MDXN-25X Yüksek Hassasiyetli Tek Taraflı Litografi Makinesi, Çin MDXN-25X Yüksek Hassasiyetli Tek Taraflı Litografi Makinesi Üreticileri, Tedarikçiler, Fabrika

Ürün Açıklaması

Bu ekipman, çeşitli kolej ve araştırma kurumlarındaki litografi makinelerinin kullanım özelliklerine yönelik olarak firmamız tarafından özel olarak geliştirilmiş hassas bir litografi makinesidir. Esas olarak küçük ve orta ölçekli entegre devrelerin, yarı iletken bileşenlerin, optoelektronik cihazların ve yüzey akustik dalga cihazlarının geliştirilmesi ve üretiminde kullanılır.

MDXN-25X Yüksek Hassasiyetli Tek Taraflı Litografi Makinesi fabrikası

Özellikler

Ana teknik parametreler

1. Cihaz, plakanın kalınlığı (5 ila 5 mm arasında değişen) için özel bir gereklilik olmaksızın 1 "X3" kare maskeyi vakumla adsorbe edebilir.
2. Cihaz ф 100mm dairesel alt tabakaya uygulanabilir;
3. Yüzey kalınlığı ≤ 5mm;
4. Aydınlatma:
Işık kaynağı: GCQ350Z ultra yüksek basınçlı cıvalı doğru akım cıvalı lamba kullanılmaktadır.
Aydınlatma aralığı: ≤ ф 117mm Pozlama alanı: ф 100mm
kal ф 100 mm aralığında, maruz kalma eşitsizliği ≤ ± %3'tür ve maruz kalma yoğunluğu >6 mw/cm2'dir (bu gösterge, bir UV ışık kaynağı I-line 365 nm kullanılarak ölçülür).
5. Bu cihaz, pnömatik deklanşörü kontrol etmek için doğru ve güvenilir çalışmayı sağlayan ithal bir zaman rölesini benimser.
6. Bu makine aşağıdakileri başarabilen bir temaslı pozlama makinesidir:
7. Sert temasa maruz kalma: Yüksek vakum teması, vakum ≤ -0.05MPa elde etmek için boru hattı vakumunu kullanın
8. Yumuşak temasa maruz kalma: Temas basıncı, vakumu -0.02MPa ile -0.05MPa arasına yükseltebilir.
9. Mikro temasa maruz kalma: yumuşak temastan az, vakum ≥ -0.02MPa.
10. Maruz kalma çözünürlüğü: Bu cihazın sert temasa maruz kalma çözünürlüğü m'nin üzerinde 1 μ'ye ulaşabilir (kullanıcının "plakası" ve "çipinin" doğruluğu ulusal düzenlemelere uygun olmalıdır ve ortam, sıcaklık, nem ve toz Kesinlikle kontrol edilebilir. İthal pozitif fotorezist kullanılır ve tekdüze fotorezistin kalınlığı sıkı bir şekilde kontrol edilebilir. Ayrıca ön ve arka işlemler de ilerletilir.
11. Hizalama: Gözlem sistemi, iki adet tek tüplü mikroskop üzerine monte edilmiş ve bir video kablosu aracılığıyla ekrana bağlanan iki CCD kameradan oluşur.

Paketleme ve Teslimat

MDXN-25X Yüksek Hassasiyetli Tek Taraflı Litografi Makinesi tedarikçisi

MDXN-25X Yüksek Hassasiyetli Tek Taraflı Litografi Makinesi detayları

Şirket Profili

Ekipman satışında 16 yıllık tecrübemiz var. Size Çin'den Tek Noktadan Yarı İletken Ön Uç ve Arka Uç Paket Hattı ekipmanları profesyonel çözümü sağlayabiliriz.