Sekil vakum ünitesi (60) |
||||
Ekipman Boyutu |
Uzunluk 950×Genişlik 900×Yükseklik 1650mm |
|||
ağırlık |
350 kg |
|||
Gereksinim elektirik kaynağı |
AC380V, 50/60Hz, 5 hat, 16A (C ve üzerinde toplam açık tipte) |
|||
Plazma jeneratörü belirtimi |
||||
güç |
radyo Frekansı |
arası frekans |
||
0~600W |
0-1000W |
|||
teslimat frekansı |
13.56MHz |
40 K Hz |
||
Vakum sistemi |
||||
vakum Pompası |
İki aşamalı döner pompa (yağ pompa): 40m3/sa |
|||
vakum hattı |
Tüm çelik hat, ayrıca yüksek dayanım vakum muslukları |
|||
malzeme kalitesi |
Alüminyum aleys (özelleştirilebilir çelik boşluk) |
|||
kalınlık |
25mm |
|||
sıkı sıkıya |
Askeri sınıf kaynaklı mühürleme |
|||
Boşluk iç boyutları |
375*375*430mm (genişlik * yükseklik * derinlik) |
|||
Elektrik plakası etkin boyutu |
247*281mm (genişlik * derinlik) |
|||
Mevcut alan boşluklama |
22mm |
|||
Elektroplak düzeni |
Yatay düzen, aktif çıkarma yapılabilir |
|||
teller |
Standart küme, malzeme seçilebilir (alüminyum, çelik tel ağı) |
|||
i̇ş alanı |
6 katman |
|||
i̇şlem gazı |
||||
Akış aralığı |
0~300SCCM |
|||
İşlem gazı gaz yolu |
Standart olarak iki yol ile gelir, özelleştirilebilir. İşlem gazı boru hattı ferrofllon'dan yapılmıştır |
|||
navar |
||||
SC |
PLC |
|||
etkileşimli mod |
7 inç dokunmatik ekran |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved