Model |
MDTS-WT2200 |
İnceltme eksenlerinin sayısı |
2 |
Tezgah sayısı |
3, Endeks yöntemi |
Taşlama tekerleği mili |
Hava mili sayısı: 2 Mil motoru: 7.5 kW değişken frekanslı motor Hız: 0~6000rpm, kademesiz ayarlanabilir Taşlama tekerleği özellikleri: Φ203mm Taşlama tekerleği türü: elmas taşlama tekerleği |
Taşlama tekerleği besleme sistemi |
Miktar: 2 set Besleme sistemi kontrol yöntemi: LM kılavuz rayı ve bilyalı vida kombinasyon Tahrik motoru: servo motor Minimum besleme hızı: 0.1um/sn Maksimum besleme hızı: 50mm/sn |
Tezgâh |
Miktar: 3, Endeks modu Mil motoru: Servo motor Hız: 0~300rpm, kademesiz ayarlanabilir Adsorpsiyon yöntemi: Vakum adsorpsiyonu |
Tezgah döner tablası |
Sürüş modu: servo motor Dönme aralığı: 0~240° Konumlandırma şekli: sensör destekli konumlandırma |
Otomatik kalınlık Ölçüm sistemi |
Ölçüm yöntemi: IPG temaslı çevrimiçi gerçek zamanlı ölçüm Ölçüm başlığı sayısı: 2 Ölçüm sensörü: 0.1um seviye sensörü |
Otomatik yükleme/ boşaltma sistemi |
Kutu tipi: 6-8 inç Kaset, 25 katman Otomatik yükleme/boşaltma yöntemi: ince gofretlerin hasar görmeden taşınmasını sağlamak için gofret manipülatörü kullanılır Wafer kalınlığı: 150um-1000um |
Tezgah temizleme fonksiyonu |
Temizleme yöntemi: Yağ taşı cilalama ve DI su+hava ikili sıvı yıkama |
Otomatik temizleme/ kurutma sistemi |
Temizlik: DIW nozul temizliği Kurutma yöntemi: Üfleme + kurutma Hız: max1000rpm kademesiz ayarlanabilir |
Statik eleme sistemi |
İyon bar orion fan |
Mil soğutucu |
Sıcaklık: 18-22 ° C Akış hızı: 4~8L/dak |
Kontrol sistemi |
Kontrol sistemi: PC kontrol sistemi, dokunmatik ekran 3 renkli alarm ışığı Çince/İngilizce insan-makine arayüzü |
Maksimum gofret boyutu |
Maksimum 8 inç ile uyumludur |
hız aralığı |
0 ~ 6000 RPM |
Z ekseni hareketi |
160mm |
Z ekseni besleme hızı |
0.1~100um/sn |
Z ekseni hızlı geri çekme hızı |
50mm / sn |
Z ekseni çözünürlüğü |
0.1um |
Çevrimiçi kalınlık ölçüm aralığı |
0 ~ 1800um |
Çevrimiçi kalınlık ölçüm çözünürlüğü |
0.1um |
Telif Hakkı © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Tüm Hakları Saklıdır