MDHS-AL8 8" Tam otomatik tek taraflı litografi makinesi , China MDHS-AL8 8" Tam otomatik tek taraflı litografi makinesi Manufacturers, Suppliers, Factory

Ürün Açıklaması

MDHS-AL8 8" Tam otomatik tek taraflı litografi makinesi

1. Çalışma modu: Yükleme robotu, wafere A-B (yeniden kullanılabilir) wafer kutusundan ön pozisyonlamaya otomatik olarak yükler

çalışma masası, ve kamera pozisyonu waferinin ayarlanması ve otomatik döndürme sistemi aracılığıyla, waferin ön pozisyonu sağlanır; Yükleme robotu ardından ön konumlandırılmış wafereyi hizalama masasına yükler. Bilgisayar görüntü tanımı ve otomatik hizalama sistemi ayarı yoluyla, maskenin ve wafereyin grafiklerinin otomatik hizalanması sağlanabilir. Ayrıca grafikleri hizalamadan bir maruziyet tamamlanabilir. Fazla maruziyet sistemi tarafından otomatik maruziyetten sonra, boşaltma robotu wafereyi otomatik olarak C-D (yeniden kullanılabilir) wafer kutusuna yerleştirir.
2. Maruziyet alanı: 160 × 160mm;
3. Eşit olmayan maruziyet ışınım yoğunluğu: ≤ 3%;
4. Maruziyet şidd tbsp: 0~≥ 40mw/cm2 ayarlanabilir (ışın açısı 2 °);
5. UV ışın açısı: ≤ 3 °;
6. Ultraviyole ışığın merkezi dalga boyu: 365nm;
7. UV ışık kaynağı ömrü: ≥ 20000 saat;
8. Ayrılma kapasitesi: 0~≥ 1000um ayarlanabilir;
9. Hizalama doğruluğu: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Üretim doğruluğu: Temas üretim ± 1 μ m. Yakın üretim ayrımı 20 μ M ışın açısı 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Üretim yöntemleri: Sert temas, yumuşak temas ve yakınlık üretim;
12. Üretim modu: Tek seferlik üretim veya kaydırma üretimi arasında seçim yapabilirsiniz
13. Ön konumlandırma görüntü tanıyıcı ve otomatik döndürme sistemi (ön konumlandırma çalışma masası dahil): döndürme açısı Q ≥ ± 180 °, döndürme doğruluğu Q ≤ 0.01 °;
14. Görüntü tanıma ve otomatik hizalama sistemi (UVW hizalama çalışma masası dahil): hizalama aralığı X Y ≥ ± 5mm, döndürme açısı Q ≥ ± 3 ° ve mikroskopun iki merceği, iki XYZ elektrikli platform tarafından kontrol edilmektedir.
15. Maske boyutu: 5 "× 5" ve 7" × 7 ";
16. Wafer boyutu: 4 "ve 6";
17. Üst ve alt film kutusu iş istasyonları: çift iş istasyonları;
18. Ayak yastığı havayastığı
19. Yükleme ve boşaltma çift kol robot kolu: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Wafer kutusundeki wafer sayısı: müşteri wafer kutusundaki wafer sayısına göre belirlenir;
21. Konumlandırma masası yükseltme: Z ≥ ± 25mm;
22. İrtifa zamanı: 0 ila 999,9 saniye arasında ayarlanabilir;
23. Üretim ritmi: >120 adet saatte;
24. Güç kaynağı: tek fazlı AC220V 50Hz, güç tüketimi ≤ 3KW;
25. Temiz hava basıncı: ≥ 0.4MPa;
26. Boşluk derecesi: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Boyut: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Ağırlık: Yaklaşık 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Bu makine, bir LED紫外li irtifa başı, görüntü tanıma ve otomatik döndürme sistemi, ön konumlandırma iş masası ve resim gibi tanıma ve otomatik hizalama sistemleri, hizalama iş masaları, yükleme robotları, boşaltma robotları, raflar ve elektrik kontrol cihazlarından oluşan donanımlardan, yedek aksesuarlardan vb. oluşur.

Speksiyasyon

1. İrtifa başı: Bir adet LED紫外 irtifa başı (365nm);
2. Görüntü tanım ve ön hizalama iş masası:
1) 1 kamera (1.3 milyon piksel)
2) Merkez konumlandırma aleti
3) 1 set döner platform (servo motor kullanılarak)
4) 1 set konumlandırma sistemi
3. Görüntü tanıma ve otomatik hizalama sistemi:
1) 2 kamera (5 milyon piksel yüksek çerçeve hızı)
2) 2 mercek (4x yüksek tanımlı mercek)
3) Bir endüstriyel bilgisayar
4) Bir denetleyici (PLC tarafından kontrol edilir)
5) Bir hizalama platformu seti (5-fazlı adımlayıcı motor kullanılarak)
6) Bir spor sistemi seti
7) Üst plaka cihazı, yükseltme ve indirme için bir motor kullanır
7) Yazılım, LabVIEW Professional Edition'un en yeni sürümünü kullanır
4. Yükleme ve boşaltma mekanik kol:
1) X Y. Bir Z otomatik hareket mekanizması seti
2) Çift kol robotik kol (yüklemek ve boşaltmak için kollar)
5. Wafer kutusu sabitleme mekanizması:
1) AB, besleme film kutusunun sabit konumlandırmasıdır
2) CD, kesme film kutusunun sabit konumlandırmasıdır
3) G, NG konum film kutusunun sabit konumlandırmasıdır
6. Kamera sabit platformu:
7. İki adet Y.Z elektrikli ayar mekanizması (servo motorlar tarafından kontrol edilir)
8. Raf ve elektrikli kontrol konsolu:
1) 1 endüstriyel bilgisayar
2) Bir adet PLC;
3) Bir adet elektromanyetik vanlar ve kontrol sistemi
4) Bir takım dijital pneumatik aletler
5) Bir takım kontrol konsolu
8. Yedek eklentiler:
1) Trakeal: 15 metre
2) 2 solenoid van
3) Boşluk pompa: 1 adet
9. Teknik veri:
1) Bir kullanıcı kılavuzu
2) Bir uyum sertifika belgesi
10. Ekstra
Ekipman yazılımı SECS iletişim protokolü ile donatılmalıdır ve alıcı, ürün partisi numarasını, iş numarasını ve işlem durumunu otomatik olarak kaydedebilen ve bunları yükleyebilecek bir dinamik kitaplık sağlar. Aynı zamanda, maske plakası QR kodunu tanıyabilecek ve bunu alıcının MES sistemiyle karşılaştıracak, yanlış maske plakasının alınmasını önleyecek bir fonksiyona da sahiptir.

Paketleme ve Teslimat