Bu ekipman, çeşitli üniversiteler ve araştırma kurumları için lityografi makinelerinin kullanım özelliklerine özel olarak geliştirilen bir hassas lityografi makinesidir. Ana olarak küçük ve orta boy entegre devreler, yarıletkin bileşenler, optoelektronik cihazlar ve yüzey ses dalgası cihazlarının geliştirmesi ve üretiminde kullanılmaktadır. Ekipmanın orijinal ana teknik göstergelerini koruma ilkesi üzerine, ekipmanın bazı yapılarını ve bileşenlerini optimize etmiş, bazı gerekli olmayan mekanik hareketleri azaltmış ve ekipmanın hata noktalarının mümkün olduğunca minimum olması gerektiğini ve ekipmanın çalışmasını da çok stabil ve güvenilir kılmayı sağladık.
Speksiyasyon
Ana teknik parametreler
1. İrtifa türü: tek taraflı. 2. İrtifa alanı: 110×110mm. 3. Dengesiz irtifa aydınlatması: ≤±3%. 4. İrtifa şiddnitesi: 0-30mw/cm2 ayarlanabilir. 5. UV ışın束 açısı: ≤3°. 6. Ultraviyole ışığın merkezi dalga boyu: 365nm. 7. UV ışık kaynağı ömrü: ≥500 saat. 8. Elektronik şömine kullanma. 9. İrtifa çözünürlüğü: 1 μm; 10.Mikroskobik tarama aralığı: X:±15mm Y:±15mm; 11.Hizalama aralığı: X,Y ayarı ±4mm; Q-yönü ayarı ±3°; 12.Oyma doğruluğu: 1 μ Kullanıcı'nın "sürüm" ve "çip" doğruluğunun ulusal düzenlemelere uyması gerekir, ve çevre, sıcaklık, nem ve toz kontrol edilebilir şekilde yönetilmelidir. İthal pozitif fotorezist kullanılır ve eşit kalınlıktaki fotorezistin kalınlığı s trik olarak kontrol edilebilir. Ayrıca, ön ve sonraki süreçler ileridir; 13.Ayrılma miktarı: 0~50 μm arasında ayarlanabilir; 14.Maruziyet yöntemi: yakın maruziyet, sert temas, yumuşak temas ve mikro kuvvet temas maruziyetine ulaşılabilir; 15.Kare bulma formülü: hava
Paketleme ve Teslimat
Şirket Profili
Ekipman satışında 16 yıllık deneyimimiz vardır. Sıra dışı Birleşik Devletleri ön ve arka ucunda Yüzdelik Hattı ekipmanları profesyonel çözüm sunabilirsiniz Çin'den
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
