MDICP-5000F Tam Otomatik ICP Aşındırma Makinesi / Yarı iletken ekipman Endüktif Eşleşmiş Plazma, Çin MDICP-5000F Tam Otomatik ICP Aşındırma Makinesi / Yarı iletken ekipman Endüktif Eşleşmiş Plazma Üreticileri, Tedarikçiler, Fabrika

Ürün Açıklaması

MDICP-5000F Tam otomatik ICP gravür makinesi

MDICP-5000F Tam Otomatik ICP Aşındırma Makinesi / Yarı İletken ekipmanı Endüktif Eşleşmiş Plazma fabrikası

Yönetici Özeti

Ekipman iki odacıklı bir vakum sistemidir. Bir oda enjeksiyon numune alma odası, diğeri ise aşındırma odasıdır. Enjeksiyon numune alma odası ile aşındırma odası arasına bir vakum kilidi takılır ve enjeksiyon numunesi manipülatör tarafından taşınır.
Ekipman esas olarak vakum sistemi, gaz devre sistemi, elektrik sistemi, kontrol sistemi, soğutma sistemi, film besleme ve alma mekanizması, alarm sistemi vb.'den oluşur.

Vakum sistemi

Sistem, 600 L/S pompalama hızına sahip bir moleküler pompa + aşındırma odasını yüksek vakuma pompalamak için L/s pompalama hızına sahip ithal bir vakumlu kuru pompadan oluşur. Moleküler pompa ile aşındırma odası arasına bir elektrikli dinamik basınç düzenleme valfi yerleştirilmiştir. İthal kuru pompa, aşındırma odasının ön pompalama pompası ve moleküler pompanın ön aşama pompasıdır. Numune odasını vakumlamak için L / s pompalama hızına sahip başka bir mekanik pompa kullanın. Mekanik pompa ile vakum odası ve moleküler pompa arasındaki bağlantıda paslanmaz çelik körükler kullanılmış olup, elektromanyetik pnömatik blok vana monte edilmiştir.

Sabit basınç kontrol sistemi

Ekipman, aşağı yönde sabit basınç kontrol sistemi ile donatılmıştır ve hava çıkış boru hattına elektrikli ayarlanabilir bir valf monte edilmiştir. Film göstergesinin (ithal parçalar) ölçümü yoluyla, ayarlanabilir valf, vakum odasının sabit basınca ulaşmasını sağlamak ve böylece proses stabilitesini artırmak için kontrol edilir.

Sabit basınç kontrol sistemi

Gaz devresi sistemi

Otomatik eşleştirmeli iki set RF güç kaynağı.

Alarm sistemi

Ekipman için güvenlik gereksinimleri.

Özellikler

İsim	Uzm	Marka	No./Ayar	not
Aşındırma odası, hava tahliye boru hattı, gözlem penceresi, ayrılmış arayüz vb.	Standart	JSWN	1	pas önleyici
Çerçeve, elektrik dolabı, contalar, standart parçalar vb.	Standart	JSWN	1
Aşındırma odası kapağı kaldırma sistemi	Standart	JSWN	1	pas önleyici
Aşındırma elektrodu ve soğutma sistemi	Standart	JSWN	1	pas önleyici
Moleküler pompa (pompalama hızı 600 L/s)	FF620/150	KYKY	1	pas önleyici
Giriş kuru pompası (pompalama hızı 9 L/s)	XDS-35I	EDWARD'LAR	1	pas önleyici
Mekanik pompa (pompalama hızı 9 L/s)	TRP-36	BWVAC	1
Elektrikli ayar giriş valfi	DCQ-150	JSWN	1	pas önleyici
Pnömatik körüklü stop vanası	KF40	JSWN	3	pas önleyici
Film göstergesi	KF16	İNFİKON	1	pas önleyici
Kütle akış kontrolörü	D07	Sevenstar	4	pas önleyici
Pnömatik diyafram valfi	1/4″VCR	-	4	pas önleyici
Paslanmaz çelik boru, boru bağlantısı vb.	1/4″VCR	-	4	pas önleyici
RF güç kaynağı / otomatik eşleştirici	-	Çin(İsteğe bağlıCROWN1310)	1
RF güç kaynağı / otomatik eşleştirici	-	Çin(İsteğe bağlıCROWN1310)	1
Kompozit vakum ölçer	ZDF	RB	1
IPC	2U	Çin	1
LCD dokunmatik ekran	17inch	Çin	1
PLC kontrol sistemi	S7-200	iletkenlik birimi	1
Elektrikli tahrik kontrol sistemi	Standart	JSWN	1
Soğutma suyu algılama ve boru hattı sistemi	Standart	JSWN	1
Basınçlı hava algılama ve boru hattı sistemi	Standart	JSWN	1
Soğutma sirkülasyonlu su makinesi	HX	Çin	1
Aşındırma enjeksiyon odası	Standart	JSWN	1
Vakum kilidi	SMC	SMC	1
Manipülatör kontrol sistemi	SMC	SMC	1

Posta teknik parametresi

1. Vakumu sınırlayın: Aşındırma odası 9.0×10-5Pa (İç mekan nemi≤%55)
Enjeksiyon numune alma odası 6.0×10-1Pa
2. Aşındırma malzemesi: Ⅲ、ⅤMalzeme、Si 、SiO2, vb.
3. Aşındırma hızı: ~ 1μ/dak
4. Aşındırma bütünlüğü: ≤±%5(φ125mm aralık)
6. Elektrot boyutu: φ200mm

Paketleme ve Teslimat

Mallarınızın güvenliğini daha iyi sağlamak için profesyonel, çevreye duyarlı, kullanışlı ve verimli paketleme hizmetleri sağlanacaktır.

Şirket Profili

Ekipman satışında 16 yıllık tecrübemiz var. Size Çin'den Tek Noktadan Yarı İletken Ön Uç ve Arka Uç Paket Hattı ekipmanları profesyonel çözümü sağlayabiliriz.