Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

ana sayfa
Hakkımızda
MH Equipment
Çözüm
Yurtdışı Kullanıcılar
video
Bize Ulaşın
Ana Sayfa> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Reaktif İyon Oyma Sistemi RIE makinesi RIE Hata analizi
  • Reaktif İyon Oyma Sistemi RIE makinesi RIE Hata analizi
  • Reaktif İyon Oyma Sistemi RIE makinesi RIE Hata analizi
  • Reaktif İyon Oyma Sistemi RIE makinesi RIE Hata analizi
  • Reaktif İyon Oyma Sistemi RIE makinesi RIE Hata analizi
  • Reaktif İyon Oyma Sistemi RIE makinesi RIE Hata analizi
  • Reaktif İyon Oyma Sistemi RIE makinesi RIE Hata analizi
  • Reaktif İyon Oyma Sistemi RIE makinesi RIE Hata analizi
  • Reaktif İyon Oyma Sistemi RIE makinesi RIE Hata analizi
  • Reaktif İyon Oyma Sistemi RIE makinesi RIE Hata analizi
  • Reaktif İyon Oyma Sistemi RIE makinesi RIE Hata analizi
  • Reaktif İyon Oyma Sistemi RIE makinesi RIE Hata analizi

Reaktif İyon Oyma Sistemi RIE makinesi RIE Hata analizi

Ürün Açıklaması
Reaktif iyon etçilme sistemi
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier
BAŞVURU
Pasifleştirme katmanı: SiO2, SiNx
Arka silikon
Yapıştırıcı katman: TaN
Geçiş deliği: W
Özellik
1. Delikli veya deliksiz pasifleştirme katmanının etçilmesi;
2. Yapıştırıcı katmanının oyulması;
3. Arka silikon oyulma
Speksiyasyon
Proje yapılandırması ve makine yapısı şeması
Ürün
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE


Ürün Boyutu
≤6 inç
≤8 inç
≤8 inç


RF güç kaynağı
0-300W/500W/1000W Ayarlanabilir, otomatik eşleşme


Moleküler Pomp
-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Özel

Antiseptik620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Özel

Foreline pompa
Mekanik pompa\/kurutma pompa

Kuru Pompa

İşlem basıncı
Denetlenmeyen basınç\/0-1Torr denetlenebilir basınç


gaz tipi
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/
CHF3\/C4F8\/NF3\/Özel
(En fazla 9 kanal, korozyonlu ve zehirli gaz yok)

H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(En fazla 9 kanal)

gaz aralığı
0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/özel


YükKilidi
Evet/Hayır

Evet

Örnek sıcaklık kontrolü
10°C~Oda sıcaklığı/-30°C~100°C/Ozel

-30°C~100°C /Ozel

Arka helyum soğutma
Evet/Hayır

Evet

İşlem boşluk kaplama
Evet/Hayır

Evet

Boşluk duvarı sıcaklık kontrolü
Hayır/Odasıcaklığı~60/120°C

Odasıcaklığı-60/120°C

Kontrol Sistemi
Otomatik/özel


Oksitlenme malzemesi
Silikon tabanlı: Si/SiO2/SiNx.
IV-IV: SiC
Manyetik maddeler/alloy maddeler
Metal madde: Ni/Cr/Al/Au.
Organik madde: PR/PMMA/HDMS/Organik film.

Silikon tabanlı: Si/SiO2/SiNx.
III-V (Not 3): InP/GaAs/GaN.
IV-IV: SiC
II-VI (Not 3): CdTe.
Manyetik maddeler/alloy maddeler
Metal madde: Ni/Cr/Al/Au.
Organik malzeme: PR/PMMA/HDMS /organik film.

1. Çiplerin uçmasını önlemek
2. İşlenebilecek en küçük düğüm: 14nm:
3. SiO2/SiNx kazıma oranı: 50~150 nm/dak;
4. Kazınmış yüzey oyukluğu: 5. Pasivasyon katmanı, yapışma katmanı ve arka silikon kazımını desteklemek;
6. Cu/Al seçim oranı:>50
7. Tümleşik makine LxWxH: 1300mmX750mmX950mm
8. Tek tuşla yürütme desteği
İşlem sonucu

Silikon tabanlı malzeme kazımı

Silikon tabanlı malzemeler, nano-izdüşüm desenleri, dizi
desenler ve mercek deseni aşındırma
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory

InP normal sıcaklıkta aşındırma

Işıksal iletişimde kullanılan InP tabanlı cihazların desen aşındırılması, dalga rehberi yapısı, rezonans boşluk yapısı dahil.
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier

SiC malzeme aşındırma

Mikrodalga cihazları, güç cihazları vb. için uygun.


Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis details

Fiziksel patlatma, organik malzeme aşındırma

Bazı metaller (örneğin Ni/Cr) ve seramikler gibi zor aşınacak malzemelerin aşındırılmasında kullanılır ve
desenli aşındırma.
Fotoresist (PR)/PMMA/HDMS/polymer gibi organik bileşiklerin aşındırılması ve kaldırılması için kullanılır
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Hata analizi sonuçlarının göstergesi
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacture
Ürün Detayları
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis details
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacture
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacture
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Paketleme ve Teslimat
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis details
lehimleme makinesi
Şirket Profili

Minder-High-tech Reaktif İyon Etçilme (RIE) makinesi, çeşitli türdeki malzemeleri inanılmaz bir hassasiyetle etçilebilir ve analiz edebilen en modern teknoloji parçasıdır. Bu makine, mikrofabricasyon veya etçilme düzenli olarak gereken çeşitli endüstriler için tasarlanmıştır. Yüksek kaliteli malzemelerden yapılmış olmasından dolayı dayanıklı, güvenilir ve muhteşem sonuçlar üretebilen bir makinadır.

 

Bir RF plazma jeneratörü ile donatılmıştır ve bu etkili bir şekilde çalışır. RIE sistemi, besleme benzininden plazma oluşturmak için bir koplama yöntemi kullanır. Bu teknik, ürünle ilişkili olan etçilme oranını artıran yüksek yoğunlukta bir plazma yaratır. RIE makinesinin etçilme süreci etkili, doğru ve çok kontrol edilebilir, belirli bir derinliğe ulaşılmasını sağlar. Bu özellik, onu araştırma veya endüstri işleri için harika bir seçeneğe dönüştürür.

 

Makine, mikroelektronik, MEMS üretim ve semiconductor üretim gibi geniş bir alan kaplamaktadır. Bu makine, semiçizgiler endüstrisinde silikon, galium arsenide ve germaniyum gibi semiçizgi malzemelerinin oyulması ve mikromekanik işlemede önemli bir rol oynar. Minder-High-tech RIE cihazı ayrıca polyimide, silicon dioxide ve silicon nitride gibi yumuşak ve sert malzemelerin imal edilmesi için MEMS endüstrisinde de kullanılmaktadır. Ayrıca, elektronik ürünler ve hizmetlerle ilgili endüstrilerdeki hata analizi için de kullanılabilir.

 

Çeşitli özellikler içerir ve kullanımı kolay hale getirir. Yazılım, kullanıcının cihazda kullanılan oyaslama parametrelerinin tamamını kontrol etmesini sağlar ve kullanıcı dostudur. Makine ayarları dahili belleğe kaydedilir ve 100'den fazla ayar setini depolayabilir. Bir dokunmatik ekranı vardır ki bu, operatörü gaz akışı, güç yoğunluğu ve basınç gibi parametreleri ayarlarken yardımcı olur. Minder-High-tech RIE makinesi ayrıca, malzemelerin doğru sıcaklıkta oyaslama yapıldığından emin olup hasar görmelerini önleyen bir sıcaklık kontrol özelliği de içerir.

 

Güvenilir ve verimli bir makine gerektiren şirketler için mükemmeldir ve doğru ve hassas sonuçlar sunabilir. Bu cihaz, üst düzey teknolojiyle tasarlanmıştır ve oldukça yüksek bir seviyeye sahiptir. Çeşitli sektörlerdeki araştırma ve endüstri uygulamaları için esnekliği ve kullanıcı dostu özellikleri sayesinde çok iyi bir seçenektir.

 

Ayrıca, makinenin mümkün olan en kısa sürede herhangi bir mekanik sorunu tespit etmesini ve düzeltilmesini sağlayan verimli bir hata analizi sistemi vardır. Bu sistem, RIE makinesinin yaşam döngüsü boyunca yüksek kalite ve güvenilirlikte kalmasını sağlar. Hassas ve verimli aşınma veya mikrofabricasyon gerektiren herhangi bir endüstride, Minder-High-tech RIE makinesi mükemmel bir çözümdür.


Sorgu

Sorgu Email WhatsApp Top
×

İLETİŞİME GEÇİN