Endüktif Kaplin Plazma Aşındırma Sistemi (ICP) Yarı iletken ekipmanı, Çin Endüktif Kaplin Plazma Aşındırma Sistemi (ICP) Yarı iletken ekipmanı Üreticileri, Tedarikçiler, Fabrika

Ürün Açıklaması

Endüktif kuplaj plazma aşındırma (icp) sistemi

Endüktif Kaplin Plazma Aşındırma Sistemi (ICP) Yarı iletken ekipman detayları

Endüktif Kaplin Plazma Aşındırma Sistemi (ICP) Yarı iletken ekipman tedarikçisi

Endüktif Kaplin Plazma Aşındırma Sistemi (ICP) Yarı iletken ekipman fabrikası

İşlem Sonucu

Kuvars / silikon / ızgara aşındırma

Kuvars veya silikon malzemeleri aşındırmak için BR maskesini kullanan ızgara dizisi deseni, 300 nm'ye kadar en ince çizgiye sahiptir ve desenin yan duvar dikliği > 89°'ye yakındır; bu, 3D ekrana, mikro optik cihazlara, optoelektronik iletişime, vesaire

Bileşik / yarı iletken gravür

Numune yüzey sıcaklığının doğru kontrolü, GaN bazlı, GaAs, InP ve metal malzemelerin dağlama morfolojisini iyi bir şekilde kontrol edebilir. Mavi LED cihazlar, lazerler, optik iletişim ve diğer uygulamalar için uygundur.

Endüktif Kaplin Plazma Aşındırma Sistemi (ICP) Yarı iletken ekipman imalatı

Silikon bazlı malzeme gravürü

Si, SiO2 ve SiNx gibi silikon bazlı malzemelerin aşındırılması için uygundur. 50nm'nin üzerinde silikon hat aşındırma ve 100um'un altında silikon derin delik aşındırma gerçekleştirebilir

Özellikler

Proje konfigürasyonu ve makine yapısı şeması

+	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Ürün boyutu	≤6 inç	≤8 inç	≤6 inç	≤8 inç	Özel≥12 inç
SRF Güç kaynağı	0~1000W/2000W/3000W/5000WAdjustable,automatic matching\,13.56MHz/27MHz
BRF Güç kaynağı	0~300W/0~500W/0~1000WAdjustable, automatic matching,2MHz/13.56MHz
Moleküler pompa	Aşındırmaz : 600 /1300 (L/s)/Özel			Korozyon önleyici: 600/1300 (L./s)/Özel		600/1300(L/sn) /Özel
Ön hat pompası	Mekanik pompa / kuru pompa			Korozyon önleyici kuru pompa		Mekanik pompa / kuru pompa
Ön pompalama pompası	Mekanik pompa / kuru pompa			Mekanik pompa / kuru pompa
Proses basıncı	Kontrolsüz basınç/0-0.1/1/10Torr kontrollü basınç
Gaz tipi	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Custom (12 kanala kadar, aşındırıcı ve zehirli gaz içermez)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Özel(12 kanala kadar)
Gaz aralığı	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Custom
Yük Kilidi	Evet / Hayır			Evet
Örnek sıcaklık kontrolü	10°C~Oda Sıcaklığı/ -30°C~150°C /Özel			-30°C~200°C/Özel
Geri helyum soğutma	Evet / Hayır			Evet
Proses boşluğu astarı	Evet / Hayır			Evet
Boşluk duvarı sıcaklık kontrolü	No/Oda sıcaklığı-60/120°C			Oda sıcaklığı~60/120°C
Kontrol Sistemi	Otomatik/özel
dağlama malzemesi	Silikon bazlı: Si/SiO2/ SiNx/SiC..... Organik malzemeler:PR/Organik film......			Silikon bazlı: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Manyetik malzeme / alaşımlı malzeme Metalik malzemeler: Ni/Cr/Al/Cu/Au... Organik malzemeler: PR/Organik film...... Silikon derin gravür

Paketleme ve Teslimat

Şirket Profili

Ekipman satışında 16 yıllık tecrübemiz var. Size Çin'den Tek Noktadan Yarı İletken Ön Uç ve Arka Uç Paket Hattı ekipmanları profesyonel çözümü sağlayabiliriz.