Bileşik yarı iletkenler SlC LED ve MEMS için Hızlı Isıl İşlem Masaüstü RTP Sistemi, Çin Bileşik yarı iletkenler SlC LED ve MEMS için Hızlı Isıl İşlem Masaüstü RTP Sistemi Üreticileri, Tedarikçiler, Fabrika

Ürün Açıklaması

Hızlı Isıl İşlem

Bileşik yarı iletkenler, SIC, LED ve MEMS için güvenilir RTP ekipmanı sağlayın

Endüstri uygulamaları

* Oksit, nitrür büyümesi
* Ohmik temaslı hızlı alaşım
* Silisit alaşımının tavlanması
* Oksidasyon reflü
* Galyum arsenit süreci
* Diğer hızlı ısıl işlem prosesleri

Bileşik yarı iletkenler SIC LED ve MEMS için Hızlı Termal İşleme Masaüstü RTP Sistemi ayrıntıları

Ürün avantajları

1. Proses aralığı 200-1250 °C'yi kapsar
2. Güçlü bir sıcaklık alanı yönetim sistemi
3. Özel RTP algoritması
4. Profesyonel TC Gofret kalibrasyon aracı

Özellikler(Hazırlık aşamasında)

* Kızılötesi halojen lamba tüpü ısıtma, hava soğutmayı kullanarak soğutma;
* Sıcaklık artışını doğru bir şekilde kontrol edebilen, iyi tekrarlanabilirlik ve sıcaklık bütünlüğü sağlayan lamba gücü için PlD sıcaklık kontrolü;
* Tavlama işlemi sırasında soğuk nokta oluşumunu önlemek ve ürünün iyi sıcaklık homojenliğini sağlamak için malzemenin girişi GOFRET yüzeyine ayarlanır;
* Vücudun ön arıtması ve saflaştırılmasıyla hem atmosferik hem de vakumlu arıtma yöntemleri seçilebilir;
* İki set proses gazı standarttır ve 6 set proses gazına kadar genişletilebilir;
* Ölçülebilir tek kristal silikon numunesinin maksimum boyutu 12 inçtir (300x300MM);
* Cihazın güvenliğini sağlamak için güvenli sıcaklık açma koruması, sıcaklık kontrol cihazı açma izni koruması ve ekipman acil durdurma güvenlik korumasından oluşan üç güvenlik önlemi tamamen uygulanmıştır;

20. derece eğrilerin çakışması

Bileşik yarı iletkenler SIC LED ve MEMS üretimi için Hızlı Termal İşleme Masaüstü RTP Sistemi

20 °C'de sıcaklık kontrolü için 850 eğri

Bileşik yarı iletkenler SIC LED ve MEMS fabrikası için Hızlı Termal İşleme Masaüstü RTP Sistemi

20 ortalama sıcaklık eğrisinin çakışması

1250°C sıcaklık kontrolü

Bileşik yarı iletkenler SIC LED ve MEMS için Hızlı Termal İşleme Masaüstü RTP Sistemi Tedarikçi

RTP sıcaklık kontrolü 1000 °C süreci

Kızılötesi pirometre ile kontrol edilen 960 °C proses

LED proses verileri

RTD Gofret, sıcaklık sensörlerini (RTD'ler) bir levhanın yüzeyindeki belirli konumlara yerleştirmek için özel işleme teknikleri kullanan ve levha üzerindeki yüzey sıcaklığının gerçek zamanlı ölçümüne olanak tanıyan bir sıcaklık sensörüdür.
RTD Gofret aracılığıyla levhanın belirli yerlerindeki gerçek sıcaklık ölçümleri ve levhanın genel sıcaklık dağılımı elde edilebilir; Ayrıca ısıl işlem prosesi sırasında levhalardaki geçici sıcaklık değişimlerinin sürekli izlenmesi için de kullanılabilir.