1. Maruz kalma tipi: temas tipi, levha hizalama, çift yan tek maruz kalma
2. İletim alanı: 110X110mm;
3. İletim均匀liği: ≥ 97%;
4. İletim şiddtosu: 0-30mw/cm2 ayarlanabilir;
5. UV ışın açısı: ≤ 3 °
6. Ultraviyole ışığın merkezi dalga boyu: 365nm;
7. UV ışık kaynağı ömrü: ≥ 20000 saat;
8. Çalışma yüzeyi sıcaklığı: ≤ 30 ℃
9. Elektronik şömine kullanılarak;
10. İrtifa çözünürlüğü: 1 μ M (irtifa derinliği çizgi genişliğinin yaklaşık 10 katıdır)
11. İrtifa modu: Çift taraflı eşzamanlı irtifa
12. Hizalama aralığı: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. Plaka hizalama doğruluğu: 2 μ m
14. Dönel aralık: Q-yönü dönel ayarı ≤ ± 5 °
15. Mikroskobik sistem: çift görünürlük alanı CCD sistemi, nesne merceği 1.6X~10X, bilgisayarla görüntü işleme sistemi, 19 "LCD ekran; Toplam büyüme oranı 91-570x
16. Mask boyutu: 5 "kare maskeleri vakumla emebilir, maske kalınlığına özel gereksinim yoktur (1 ila 3mm arasında değişir).
17. Alt tabaka boyutu: 4 "alt tabakalar için uygun, alt tabaka kalınlığı 0.1 ila 2mm arasında değişir.
18. Sipariş verirken özel gereksinim yoktur ve 5" X5 raf standarttır; 5" X5'ten küçük rafları özelleştirebilirsiniz: