Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

ana sayfa
Hakkımızda
MH Equipment
Çözüm
Yurtdışı Kullanıcılar
video
Bize Ulaşın
Ana Sayfa> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • PECVD Plazma destekli kimyasal buhar birleştirme cihazı / Yüksek sıcaklık PECVD süreci
  • PECVD Plazma destekli kimyasal buhar birleştirme cihazı / Yüksek sıcaklık PECVD süreci
  • PECVD Plazma destekli kimyasal buhar birleştirme cihazı / Yüksek sıcaklık PECVD süreci
  • PECVD Plazma destekli kimyasal buhar birleştirme cihazı / Yüksek sıcaklık PECVD süreci
  • PECVD Plazma destekli kimyasal buhar birleştirme cihazı / Yüksek sıcaklık PECVD süreci
  • PECVD Plazma destekli kimyasal buhar birleştirme cihazı / Yüksek sıcaklık PECVD süreci

PECVD Plazma destekli kimyasal buhar birleştirme cihazı / Yüksek sıcaklık PECVD süreci

Ürün Açıklaması

PECVD Plazma destekli kimyasal buhar yatırımı ekipmanı

◆ İşlem süresi, sıcaklık, gaz akımı, van hareketi ve reaksiyon odası basıncının tamamen otomatik kontrolü
endüstriyel bilgisayar tarafından gerçekleştirilir.
◆ İthal basınç kontrol sistemi ve kapalı döngü sistemi kullanılmaktadır, yüksek istikrarlıdır.
◆ İthal koroziyon dayanıklı çelik boru bileşenleri ve valfeler kullanılır, bu da gaz devresinin havagazı sımsıcaklığını garanti altına alır.
◆ Müş hảo alarm fonksiyonuna ve güvenlik kilidi cihazına sahiptir.
◆ Üst sınır sıcaklık alarmı ve düşük sıcaklık alarmı, MFC alarmı, reaksiyon odası basıncı alarmı, RF alarmı, düşük sıkıştırılmış hava basıncı alarmı, düşük N2 basıncı alarmı ve düşük soğutma suyu akımı alarmı bulunmaktadır.
◆ Var olan PECVD'nin, yükseltildikten sonra SiO2 filmini büyütme işlevine sahip olması, pil modülünün PID sorununu çözer. SiNxOy filmi büyütülebilir (arka pasifleştirme işlemi), bu da pilin dönüşüm verimliliğini büyük ölçüde artırabilir.
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process supplier
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process details
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory

TUR

◆ Yükleme miktarı: 384 adet/tekne (125 * 125); 336 adet/tekne (156 * 156)
◆ Temizlik seviyesi: 100. derece (10000 fabrika derecesi)
◆ Otomasyon düzeyi: sıcaklığın ve işlemin otomatik kontrolü.
◆ Çip gönderme ve alma modu: yumuşak iniş tipi, kararlı ve güvenilir özelliklere sahip, sürünme yok, doğru pozisyonlama, büyük yükleme kapasitesi ve uzun hizmet ömrü.
Speksiyasyon
Her boruya maksimum yükleme
384 adet/tekne (125*125)
336 adet/tekne (156*156)
İşlem dizini
Tablet içinde ± 3%, tabletler arasında ± 3%, partiler arasında ± 3%
Çalışma Sıcaklığı
200~500℃
Sıcaklık bölgesinin doğruluğu ve uzunluğu (statik kapalı boru testi)
1200mm±1℃
Gaz akışının doğruluğu
±1%FS
Hava devresi sisteminin hava sımsıcaklığı
1×10-7Pa.m³/S
Kontrol
Tamamen ithal otomatik basınç kapanma döngüsü düzenleyici sistemi, tepkime vakumunun hassas kontrolü; 40KHz yüksek frekanslı güç kaynağı; Uçak yumuşak iniği; Tam dijital kontrol, mükemmel ve güvenli süreç kontrol koruması.
1 boru, 2 boru, 3 boru ve 4 boru seçeneği mevcut; Otomatik yükleme manipülörü isteğe bağlıdır ve ekipman performansı ile süreç performansı, dünyadaki en iyi benzer ekipmanlarla karşılaştırılabilir.
Dünya'nın en üst düzey benzer cihazlarıyla kıyaslanabilir ekipman performansı ve süreç performansı sunar.
1 boru, 2 boru, 3 boru ve 4 boru seçenekleri mevcuttur; Otomatik yükleme manipülörü isteğe bağlıdır ve ekipman performansı ile süreç performansı, dünyadaki en iyi benzer ekipmanlarla kıyaslanabilir.
Paketleme ve Teslimat
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process manufacture
Mallarınızın güvenliğini daha iyi sağlamak için profesyonel, çevre dostu, pratik ve verimli ambalaj hizmetleri sunulacaktır.
Şirket Profili
Ekipman satışında 16 yıllık deneyimimiz vardır. Sıra dışı Birleşik Devletleri ön ve arka ucunda Yüzdelik Hattı ekipmanları profesyonel çözüm sunabilirsiniz Çin'den

Sorgu

Sorgu Email WhatsApp Top
×

İLETİŞİME GEÇİN