MDAM-CMP100/150 hassas taşlama ve parlatma makinesi, ana ünite ve tüm yedek parçalar yüksek korozyona dayanıklı malzemelerden yapılmıştır. Tüm makine korozyona dayanıklı, sabit, aşınmaya dayanıklı ve paslanmaya dayanıklıdır, çeşitli yarı iletken malzemelerin kimyasal mekanik taşlanması ve parlatılması için uygundur. Çalışma alanı ekran kontrol alanından ayrılmıştır ve dokunmatik ekran kontrol sistemi kullanılarak dijital olarak kontrol edilir. CNC kontrollüdür, saklanabilir ve geri alınabilir.
Cihaz sistemi, 10 saat boyunca sürekli çalışabilen ve parlatma diskinin hızını kontrol edebilen bir zamanlama fonksiyonuna sahiptir. Kontrol paneli, aşındırıcı solüsyonun kontrol paneline sıçramasını önlemek için çalışma alanının dışına yerleştirilmiştir. Ana bilgisayarın tüm parametreleri dokunmatik ekrandan ayarlanabilir. Ana bilgisayar işlem parametreleri, işlemin tutarlılığını ve tekrarlanabilirliğini sağlamak için depolama ve alma fonksiyonlarına sahiptir. Wafer numunesi, yağsız bir vakum pompası ile donatılmış ve bağımsız anti ters emiş fonksiyonuna sahip vakum pompası ile fikstürün alt yüzeyine adsorbe edilir.
Fikstür yapılandırması numune yatay dönüş tahrik sistemi, %0-100 ayarlanabilir bir salınım aralığına sahip bir salınım fonksiyonuna sahiptir. Salınım genliği ve frekans hızı, kontrol paneli aracılığıyla doğru bir şekilde ayarlanabilir. Fikstür, 0-120 rpm ayarlanabilir hız aralığına sahip dönüş için bağımsız bir tahrik sistemi ile donatılmıştır. Bu işlevsel tasarım, taşlama ve parlatma işlemi sırasında numunenin tam salınım parlatılmasını sağlayarak ekipmanın parlatma kapasitesini ve verimliliğini büyük ölçüde artırır.
Fikstür, 1 μ m izleme doğruluğuna sahip dijital bir kalınlık izleme masası ile donatılmıştır. Fikstürün gofret numunesi üzerindeki basıncı, 0-3.5 kg'lık bir basınç aralığı ve 2 g/cm ²'lik bir doğrulukla sürekli olarak ayarlanabilir ve bir basınç ölçüm cihazı ile donatılmıştır.
Taşlama ve parlatma diskinin çalışması ana tahrik tarafından kontrol edilir ve disk hızı dakikada 0 ila 120 devir arasında ayarlanabilir. Bu hız değişim aralığı, farklı sertlik ve boyuttaki malzemelerin taşlama ve parlatma örneklerinin hızını etkili bir şekilde garanti eder ve böylece daha yüksek işlem göstergelerine ulaşılır. Taşlama disklerinin ve parlatma disklerinin değiştirilmesi, ekipmanın taşlamadan parlatma işlemlerine hızla geçmesini sağlayan gömülü disklerle basit ve hızlıdır ve işlem süresini büyük ölçüde azaltır. Ve taşlama diski, taşlama diskinin iyi bir düzlüğe sahip olmasını sağlamak için bir disk onarım bloğu ile donatılmıştır.