Kıvırılabilir wafer |
Boyut |
Inç |
4,5,6,8 |
Wafer kaseti |
Sayı |
- |
2 |
Oturma yolu |
- |
Dikey dalga kesme yöntemi |
|
Kesim tekeri spindel |
Türler |
- |
Hava yatakları |
Miktar |
- |
2 |
|
Hız |
dk |
0~5000 |
|
Çıkış Gücü |
Kw |
5.5/7.5 |
|
Yol |
mm |
150 |
|
Besleme hızı |
um/s |
0.01~100 |
|
İleri sarma hızı |
mm/dk |
300 |
|
Çözünürlük |
um |
0.1 |
|
Parça eksenı |
TUR |
- |
Çarklı yataklar |
Miktar |
- |
3 |
|
Emici türü |
- |
Mikroporlu seramik |
|
Wafer emme yöntemi |
- |
Vakum adsorpsiyonu |
|
Hız |
dk |
0~300 |
|
Wafer transferi |
- |
Robot Kolu |
|
- |
Dönen disk |
||
Diğer fonksiyonlar |
Wafer merkezleme |
- |
Taşınabilir pin hizalama |
Wafer temizliği |
- |
Su ve hava temizleme, spin kurutma |
|
Emme kupası temizliği |
- |
Yağtaşı temizliği |
|
TAŞLAMA TEKERLEĞİ |
mm |
φ200 |
|
ÇEVİRİME ölçüm |
Ölçüm Aralığı |
um |
0~1800 |
Çözünürlük |
um |
0.1 |
|
Tekrar doğruluğu |
um |
±0,5 |
|
Makineleme doğruluk |
Wafer-içi doğruluk (TTV) |
um |
≤2 |
Kesitler arası doğruluk (WTW) |
um |
±3 |
|
Yüzey kabartısı (Ry) |
um |
0.13(2000# bitiş) |
|
Dış görünüş |
Görünüm renklendirme |
um |
Turuncu Desen |
Boyutlar(Ş×D×Y) |
mm |
1200×2750×1950 |
|
Ağırlık |
kg |
4200 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved