1.Ekipman için gereken enerji: Anaç makine gücü: 220V, 50HZ, tüketim≤1.5KW;
2.Bir vakum pompa ile donatılmıştır ve gücün 220V'dir;
3.Boyut ve ağırlık: Boyut:1200(uzunluk)×720(genişlik)×1500(yükseklik). Ağırlık ≤170kg;
4.Makine gövdesini özel bir çalışma masasına yerleştirin;
5.Maruziyet türü: temas tipi, plaka hizalama, iki yanlı maruziyet;
6.Maruziyet alanı:φ100mm;
7.Denge dışı maruziyet: ≤±3%;
8.Maruziyet şiddintensity: ≥5mw/cm2;
9.Şaft çözünürlüğü: 2μm;
10.Şaft modu: Çift taraflı eşzamanlı şafak;
11.Hizalama aralığı: X: ±5mm Y:±5mm;
12.Oyma doğruluğu: 2μm;
13.Dönmə aralığı: Q-yönü dönmə ayarı≤±5°;
14.Mikroskop sistemi: çift görünürlük alanı CCD sistemi, nesne merceği 1.6X~10X, bilgisayar görüntü işleme sistemi, 19"LCD ekranı;
15.Paspan boyutu: Boşluk emme kabiliyetine sahip