Sekil vakum ünitesi (60)
|
||||
Ekipman Boyutu
|
Uzunluk 950×Genişlik 900×Yükseklik 1650mm
|
|||
Ağırlık
|
350 kg
|
|||
Gereksinim elektirik kaynağı
|
AC380V, 50/60Hz, 5 hat, 16A (C ve üzerinde toplam açık tipte)
|
|||
Plazma jeneratörü belirtimi
|
||||
Güç
|
Radyo Frekansı
|
arası frekans
|
||
0~600W
|
0-1000W
|
|||
teslimat frekansı
|
13.56MHz
|
40 K Hz
|
||
Vakum sistemi
|
||||
Vakum Pompası
|
İki aşamalı döner pompa (yağ pompa): 40m3/sa
|
|||
vakum hattı
|
Tüm çelik hat, ayrıca yüksek dayanım vakum muslukları
|
|||
Malzeme kalitesi
|
Alüminyum aleys (özelleştirilebilir çelik boşluk)
|
|||
Kalınlık
|
25mm
|
|||
sıkı sıkıya
|
Askeri sınıf kaynaklı mühürleme
|
|||
Boşluk iç boyutları
|
375*375*430mm (genişlik * yükseklik * derinlik)
|
|||
Elektrik plakası etkin boyutu
|
247*281mm (genişlik * derinlik)
|
|||
Mevcut alan boşluklama
|
22mm
|
|||
Elektroplak düzeni
|
Yatay düzen, aktif çıkarma yapılabilir
|
|||
teller
|
Standart küme, malzeme seçilebilir (alüminyum, çelik tel ağı)
|
|||
İş alanı
|
6 katman
|
|||
İşlem gazı
|
||||
akış aralığı
|
0~300SCCM
|
|||
İşlem gazı gaz yolu
|
Standart olarak iki yol ile gelir, özelleştirilebilir. İşlem gazı boru hattı ferrofllon'dan yapılmıştır
|
|||
navar
|
||||
SC
|
PLC
|
|||
etkileşimli mod
|
7 inç dokunmatik ekran
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved