MDHS-AL8 8" Tam otomatik tek taraflı litografi makinesi, Çin MDHS-AL8 8" Tam otomatik tek taraflı litografi makinesi Üreticileri, Tedarikçiler, Fabrika

Ürün Açıklaması

MDHS-AL8 8" Tam otomatik tek taraflı litografi makinesi

1. Çalışma modu: Yükleme robotu, gofretleri AB (geri dönüştürülebilir) gofret kutusundan ön konumlandırmaya otomatik olarak yükler

çalışma tezgahı ve kamera konumlandırma levhasının ve otomatik döndürme sisteminin ayarlanmasıyla levhanın önceden konumlandırılması sağlanır; Yükleme robotu daha sonra önceden konumlandırılmış plakaları hizalama tezgahına yükler. Bilgisayarlı görüntü tanıma ve otomatik hizalama sistemi ayarı sayesinde, maske ve plaka üzerindeki grafiklerin otomatik olarak hizalanması sağlanabilir. Grafikleri hizalamadan bir pozlamayı tamamlamak da mümkündür. Aşırı maruz bırakma sistemi tarafından otomatik olarak maruz bırakıldıktan sonra boşaltma robotu, gofretleri otomatik olarak CD (geri dönüştürülebilir) gofret kutusuna yerleştirir.
2. Pozlama alanı: 160 × 160 mm;
3. Düzensiz pozlama aydınlatması: ≤ %3;
4. Pozlama yoğunluğu: 0~≥ 40mw/cm2 ayarlanabilir (ışın açısı 2°);
5. UV ışın açısı: ≤ 3 °;
6. Ultraviyole ışığın merkez dalga boyu: 365nm;
7. UV ışık kaynağı ömrü: ≥ 20000 saat;
8. Ayırma kapasitesi: 0~≥ 1000um ayarlanabilir;
9. Hizalama doğruluğu: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Pozlama doğruluğu: Temas pozlaması ± 1 μm. 20 μ M ışın açısının yakın pozlama ayrımı 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Maruz kalma yöntemleri: sert temas, yumuşak temas ve yakınlığa maruz kalma;
12. Pozlama modu: Tek seferlik pozlama veya ofset pozlama arasında seçim yapabilirsiniz
13. Ön konumlandırma görüntü tanıma ve otomatik döndürme sistemi (ön konumlandırma tezgahı dahil): dönme açısı Q ≥ ± 180 °, dönme doğruluğu Q ≤ 0.01 °;
14. Görüntü tanıma ve otomatik hizalama sistemi (UVW hizalama tezgahı dahil): hizalama aralığı XY ≥ ± 5 mm, dönme açısı Q ≥ ± 3 ° ve mikroskobun iki merceği, iki XYZ elektrikli platform tarafından kontrol edilir.
15. Maske boyutu: 5" × 5" ve 7" × 7";
16. Gofret boyutu: 4 "ve 6";
17. Üst ve alt film kutusu iş istasyonları: ikili iş istasyonları;
18. Ayak yastığı hava yastığı
19. Çift kollu robot kolunun yüklenmesi ve boşaltılması: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Gofret kutusundaki gofret sayısı: Müşterinin gofret kutusundaki gofret sayısına göre belirlenir;
21. Konumlandırma tablasının kaldırılması: Z ≥ ± 25mm;
22. Pozlama zamanlaması: 0 ila 999.9 saniye arasında ayarlanabilir;
23. Üretim ritmi: Saatte>120 adet;
24. Güç kaynağı: tek fazlı AC220V 50Hz, güç tüketimi ≤ 3KW;
25. Temiz hava basıncı: ≥ 0.4MPa;
26. Vakum derecesi: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Boyut: 1400*1000*2100mm;
28. Ağırlık: Yaklaşık 400kg

Bu makine bir LED ultraviyole ışınlama kafası, bir görüntü tanıma ve otomatik döndürme sistemi, önceden konumlandırılmış bir çalışma tezgahı ve bir resim gibi tanıma ve otomatik hizalama sistemleri, hizalama tezgahları, yükleme robotları, boşaltma robotları, raflar ve elektrik kontrolü ekipmanlarından oluşur. , yedek aksesuarlar vb.

Özellikler

1. Pozlama başlığı: Bir LED ultraviyole maruz kalma kafası (365nm);
2. Görüntü tanıma ve ön hizalama tezgahı:
1) 1 kamera (1.3 milyon piksel)
2) Merkezi konumlandırma fikstürü
3) 1 set döner platform (servo motor kullanarak)
4) 1 takım konumlandırma sistemi
3. Görüntü tanıma ve otomatik hizalama sistemi:
1) 2 kamera (5 milyon piksel yüksek kare hızı)
2) 2 lens (4x yüksek çözünürlüklü lens)
3) Bir endüstriyel bilgisayar
4) Bir kontrolör (PLC tarafından kontrol edilir)
5) Bir dizi hizalama platformu (5 fazlı step motor kullanılarak)
6) Bir dizi spor sistemi
7) Üst plaka cihazı, kaldırma ve indirme için bir motor kullanır
7) Yazılım, LabVIEW Professional Edition'ın en son sürümünü benimser
4. Mekanik kolun yüklenmesi ve boşaltılması:
1) X Y. Bir dizi Z otomatik hareket mekanizması
2) Çift kollu robotik kol (yükleme ve boşaltma kolları)
5. Gofret kutusu sabitleme mekanizması:
1) AB, besleme film kutusunun sabit konumudur
2) CD, kesme filmi kutusunun sabit konumlandırılmasıdır
3) G, NG konumlu film kutusunun sabit konumudur
6. Kamera sabit platformu:
7. İki takım YZ elektrikli ayar mekanizması (servo motorlar tarafından kontrol edilir)
8. Raf ve elektrik kontrol konsolu:
1) 1 adet endüstriyel bilgisayar
2) Bir PLC seti;
3) Bir set solenoid valf ve kontrol sistemi
4) Bir dizi dijital pnömatik alet
5) Bir set kontrol konsolu
8. Yedek ataşmanlar:
1) Trakeal: 15 metre
2) 2 solenoid valf
3) Vakum pompası: 1 adet
9. Teknik veriler:
1) Bir kullanım kılavuzu
2) Bir adet uygunluk belgesi
10. Ek
Ekipman yazılımının SECS iletişim protokolüyle donatılması gerekir ve alıcı, alıcının MES sistemiyle bağlantı kurma, ürün parti numarasını, iş numarasını ve çalışma durumunu otomatik olarak kaydetme ve bunları yükleme işlevine sahip dinamik bir kitaplık sağlar. Aynı zamanda maske plakası QR kodunu tanımlama, MES sisteminin maske plakası QR koduyla karşılaştırma ve yanlış maske plakası alınmasını önleme işlevine de sahiptir.

Paketleme ve Teslimat