MCXJ-MLS8 Maskesiz litografi Sistemi, Çin MCXJ-MLS8 Maskesiz litografi Sistemi Üreticileri, Tedarikçiler, Fabrika

Ürün Açıklaması

Örnek:

MCXJ-MLS8 Maskesiz litografi Sistemi imalatı

Ekipman yapısı diyagramı

MCXJ-MLS8 Maskesiz litografi Sistemi tedarikçisi

Özellikler

Pozlama ana bilgisayar yapısı diyagramı

yapı	örneklemek
Tezgahın açığa çıkarılması	Pozlama alanı: tezgah, alt tabaka yerleştirme alanı
Optik sistem	Lazer emisyonlu kalıplama alanı
Çevre kontrol sistemi	Cihazın iç sıcaklığını ve pozitif basıncını kontrol edin
Platform sistemi	Pozlama yolunun işlemini tamamlamak için pozlama tablosunun hareketini kontrol eder
Kontrol sistemi	Tüm ekipmanın kontrol sistemi

Not: Makinenin yükseltilmesi gerçek görünümü değiştirebileceğinden, gerçek ürüne özel olarak tabidir.

Hayır.	çevre	Iste
1	Işık kaynağı ortamı	Sarı ışık
2	Sıcaklık	22 ℃ ± 2 ℃
3	Nem	% 50 ±% 10
4	Temizlik	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa，200LPM, kuru, temiz hava
6	Power Supply	220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Topraklama kablosu topraklanmalıdır.
7	Soğutma suyu	Sıcaklık: 10°C~ 20°C Basınç: 0.3MPa ~ 0.5MPa Akış hızı: 20L/dak Basınç farkı: 0.3MPa Kalibreyi devralın: Rc3/8
8	Yer	seviye:±3mm/3000mm sallama:VC-B Rulman:750kg/㎡
10	Internet	Bir ağ bağlantı noktası
11	makine boyutu	130011002100mm
12	Cihaz ağırlığı	1500kg

Hayır.	Proje	Spec.	Açıklama
1	çözüm	0.6um/veya başka bir gereksinim	AZ703, AZ1350
2	CDU	±%10@1um
3	Yüzey kalınlığı	0.2 mm ～ 4 mm
4	Tarih tablosu doğruluğu	60nm
5	Kaplama	± 500nm	130mmx130mm
6	Dikiş doğruluğu	± 200nm	AZ703
7	MAX pozlama boyutu	190X190mm
8	çıktı	≥300mm2/dak	≤50mj/cm2;
9	ışık kaynağı	LD375nm
10	ışık gücü	6W
11	Enerji bütünlüğü	≥ 95%
12	hafif hayat	10000hr

Paketleme ve Teslimat

Şirket Profili

Ekipman satışında 16 yıllık tecrübemiz var. Size Çin'den Tek Noktadan Yarı İletken Ön Uç ve Arka Uç Paket Hattı ekipmanları profesyonel çözümü sağlayabiliriz.