Reaktif iyon aşındırma sistemi (RIE) Yarıiletken endüstri makinesi, Çin Reaktif iyon aşındırma sistemi (RIE) Yarıiletken endüstri makinesi Üreticileri, Tedarikçiler, Fabrika

Ürün Açıklaması

Uygulanan malzemeler:

Pasivasyon katmanı: SiO2, SiNx
Arka silikon
Yapışkan katman: TaN
Açık delik: W

Özelliği:

1. Pasivasyon tabakasının delikli veya deliksiz aşındırılması;

2. Yapışkan tabakanın aşındırılması;

3. Arka silikon aşındırma

Reaktif iyon aşındırma sistemi (RIE) Yarı iletken endüstrisi makine tedarikçisi

Reaktif iyon aşındırma sistemi (RIE) Yarı iletken endüstrisi makine detayları

Reaktif iyon aşındırma sistemi (RIE) Yarı iletken endüstrisi makine fabrikası

Özellikler

Proje konfigürasyonu ve makine yapısı şeması

+	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Ürün boyutu	≤6 inç	≤8 inç	≤8 inç
RF güç kaynağı	0-300W/500W/1000W Ayarlanabilir, otomatik eşleştirme
Moleküler pompa	-/620(L/sn)/1300(L/sn)/Özel			Antiseptik620(L/s)/1300(L/s)/Özel
Ön hat pompası	Mekanik pompa/kuru pompa			Kuru pompa
Proses basıncı	Kontrolsüz basınç/0-1Torr kontrollü basınç
Gaz tipi	H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Özel (9 kanala kadar, aşındırıcı ve zehirli gaz içermez)			H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels)
Gaz aralığı	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom
Yük Kilidi	Evet / Hayır			Evet
Örnek sıcaklık kontrolü	10°C~Oda sıcaklığı/-30°C~100°C/Özel			-30°C~100°C /Özel
Geri helyum soğutma	Evet / Hayır			Evet
Proses boşluğu astarı	Evet / Hayır			Evet
Boşluk duvarı sıcaklık kontrolü	Hayır/Oda sıcaklığı~60/120°C			Oda sıcaklığı-60/120°C
Kontrol Sistemi	Otomatik/özel
dağlama malzemesi	Silikon bazlı:Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Manyetik malzemeler/alaşımlı malzemeler Metalik malzeme: Ni/Cr/Al/Au..... Organik malzeme: PR/PMMA/HDMS/Organik film......			Silikon bazlı: Si/SiO2/SiNx...... III-V(注3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe...... Manyetik malzemeler/alaşımlı malzemeler Metalik malzeme: Ni/Cr/A1/Au...... Organik malzeme: PR/PMMA/HDMS/organik film...

İşlem Sonucu

Silikon bazlı malzeme gravürü

Silikon bazlı malzemeler, nano-baskı desenleri, dizi
desenler ve mercek deseni aşındırma

Reaktif iyon aşındırma sistemi (RIE) Yarı iletken endüstrisi makine imalatı

InP normal sıcaklıkta aşındırma

Dalga kılavuzu yapısı, rezonans boşluğu yapısı sırt yapısı vb. dahil olmak üzere optik iletişimde kullanılan InP tabanlı cihazların desen gravürü

SiC malzeme gravürü

Mikrodalga cihazları, elektrikli cihazlar vb. için uygundur

Fiziksel püskürtme, dağlama Organik malzeme aşındırma

Bazı metaller (Ni/Cr gibi) ve seramikler gibi aşındırılması zor malzemelerin aşındırılmasında uygulanır ve
Malzemelerin desenli kesimi fiziksel bombardımanla gerçekleştirilir.

Fotorezist (PR)/PMMA/HDMS/polimer gibi organik bileşiklerin aşındırılması ve uzaklaştırılması için kullanılır.

Paketleme ve Teslimat

Şirket Profili

Ekipman satışında 16 yıllık tecrübemiz var. Size Çin'den Tek Noktadan Yarı İletken Ön Uç ve Arka Uç Paket Hattı ekipmanları profesyonel çözümü sağlayabiliriz.