Vakumlu plazma sunucusu(200) |
||
Ekipman boyutu |
1050×1700×1050mm(genişlik, yükseklik ve derinlik) |
|
ağırlık |
800Kg |
|
talep gücü |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
|
Plazma Jeneratörü Özellikleri |
||
şebeke gücü |
Radyo frekansı |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
Güç frekansı |
13.56MHz |
40 KHz |
Vakum sistemi |
||
vakum pompası |
Feiyue tek kutuplu pompa VSV100+Her İki Kök pompa BSJ70 |
|
vakum hattı |
Tamamı paslanmaz çelik borular ve yüksek mukavemetli vakum körükleri |
|
malzeme |
Alüminyum alaşım |
|
kalınlık |
25mm |
|
sıkılık |
Askeri sınıf kaynaklı conta |
|
Boşluk İç Boyutları |
600×600×600mm(G×Y×D) |
|
Elektrot plakasının etkili boyutu |
472 X 451 mm (G×D) |
|
Mevcut alan |
35mm |
|
Elektrot plakası düzeni |
Yatay elektrot plakası |
|
çalışma tepsisi |
Bir set standarttır ve malzeme isteğe bağlıdır (alüminyum, çelik hasır) |
|
çalışma alanı |
8 zeminler |
|
Proses gazı |
||
Akış aralığı |
0~300 SCCM |
|
Proses gazı devresi |
O2, Ar, N2 üç yollu gazla donatılmıştır |
|
Kontrol Sistemi |
||
sistem kontrolü |
bilgisayar kontrolü |
|
etkileşimli mod |
Windows arayüzü |
Telif Hakkı © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Tüm Hakları Saklıdır