Bu ekipman esas olarak küçük ve orta ölçekli entegre devrelerin, yarı iletken bileşenlerin ve yüzey akustik dalga cihazlarının geliştirilmesi ve üretimi için kullanılır. Gelişmiş tesviye mekanizması ve düşük tesviye kuvveti nedeniyle, bu makine yalnızca çeşitli alt tabaka türlerinin maruz kalması için değil, aynı zamanda potasyum arsenit ve fosfat çeliği gibi kolayca parçalanabilen alt tabakaların yanı sıra olmayan alt tabakaların maruz kalması için de uygundur. dairesel ve küçük yüzeyler.
Özellikler
Ana teknik parametreler
1. Pozlama tipi: temas tipi, plaka hizalaması, çift taraflı tek pozlama 2. Pozlama alanı: 110X110mm; 3. Maruziyet eşitliği: ≥ %97; 4. Pozlama yoğunluğu: 0-30 mw/cm2 ayarlanabilir; 5. UV ışın açısı: ≤ 3 ° 6. Ultraviyole ışığın merkezi dalga boyu: 365nm; 7. UV ışık kaynağı ömrü: ≥ 20000 saat;; 8. Çalışma yüzeyi sıcaklığı: ≤ 30 OC 9. Elektronik deklanşörün benimsenmesi; 10. Pozlama çözünürlüğü: 1 μ M (pozlama derinliği çizgi genişliğinin yaklaşık 10 katıdır) 11. Pozlama modu: Çift taraflı eşzamanlı pozlama 12. Hizalama aralığı: x: ± 5mm Y: ± 5mm 13. Plaka hizalama doğruluğu: 2 μm 14. Dönme aralığı: Q yönü dönüş ayarı ≤ ± 5 ° 15. Mikroskobik sistem: çift görüş alanı CCD sistemi, objektif lens 1.6X~10X, bilgisayarlı görüntü işleme sistemi, 19 "LCD monitör; Toplam büyütme 91-570x 16. Maske boyutu: Maskenin kalınlığı için özel bir gereklilik olmaksızın (5 ila 1 mm arasında değişen) 3 "kare maskeyi vakumla emebilir. 17. Alt tabaka boyutu: Alt tabaka kalınlığı 4 ila 0.1 mm arasında değişen 2 "alt tabakalar için uygundur. 18. Sipariş verirken özel bir gereklilik yoktur ve 5"X5 raf standarttır; 5" X5'in altındaki rafları özelleştirebilirsiniz:
Paketleme ve Teslimat
Şirket Profili
Ekipman satışında 16 yıllık tecrübemiz var. Size Çin'den Tek Noktadan Yarı İletken Ön Uç ve Arka Uç Paket Hattı ekipmanları profesyonel çözümü sağlayabiliriz.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
YOK HAYIR
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
