Bu ekipman esas olarak küçük ve orta ölçekli entegre devrelerin, yarı iletken bileşenlerin ve yüzey akustik dalga cihazlarının geliştirilmesi ve üretimi için kullanılır. Gelişmiş tesviye mekanizması ve düşük tesviye kuvveti nedeniyle, bu makine yalnızca çeşitli alt tabaka türlerinin maruz kalması için değil, aynı zamanda potasyum arsenit ve fosfat çeliği gibi kolayca parçalanabilen alt tabakaların yanı sıra olmayan alt tabakaların maruz kalması için de uygundur. dairesel ve küçük yüzeyler.