MDAM-CMP100/150 duyarlılıkli şleme ve pırasa makinesi, ana birim ve tüm yedek parçalar yüksek korozyon dayanımı olan malzemelerden yapılmıştır. Tüm makineler korozyon direnci, istikrarlı, aşınmaya dayalı ve çürümeye karşı dirençlidir, çeşitli semi-iletki malzemelerinin kimyasal mekanik şlemesine ve pırasasına uygunlaşmıştır. Çalışma alanı göstergeden ayrılmış durumda olup dokunmatik ekran kontrol sistemi kullanılarak dijital olarak kontrol edilmektedir. Makine CNC ile kontrol edilir, depolanabilir ve geri alınabilir.
Aygıt sistemi bir zamanlama fonksiyonuna sahip olup, 10 saat boyunca sürekli çalışabilir ve pürüzsüzleştirmek için kullanılan diskin hızını kontrol edebilir. Kontrol paneli, emmişlik çözümünün kontrol paneline sıçramasını önlemek amacıyla çalışma alanının dışında yerleştirilmiştir. Ana cihazın tüm parametreleri dokunmatik ekran üzerinden ayarlanabilir. Ana cihaz süreç parametreleri depolama ve geri yükleme fonksiyonlarına sahiptir ki bu da sürecin tutarlılığını ve tekrarlanabilirliğini garanti altına alır. Wafer numunesi, vakum ile sabitlenen aletin alt yüzeyine emilir ve vakumlu bir yağsız vakum pompa ile donatılmış olup, bağımsız ters emme önleme fonksiyonuna sahiptir.
Sabitleme yapılandırması, yatay döndürme sürücü sistemi dalga fonksiyonuna sahiptir, dalga aralığı %0-%100 ayarlanabilir. Dalga amplitudu ve frekans hızı kontrol paneli aracılığıyla doğru bir şekilde ayarlanabilir. Sabitleme, döndürme için bağımsız bir sürücü sistemine sahiptir, hız aralığı 0-120 devir/dakika ayarlanabilir. Bu işlevsel tasarım, örselenme ve pürüzlük işleminde numune üzerinde tam dalga ile parlatma sağlar, cihazın parlatma kapasitesini ve verimliliğini büyük ölçüde artırır.
Sabitleme, 1 μm izleme hassasiyetine sahip dijital kalınlık izleme tablosu ile donatılmıştır. Sabitlemenin wafer numunesi üzerinde uyguladığı basıncı sürekli olarak ayarlayabilirsiniz, basınç aralığı 0-3,5 kg ve hassasiyeti 2g/cm²'dir ve bir basınç ölçüm cihazı ile donatılmıştır.
Kıyma ve pürüzsüzleştirme diskinin çalışması ana sürücü tarafından kontrol edilir ve disk hızı dakikada 0 ila 120 devir arasında ayarlanabilir. Bu hız değişimi aralığı, farklı sertlik ve boyutta malzemelerin kıyma ve pürüzsüzleştirmesi süreçlerinin hızını etkili şekilde sağlar ve böylece daha yüksek süreç göstergeleri elde edilir. Kıyma ve pürüzsüzleştirme disklerinin değiştirilmesi basit ve hızlıdır; takılı diskler ekipmanın kıyma işleminden pürüzsüzleştirme işlemine hızlı geçiş yapmasını sağlar ve süreç zamanını büyük ölçüde azaltır. Ayrıca, kıyma diski, kıyma diskinin iyi düzliğe sahip olmasından emin olmak için bir disk tamir bloğu ile donatılmıştır.