ICP kuru Plazma Fotorezist Çıkarma / Plazma Fotorezist çıkarma (PR) makinesi yarı iletken gofret için, Çin ICP kuru Plazma Fotorezist Çıkarma / Plazma Fotorezist çıkarma (PR) makinesi yarı iletken gofret için Üreticiler, Tedarikçiler, Fabrika

Ürün Açıklaması

ICP PLAZMA Fotorezist Makinesini Kaldır

KÜL
Polimer çıkarma
Sert maske tabakasının kuru olarak çıkarılması
İyon implantasyonundan sonra fotorezistansın kaldırılması
BAW/SAW işleminde fotorezistansın kaldırılması
Yansıtıcı olmayan grafik film tabakasının kuru temizliği
Yüzey kalıntısının giderilmesi
Aşındırma sonrası yüzey temizliği
ÇÖZÜM

ICP kuru plazma fotorezist çıkarma makinesi, DESCUM (ön işlem, fotorezist kalıntısının çıkarılması) için uygundur. Polimer çıkarma (PI, BCB, PBO) İyon implantasyonu, fotorezistin çıkarılması vb. sonrasında, boşluk 8 inçlik numuneler için uygundur (4) -6 inç uyumlu)

Yarı iletken levha ayrıntıları için ICP kuru Plazma Fotorezistin Çıkarılması / Plazma Fotorezist çıkarma (PR) makinesi

ICP kuru Plazma Fotorezistin Kaldırılması / Yarı iletken levha için Plazma Fotorezist çıkarma (PR) makinesi Tedarikçi

ICP kuru Plazma Fotorezistin Kaldırılması / Yarı iletken levha üretimi için Plazma Fotorezist çıkarma (PR) makinesi

ICP kuru Plazma Fotorezistin Kaldırılması / Yarı iletken levha fabrikası için Plazma Fotorezist çıkarma (PR) makinesi

Özellikler

PLAZMA			RF	RF
Power	ICP	1000w	1000w
Power		EĞİLİMİ	600w(seçenek)	600w(seçenek)
Uygulanabilir kapsam			4 ~ 8 inç	4 ~ 8 inç
Tek işleme dilim sayısı			1	2
Görünüm boyutları			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Sistem kontrolü			Endüstriyel kontrol sistemi	Endüstriyel kontrol sistemi
Otomasyon seviyesi			otomatik	otomatik