Vakumlu plazma ana bilgisayarı (200) | ||||
Ekipman boyutu | 1050×1700×1050mm(genişlik, yükseklik ve derinlik) | |||
ağırlık | 800Kg | |||
talep gücü | AC380V,50/60Hz,5wires, 30A | |||
Plazma Jeneratörü Özellikleri | ||||
şebeke gücü | Radyo frekansı | IF | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
Güç frekansı | 13.56MHz | 40 KHz | ||
Vakum sistemi | ||||
vakum pompası | Feiyue tek kutuplu pompa VSV100+Her İki Kök pompa BSJ70 | |||
vakum hattı | Tamamı paslanmaz çelik borular ve yüksek mukavemetli vakum körükleri | |||
malzeme | Alüminyum alaşım | |||
kalınlık | 25mm | |||
sıkılık | Askeri sınıf kaynaklı conta | |||
Boşluk İç Boyutları | 600×600×600mm(G×Y×D) | |||
Elektrot plakasının etkili boyutu | 472 X 451 mm (G×D) | |||
Mevcut alan | 35mm | |||
Elektrot plakası düzeni | Yatay elektrot plakası | |||
çalışma tepsisi | Bir set standarttır ve malzeme isteğe bağlıdır (alüminyum, çelik hasır) | |||
çalışma alanı | 8 zeminler | |||
Proses gazı | ||||
Akış aralığı | 0~300 SCCM | |||
Proses gazı devresi | O2, Ar, N2 üç yollu gazla donatılmıştır | |||
Kontrol Sistemi | ||||
sistem kontrolü | bilgisayar kontrolü | |||
etkileşimli mod | Windows arayüzü |
Telif Hakkı © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Tüm Hakları Saklıdır