MDXN-25X Yüksek Kesinlikli Tek Yanlı Basım Makinesi , China MDXN-25X Yüksek Kesinlikli Tek Yanlı Basım Makinesi Manufacturers, Suppliers, Factory

Ürün Açıklaması

Bu ekipman, çeşitli üniversitelerde ve araştırma kurumlarındaki litografi makinelerinin kullanım özelliklerine özel olarak geliştirilmiş bir hassas litografi makinesidir. Ana olarak küçük ve orta boyutta entegre devreler, semiyarıtkabul bileşenleri, optoelektronik cihazlar ve yüzey ses dalgası cihazlarının geliştirmesinde ve üretiminde kullanılmaktadır.

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine factory

Speksiyasyon

Ana teknik parametreler

1. Cihaz, plakanın kalınlığına özel bir gereksinim olmadan (1 ila 3 mm aralığında) 5"X5" kare bir maskeyi vakum ile emebilir.
2. Cihaz, ф 100mm çaplı dairesel bir alt tabaka için kullanılabilir;
3. Alt tabaka kalınlığı ≤ 5mm;
4. Işıtlama:
Işık kaynağı: GCQ350Z ultra-yüksek basınçlı merkür direk akım merkür lambası kullanılır.
Işıtlama alanı: ≤ ф 117mm Maruz kalınma alanı: ф 100mm
ф 100mm değerinin içinde, maruz kalınmadaki düzensizlik ≤ ± 3%, ve maruz kalınma şidd >6mw/cm² (bu gösterge, UV ışık kaynağı I-line 365nm kullanılarak ölçülmüştür).
5. Bu cihaz, hassas ve güvenilir bir işlemi sağlamak için ithal edilmiş bir zaman röleleriyle pnevmatik şömineyi kontrol eder.
6. Bu makine, aşağıdaki özelliği gerçekleştirebilen bir temas maruz kalınma makineleridir:
7. Sert temas maruz kalınması: Boru vakumu yüksek vakumlu temas elde etmek için kullanılır, vakum ≤ -0.05MPa
8. Yumuşak temas maruziyeti: Temas basıncı vakumü -0.02MPa ile -0.05MPa arasında artırabilir.
9. Mikro temas maruziyeti: yumuşak temastan daha az, vakum ≥ -0.02MPa.
10. Maruziyet çözünürlüğü: Bu cihazın sert temas maruziyetinin çözünürlüğü 1 μm üzerinde olabilir (kullanıcının "plaka" ve "çip" doğruluğunun ulusal düzenlemelere uygun olması gerekir ve çevre, sıcaklık, nem ve toz kontrol edilmeli. İthal pozitif foto direnç kullanılır ve eşit kalınlıkta foto direncinin kesinlikle kontrol edilmesi gerekir. Ayrıca, ön ve son süreçler ileri seviyededir).
11. Hizalama: Gözleme sistemi, iki tek tüplu mikroskop üzerine monte edilmiş iki CCD kamerasından oluşur ve video kablusu aracılığıyla göstergedeki ekrana bağlanır.

Paketleme ve Teslimat

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine supplier

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine details

Şirket Profili

Ekipman satışında 16 yıllık deneyimimiz vardır. Sıra dışı Birleşik Devletleri ön ve arka ucunda Yüzdelik Hattı ekipmanları profesyonel çözüm sunabilirsiniz Çin'den