yapı |
resimlemek |
Işınma masasını açığa çıkarma |
Işınma alanı: masa, alt tabakayı yerleştirme alanı |
Optik sistem |
Lazer emisyonu biçimlendirme alanı |
Çevre kontrol sistemi |
Cihazın içindeki sıcaklığı ve pozitif basıncı kontrol etmek |
Platform sistem |
Tüm maruz kalan masanın hareketini kontrol ederek maruz yolu işlemi tamamlar |
Kontrol Sistemi |
Tüm ekipmanın kontrol sistemi |
- Hayır, hayır. |
Çevre |
Gereklidir. |
1 |
Işık kaynağı ortamı |
Sarı ışık |
2 |
Sıcaklık |
22℃±2℃ |
3 |
Nem |
50%±10% |
4 |
Temizlik |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, kuruyu ve temiz hava |
6 |
Güç Kaynağı |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Yer kablosu kesinlikle yerleştirilmelidir. |
7 |
Soğutma suyu |
Sıcaklık：10℃~ 20℃ Basınç：0.3MPa ~ 0.5MPa Akış hızı：20L/min Basınç farkı：0.3MPa ve üzeri Bağlantı çapı：Rc3/8 |
8 |
Yer |
seviye：±3mm/3000mm sallantı：VC-B Yatak：750kg/㎡ |
10 |
İnternet |
Bir ağ portu |
11 |
Makine Boyutu |
1300*1100*2100mm |
12 |
Cihaz ağırlığı |
1500kg |
- Hayır, hayır. |
Proje |
- Özellikler. |
Not |
1 |
Çözünürlük |
0.6um/veya başka bir gereksinim |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Substrat kalınlığı |
0.2mm～4mm |
|
4 |
Tarih şebekesi doğruluğu |
60nm |
|
5 |
Üst üsteleme |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Birleştirme doğruluğu |
±200nm |
AZ703 |
7 |
Maksimum maruz kalmışlık boyutu |
190X190mm |
|
8 |
Geçiş Kapasitesi |
≥300mm2/dak |
≤50mj/cm2; |
9 |
ışık kaynağı |
LD 375nm |
|
10 |
ışık gücü |
6W |
|
11 |
Enerji birimliliği |
% 95 |
|
12 |
ışık ömrü |
10000sa |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
