Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Fiyat Al

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

ana sayfa
Hakkımızda
MH Equipment
Çözüm
Yurtdışı Kullanıcılar
video
Bize Ulaşın
Ana Sayfa> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDPS-560 Saklambaciform Çift Odalı Sputtering Sistemi / Yarıiletken endüstri cihazı
  • MDPS-560 Saklambaciform Çift Odalı Sputtering Sistemi / Yarıiletken endüstri cihazı
  • MDPS-560 Saklambaciform Çift Odalı Sputtering Sistemi / Yarıiletken endüstri cihazı
  • MDPS-560 Saklambaciform Çift Odalı Sputtering Sistemi / Yarıiletken endüstri cihazı
  • MDPS-560 Saklambaciform Çift Odalı Sputtering Sistemi / Yarıiletken endüstri cihazı
  • MDPS-560 Saklambaciform Çift Odalı Sputtering Sistemi / Yarıiletken endüstri cihazı

MDPS-560 Saklambaciform Çift Odalı Sputtering Sistemi / Yarıiletken endüstri cihazı

Ücretsiz Teklif Alın
Ürün Açıklaması

MDPS-560 Elde Sıvı İki Odalı Patlatma Sistemi

Üniversiteler ve bilim kurumları için çeşitli sert, metal, yarı iletken ve dielektrik filmler içeren tek/çok katmanlı işlevsel nano filmler hazırlamak için kullanılır.

Sputtering vakum odası, magnetron sputtering hedefi, su-soğutmalı alt tabaka ısıtma döner masa, örnekleme enjeksiyon odası, örnek odası, annealing cihazı, geriye doğru yıkanabilir hedef, manyetik örnek gönderme mekanizması, gaz devresi, çekim sistemi, vakum ölçüm sistemi, elektriksel kontrol sistemi ve montaj tabanı.
MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / Semiconductor industry equipment manufacture
Speksiyasyon
TUR
MDPS-560 II
Ana Sputtering Odası
pearliform vakum odası, boyut:Φ560×350mm
Örnek Enjeksiyon Odası
silindirik ve yatay tür, boyut: Φ250mm×420mm
Pompalama sistemi
ana sputtering odası ve örnek enjeksiyon odası için bağımsız bileşik moleküler pompa ve mekanik pompa seti.
Maksimum Vakum
Ana Sputtering Odası
≤6.67×10-6Pa (fırçalanma ve gaz salınımından sonra)
Örnek Enjeksiyon Odası
≤6.67×10-4Pa (fırçalanma ve gaz salınımından sonra)
Vacum Zamanını Geri Kazanma
Ana Sputtering Odası
40 dakika sonra 6.6×10-4Pa (kısa süreli hava maruz kalınması ve kuruyumazla doldurulduktan sonra pompa edildi)
Örnek Enjeksiyon Odası
40 dakika sonra 6.6×10-3Pa (kısa süreli hava maruz kalınması ve kuruyumazla doldurulduktan sonra pompa edildi)
Magnetron Hedef Modülü
5 adet kalıcı manyetik hedef; boyut Φ60mm (bir hedefin ferromanyetik malzeme püskürtmesine uygun). Tüm hedefler RF püskürme kabiliyetindedir.
ve DC püskürme uyumludur; ve hedef ile numune arasındaki mesafe 40mm'den 80mm'ye ayarlanabilir.
Su Soğutmalı Altbilgi Isıtma Devr Meşrubatı
Altbilgi Yapısı
Altı istasyon, bir istasyonda ısıtma fırını bulunurken, diğerleri su soğutmalı altbilgi istasyonudur.
Boyut
Φ30mm, altı parça.
Hareket modu
0-360°, öne geri.
ısıtma
Maks. Sıcaklık 600℃±1℃
Substrat Negatif Biyası
-200V
Gaz Devresi Sistemi
2-yönlü Kütleye Dayalı Akış Denetleyicisi (MFC)
Örnek Enjeksiyon Odası
Örnek Oda
Altı adet tek seferde
Isıtmacı
Maks. ısıtma sıcaklığı 800℃±1℃
Yeniden Sputtering Hedef Modülü
Yeniden Sputtering temizliği
Manyetik Örnek Gönderme Sistemi
Sputtering odası ve örnek enjeksiyon odası arasında örnek taşıma için kullanılır.
Bilgisayar Kontrol Sistemi
Örnek rotasyonu, kapanın açılması ve kapatılması, ve hedef pozisyon kontrolü
Kat Alanı
Ana Kümeye
2600×900mm2
elektrik dolabı
700×700mm2 (iki küme)
Paketleme ve Teslimat
MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / Semiconductor industry equipment factory
MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / Semiconductor industry equipment factory
Şirket Profili
Ekipman satışında 16 yıllık deneyimimiz vardır. Sıra dışı Birleşik Devletleri ön ve arka ucunda Yüzdelik Hattı ekipmanları profesyonel çözüm sunabilirsiniz Çin'den

Daha Fazla Ürün

Sorgu

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Gizlilik Politikası

Sorgu Email WhatsApp Top
×

İLETİŞİME GEÇİN