PECVD Plazma destekli kimyasal buhar biriktirme ekipmanı / Yüksek sıcaklık PECVD işlemi, Çin PECVD Plazma destekli kimyasal buhar biriktirme ekipmanı / Yüksek sıcaklık PECVD işlemi Üreticiler, Tedarikçiler, Fabrika

Ürün Açıklaması

PECVD Plazma ile geliştirilmiş kimyasal buhar biriktirme ekipmanı

◆ Proses süresi, sıcaklık, gaz akışı, valf hareketi ve reaksiyon odası basıncının tam otomatik kontrolü,
endüstriyel bilgisayar.
◆ Yüksek stabiliteye sahip ithal basınç kontrol sistemi ve kapalı döngü sistemi benimsenmiştir.
◆ Gaz devresinin hava sızdırmazlığını sağlamak için ithal, korozyona dayanıklı paslanmaz çelik boru bağlantı parçaları ve vanalar kullanılmıştır.
◆ Mükemmel alarm fonksiyonuna ve güvenlik kilitleme cihazına sahiptir.
◆ Ultra yüksek sıcaklık alarmı ve düşük sıcaklık alarmı, MFC alarmı, reaksiyon odası basınç alarmı, RF alarmı, düşük basınçlı hava basıncı alarmı, düşük N2 basıncı alarmı ve düşük soğutma suyu akışı alarmı vardır.
◆ Mevcut PECVD, yükseltme sonrasında SiO2 filmini büyütme işlevine sahiptir ve bu, pil modülünün PID sorununu çözer. SiNxOy filmi büyütülebilir (arka pasifleştirme işlemi), bu da pilin dönüşüm verimliliğini büyük ölçüde artırabilir.

PECVD Plazma geliştirilmiş kimyasal buhar biriktirme ekipmanı / Yüksek sıcaklık PECVD prosesi tedarikçisi

PECVD Plazmayla geliştirilmiş kimyasal buhar biriktirme ekipmanı / Yüksek sıcaklıkta PECVD proses ayrıntıları

PECVD Plazma geliştirilmiş kimyasal buhar biriktirme ekipmanı / Yüksek sıcaklık PECVD proses fabrikası

Tip

◆ Yükleme miktarı: 384 adet/tekne (125 * 125); 336 adet/tekne (156*156)
◆ Arıtma masasının temizliği: Derece 100 (Sınıf 10000 tesis)
◆ Otomasyon derecesi: sıcaklığın ve prosesin otomatik kontrolü.
◆ Talaş gönderme ve alma modu: yumuşak iniş tipi, istikrarlı ve güvenilir özelliklere sahip, kayma yok, doğru konumlandırma, büyük taşıma kapasitesi ve uzun servis ömrü.

Özellikler

Tüp başına maksimum yükleme	384 adet/tekne (125125) 336 adet/tekne (156156)
Süreç indeksi	Tablette ± %3, tabletler arasında ± %3, partiler arasında ± %3
çalışma sıcaklığı	200 ~ 500 ℃
Sıcaklık bölgesinin doğruluğu ve uzunluğu (statik kapalı tüp testi)	1200mm±1°C
Gaz akış doğruluğu	±% 1 FS
Hava devresi sisteminin hava sızdırmazlığı	1×10-7Pa.m³/S
kontrol	Tamamen ithal otomatik kapalı devre basınç düzenleme sistemi, reaksiyon vakumunun hassas kontrolü; 40KHz yüksek frekanslı güç tedarik; Zanaat teknesinin yumuşak inişi; Tam dijital kontrol, mükemmel ve güvenli proses kontrol koruması.
1 tüp, 2 tüp, 3 tüp ve 4 tüp isteğe bağlıdır; Otomatik yükleme manipülatörü isteğe bağlıdır ve ekipman performansı ve proses performansı dünyanın en iyi benzer ekipmanlarıyla karşılaştırılabilir olabilir.

Paketleme ve Teslimat

PECVD Plazma ile geliştirilmiş kimyasal buhar biriktirme ekipmanı / Yüksek sıcaklıkta PECVD proses üretimi

Mallarınızın güvenliğini daha iyi sağlamak için profesyonel, çevreye duyarlı, kullanışlı ve verimli paketleme hizmetleri sağlanacaktır.

Şirket Profili

Ekipman satışında 16 yıllık tecrübemiz var. Size Çin'den Tek Noktadan Yarı İletken Ön Uç ve Arka Uç Paket Hattı ekipmanları profesyonel çözümü sağlayabiliriz.