Plazma kaynağı
|
RF+BIAS
|
||
Güç
|
1000W
|
1000W
|
|
600W
|
600W
|
||
Uygulanabilir kapsam
|
4-8 inç
|
||
Tek işlem dilim sayısı
|
one
|
||
Dış görünüş boyutları
|
1140mm x 1050mm x 1620mm
|
||
Sistem Kontrolü
|
Sanayi kontrol sistemi
|
||
Otomasyon Seviyesi
|
Manuel
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved