizasyonu CMP
  • Otomatik Tek Platen Wafer Kimyasal Mekanik Parlatma Planarizasyonu CMP
  • Otomatik Tek Platen Wafer Kimyasal Mekanik Parlatma Planarizasyonu CMP
  • Otomatik Tek Platen Wafer Kimyasal Mekanik Parlatma Planarizasyonu CMP
  • Otomatik Tek Platen Wafer Kimyasal Mekanik Parlatma Planarizasyonu CMP
  • Otomatik Tek Platen Wafer Kimyasal Mekanik Parlatma Planarizasyonu CMP
  • Otomatik Tek Platen Wafer Kimyasal Mekanik Parlatma Planarizasyonu CMP
  • Otomatik Tek Platen Wafer Kimyasal Mekanik Parlatma Planarizasyonu CMP

Otomatik Tek Platen Wafer Kimyasal Mekanik Parlatma Planarizasyonu CMP

Ücretsiz Teklif Alın
Ürün Açıklaması
ATOM Tek Platen CMP

Makine özellikleri

Cihaz esnek olup birden fazla başı destekleyebilir.
Ekipmanın süreç yeteneği, aynı boyuttaki ürünlerin ana akım model düzeyine yakındır.
Aygıtlar arası süreçte iyi bir tutarlılık gösterir.

Uygulama alanları

4-8 inç STI, ILD/IMD, TSV, TGV pürüzlendirme ve SiC, LT, LN, GaAs gibi bileşiklerin yüzeyi pürüzlendirilmesi

Teknik Parametreler

4-inç, 6-inç, 8-inç başlar, çok bölgeli kontrol
Φ20 inç 508MM Platen Tipi
Baş basıncı kontrol doğruluğu <0.05PSI
Baş ve Platen döndürme hızı kontrol doğruluğu <2RPM

1. LoadPort Birimi

Port, Cassette'ın Qtank'ta batırılması için çevrilebilir, bu da Slurry kristallerinin oluşmasını önler
wafer'in pürüzlendirilmiş yüzeyinde. Cassette Mapping fonksiyonu ile donatılmıştır.

2. Robot malzeme alma birimi

4-eksenli bir robotla donatılmış olup, otomatik olarak wafere'leri Cassette'dan pürüzlendirme birimine aktarabilir.

3. Bir şey. Polşer Birimi

Bu birim Platen * 1, Baş * 1, PC * ile donatılmıştır
1, Çamur Kol * 1, HCLU * 1, ve EPD sonucu
tespit. Otomatik wafer yükleme ve boşaltma, çok bölgeli baş kontrolü, çamur elde edebilir
i̇niş noktası, Reçet ayarları, uç noktası algılama ve diğer işlevlerle değişir.
CMP cilalama başlığı
Bu cihazın üzerinde yapılandırılan cilalama başlıklarının hepsi şirketimiz tarafından bağımsız olarak geliştirilmiş, tasarlanmış ve üretilmiştir.
Bunların arasında, 4 inçlik 3 boşluklu başlık, şirketimiz tarafından oluşturulan benzersiz bir üründür. Çin'de çoklu boşluklu 4 inçlik bir başlık yok. Şirketimiz, başlığı müşterinin ürününün özelliklerine göre hızlıca değiştirebilir veya özelleştirebilir. TGV ince film (200um) ürünlerinin geliştirilmesinde, ince film cilalama gereksinimlerini karşılamak için başın iç yapısı değiştirildi. LN yüzey OX cilalama teknolojisinin geliştirme sürecinde, şirketimiz 6 inçlik başlığı derinlemesine yükseltti ve müşterinin ürün gereksinimlerini başarıyla karşıladı.
Uygulamalar
Geleneksel IC düzleştirme pürüzlendirme işlemi;
TGV/TSV işlemi;
Smart Cut ve Ön bağlama CMP;
SIC alt tabaka pürüzlendirme/galyum arsenit pürüzlendirme.
Speksiyasyon
Liman
Adet * 1, Q-tank ile
Robot
Adet * 1, wafer transferi için
HCLU
Adet * 1, waferlerin otomatik yükleme ve boşaltma için
Pürüzlendirme başı
Adet * 13 boşluk kontrolü, 0.1PSI kontrol doğruluğu, 400-1200 UM wafer işlemlerini destekleyebilir.
Parlatma başı hızı
5-150RPM
Parlatma Diski
Miktar * 1 Parlatma Disk Boyutu 508mm, Parlatma Pad Hızı 10-150rpm.
Kesim kolü
Miktar * 1 parlatma pad. Parlatma padi çevrimiçi (eşzamanlı) veya çevirimdışı (parlatmadan sonra) kullanılabilir. Kesim
kolu, dönmek ve yukarı/aşağı hareket etmek için bir kesim ekseni ile donatılmıştır ve hız ile basınç kontrol edilebilir.
kesim aracı kesim eksenine takılıdır ve hızlıca
kaldırılabilir. Farklı türde parlatma padleri için farklı türdeki giydirme araçları yapılandırılır, bunlar arasında giydirme
fırçası, elmas halkaları ve elmas diskleri bulunur.
UPA parlatma başı hava basıncı kontrol ünitesi
Miktar * 13 ayarlanabilir bölge, daha iyi yüzey düzleştirme etkisi için
Parlatma sıvısı besleme pompa
Miktar * 2. Sıvı beslemek için peristaltik pomplar kullanılır, farklı parlatma işlemi için 2 peristaltik pompa yapılandırılmıştır
her bir pompa işlemin herhangi bir aşamasında kullanılabilir.
Slurry Kol
Miktar * 1 slurry'nin iniş noktasını kontrol edebilir ve parlatma yastığını temizleyebilir.
İşlem kontrol sistemi kullanıcı düzeyi kontrole ulaşabilir, örneğin operatör modu, bakım modu ve teknik mod, ve çeşitli modlar şifrelerle kontrol edilir.
sistem yazılımı her işlem adımı için süreç parametrelerini düzenleyebilir ve programa göre çip yüzeyindeki ince filmi düzleştirir ve parlatır.
ekipmanın işletim durumunu izleyebilir, sürecin parametrelerini gerçek zamanlı olarak izleyebilir ve yazılım çeşitli süreç verilerini otomatik olarak saklayabilir.
acil durumda durdurma ile donatılmıştır
düğme, ekipman işlemini derhal durdurmak ve kontrol gücünü kesmek için kullanılır.
Paketleme ve Teslimat
Şirket Profili
SSG
1. Fiyat Hakkında:
Tüm fiyatlarımız rekabetçi ve müzakere edilebilir. Fiyat, cihazınızın yapılandırmasına ve özelleştirme karmaşıklığına bağlı olarak değişir.

2. Örnek Hakkında:
Sizin için örnek üretim hizmetleri sunabiliriz, ancak bazı ücretler ödemelisiniz.

3. Ödeme Hakkında:
Plan onaylandıktan sonra, önce bize bir anapara ödemeniz gerekir ve fabrika malzemeleri hazırlamaya başlayacak. Ekipman hazır olduğunda ve kalan ödemiş olduktan sonra, gönderimi yapacağız.
eşya hazır olduğunda ve bakiyeyi ödediğinizde, gönderimi yapacağız.

4. Teslimat Hakkında:
Ekipman üretimi tamamlandığında, size kabul videosunu göndereceğiz ve ayrıca ekipmanı incelemek için yere gelebilirsiniz.

5. Kurulum ve Ayarlama:
Ekipman fabrikana ulaştığında, mühendislerimizi göndererek ekipmanı kurup ayarlayabiliriz. Bu hizmet için ayrı bir fiyat teklif edeceğiz.

6. Garanti Hakkında:
Ekipmalarımız 12 aylık garanti süresine sahiptir. Garanti süresinin sonunda, herhangi bir parça hasar görmüşse ve değiştirilmesi gerekiyorsa, sadece maliyet fiyatını alırız.

Daha Fazla Ürün

Sorgu

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Gizlilik Politikası

Sorgu Email WhatsApp Top
×

İLETİŞİME GEÇİN