+ | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Ürün boyutu | ≤6 inç | ≤8 inç | ≤8 inç | ||
RF güç kaynağı | 0-300W/500W/1000W Ayarlanabilir, otomatik eşleştirme | ||||
Moleküler pompa | -/620(L/sn)/1300(L/sn)/Özel | Antiseptik620(L/s)/1300(L/s)/Özel | |||
Ön hat pompası | Mekanik pompa/kuru pompa | Kuru pompa | |||
Proses basıncı | Kontrolsüz basınç/0-1Torr kontrollü basınç | ||||
Gaz tipi | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Özel (9 kanala kadar, aşındırıcı ve zehirli gaz içermez) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Gaz aralığı | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
Yük Kilidi | Evet / Hayır | Evet | |||
Örnek sıcaklık kontrolü | 10°C~Oda sıcaklığı/-30°C~100°C/Özel | -30°C~100°C /Özel | |||
Geri helyum soğutma | Evet / Hayır | Evet | |||
Proses boşluğu astarı | Evet / Hayır | Evet | |||
Boşluk duvarı sıcaklık kontrolü | Hayır/Oda sıcaklığı~60/120°C | Oda sıcaklığı-60/120°C | |||
Kontrol Sistemi | Otomatik/özel | ||||
dağlama malzemesi | Silikon bazlı:Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Manyetik malzemeler/alaşımlı malzemeler Metalik malzeme: Ni/Cr/Al/Au. Organik malzeme: PR/PMMA/HDMS/Organik film. | Silikon bazlı: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Manyetik malzemeler/alaşımlı malzemeler Metalik malzeme: Ni/Cr/A1/Au. Organik malzeme: PR/PMMA/HDMS/organik film. |
Mikrodalga cihazları, elektrikli cihazlar vb. için uygundur.
Minder-Yüksek Teknoloji Reaktif İyon Aşındırma (RIE) makinesi, çeşitli malzeme türlerini inanılmaz bir hassasiyetle aşındırabilen ve analiz edebilen son teknoloji ürünü bir üründür. Bu makine, düzenli olarak mikrofabrikasyon veya dağlamanın gerekli olduğu çeşitli endüstrilerde kullanılmak üzere tasarlanmıştır. Dayanıklı, güvenilir ve mükemmel sonuçlar üretebilen yüksek kaliteli malzemelerden yapılmıştır.
RF plazma jeneratörü ile donatılmış olması etkilidir. RIE sistemi, besleme benzininden plazma elde etmek için endüktif bir bağlantı kullanır. Bu teknik, ürünle ilişkili aşındırma oranını artıran yüksek yoğunluklu bir plazma oluşturur. RIE makinesinin aşındırma işlemi etkili, doğru ve son derece kontrol edilebilir olup, belirli bir derinliğin gerçekleştirilmesine olanak tanır. Bu özellik benzersizdir ve araştırma veya endüstri çalışmaları için mükemmel bir seçimdir.
Makine, mikroelektronik, MEMS üretimi ve yarı iletken üretimi de dahil olmak üzere geniş bir ürün yelpazesine sahiptir. Bu makine, yarı iletken endüstrisinde silikon, galyum arsenit ve germanyum gibi yarı iletken malzemelerin aşındırılmasında ve mikro işlenmesinde önemli bir rol oynar. Minder-Yüksek teknolojili RIE cihazı ayrıca MEMS endüstrisinde poliimid, silikon dioksit ve silikon nitrür gibi yumuşak ve sert malzemelerin üretimi için kuruldu. Ayrıca elektronik hizmet ve ürünlerle ilişkili sektörlerdeki arıza analizi için de erişilebilir.
Kullanımı kolaylaştıran çeşitli özellikler içerir. Kullanıcı dostu bir yazılımdır ve operatöre cihazda kullanılan gravür parametreleri üzerinde tam kontrol sağlar. Makine ayarları dahili hafızasına kaydedilir ve 100'den fazla ayarı saklayabilir. Operatörün gaz hareketi, güç kalınlığı ve basınç gibi parametreleri ayarlamasına olanak tanıyan bir ekran vardır. Minder-High-tech RIE makinesi aynı zamanda malzemelerin doğru sıcaklıkta aşındırılmasını sağlayan ve onlara zarar gelmesini önleyen sıcaklık kontrol özelliğine de sahiptir.
Güvenilir ve verimli bir makineye ihtiyaç duyan firmalar için mükemmel, doğru ve kesin sonuçlar sağlayabilir. Bu cihaz birinci sınıf teknoloji ile tasarlanmış olup bir çok seviyeye sahiptir. Çok yönlülüğü ve kullanıcı dostu özellikleri, onu farklı sektörlerde çok iyi araştırma ve endüstri uygulamaları arasında bir seçim haline getiriyor.
Ayrıca makinenin herhangi bir mekanik sorunu mümkün olan en kısa sürede tespit edip düzeltmesini sağlayan etkili bir arıza analiz sistemine de sahiptir. Bu sistem, RIE makinesinin kullanım ömrü boyunca yüksek kalite ve güvenilirliği korumasını sağlar. Hassas ve verimli gravür veya mikrofabrikasyon gerektiren her endüstri için Minder-Yüksek teknolojili RIE makinesi mükemmel çözümdür.
Telif Hakkı © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Tüm Hakları Saklıdır