ICP kurutulmuş Plazma Fotoresist Kaldırma / Plazma Fotoresist Kaldırma (PR) makinesi yarıiletken wafer için , China ICP kurutulmuş Plazma Fotoresist Kaldırma / Plazma Fotoresist Kaldırma (PR) makinesi yarıiletken wafer için Manufacturers, Suppliers, Factory

Ürün Açıklaması

ICP PLASMA Fotoğraf Direncini Kaldırma Makinesi

Külleme
Polimer kaldırma
Sert maskelayer kurutma kaldırma
Iyon eklemesi sonrası fotoresist kaldırma
BAW/SAW işleminde foto direnci kaldırma
Yansıma engel grafik film tabakasının kurutma temizliği
Yüzey artığı kaldırma
Etçilme sonrası yüzey temizliği
DESCUM

ICP kurak plazma fotoresistans kaldırma makinesi, DESCUM (ön işlem, fotoresistans artığı kaldırma) Polimer kaldırma (PI, BCB, PBO) Ion eklemesi sonrası, fotoresistans kaldırma vb. için uygundur, boşluk 8 inç örnekler için uygundur (4-6 inç uyumludur)

ICP dry Plasma Removal of Photoresist / Plasma Photoresist removal (PR) machine for semiconductor wafer details

ICP dry Plasma Removal of Photoresist / Plasma Photoresist removal (PR) machine for semiconductor wafer supplier

ICP dry Plasma Removal of Photoresist / Plasma Photoresist removal (PR) machine for semiconductor wafer manufacture

ICP dry Plasma Removal of Photoresist / Plasma Photoresist removal (PR) machine for semiconductor wafer factory

Speksiyasyon

Plazma			RF	RF
Güç	ICP	1000W	1000W
Güç		BIAS	600w(seçenek)	600w(seçenek)
Uygulanabilir kapsam			4~8 inç	4~8 inç
Tek işlem dilim sayısı			1	2
Dış görünüş boyutları			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Sistem Kontrolü			Sanayi kontrol sistemi	Sanayi kontrol sistemi
Otomasyon Seviyesi			otomatik	otomatik