Boşluk plazma ana birim (150) |
||
Ekipman Boyutu |
L 1100×W 940×H 1755mm |
|
Ağırlık |
600kg |
|
Gereksinim elektirik kaynağı |
AC380V, 50/60Hz, 5 hat, 25A (C ve üzerindeki toplam açık tür) |
|
Plazma jeneratörü belirtimi |
||
Güç |
Radyo Frekansı |
arası frekans |
0~1000W |
0-2000w |
|
teslimat frekansı |
13.56MHz |
40 K Hz |
Vakum sistemi |
||
Vakum Pompası |
Leap monopole pompa VSV 65 + Bowse Lots Pompa BSJ 70 |
|
vakum hattı |
Tüm çelik hat, ayrıca yüksek dayanım vakum muslukları |
|
Malzeme kalitesi |
alufer |
|
Kalınlık |
25mm |
|
sıkı sıkıya |
Askeri sınıf kaynaklı mühürleme |
|
Boşluk iç boyutları |
500*500*600mm (Genişlik * Yükseklik * Derinlik) |
|
Elektrik plakası etkin boyutu |
372(W) X 451(D)mm |
|
Mevcut alan boşluklama |
24 mm |
|
Elektroplak düzeni |
Yatay elektrot plakası |
|
teller |
Standart küme, malzeme seçilebilir (alüminyum, çelik tel ağı) |
|
İş alanı |
8 katman |
|
İşlem gazı |
||
akış aralığı |
0~300SCCM |
|
İşlem gazı gaz yolu |
Standart olarak iki yol ile gelir, özelleştirilebilir. İşlem gazı boru hattı ferrofllon'dan yapılmıştır |
|
Kontrol Sistemi |
||
SC |
PC kontrolü |
|
etkileşimli mod |
Windows Arayüzü |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved