Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Ana Sayfa
Hakkımızda
MH Ekipmanları
Çözüm
Denizaşırı Kullanıcılar
Video
Bize Ulaşın
Ana Sayfa> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi
  • Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi
  • Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi
  • Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi
  • Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi
  • Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi
  • Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi
  • Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi
  • Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi
  • Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi
  • Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi
  • Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi

Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi Türkiye

Ürün Açıklaması 
Reaktif iyon aşındırma sistemi
Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi tedarikçisi
Uygulama
Pasivasyon katmanı: SiO2, SiNx
Arka silikon
Yapışkan katman: TaN
Açık delik: W
Özellikler(Hazırlık aşamasında)
1. Pasivasyon tabakasının delikli veya deliksiz aşındırılması;  
2. Yapışkan tabakanın aşındırılması;  
3. Arka silikon aşındırma
Özellikler
Proje konfigürasyonu ve makine yapısı şeması
+
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE


Ürün boyutu
≤6 inç
≤8 inç
≤8 inç


RF güç kaynağı
0-300W/500W/1000W Ayarlanabilir, otomatik eşleştirme


Moleküler pompa
-/620(L/sn)/1300(L/sn)/Özel

Antiseptik620(L/s)/1300(L/s)/Özel

Ön hat pompası
Mekanik pompa/kuru pompa

Kuru pompa

Proses basıncı
Kontrolsüz basınç/0-1Torr kontrollü basınç


Gaz tipi
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/Özel
(9 kanala kadar, aşındırıcı ve zehirli gaz içermez) 

H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) 

Gaz aralığı
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom


Yük Kilidi
Evet / Hayır

Evet

Örnek sıcaklık kontrolü
10°C~Oda sıcaklığı/-30°C~100°C/Özel

-30°C~100°C /Özel

Geri helyum soğutma
Evet / Hayır

Evet

Proses boşluğu astarı
Evet / Hayır

Evet

Boşluk duvarı sıcaklık kontrolü
Hayır/Oda sıcaklığı~60/120°C

Oda sıcaklığı-60/120°C

Kontrol Sistemi
Otomatik/özel


dağlama malzemesi
Silikon bazlı:Si/SiO2/SiNx. 
IV-IV: SiC
Manyetik malzemeler/alaşımlı malzemeler
Metalik malzeme: Ni/Cr/Al/Au. 
Organik malzeme: PR/PMMA/HDMS/Organik film. 

Silikon bazlı: Si/SiO2/SiNx. 
III-V(注3): InP/GaAs/GaN. 
IV-IV: SiC
II-VI (注3): CdTe. 
Manyetik malzemeler/alaşımlı malzemeler
Metalik malzeme: Ni/Cr/A1/Au. 
Organik malzeme: PR/PMMA/HDMS/organik film. 

1. Talaşların uçmasını önleyin
2. İşlenebilecek minimum düğüm: 14nm:
3. SiO2/SiNx aşındırma hızı: 50~150 nm/dak;
4. Kazınmış yüzey pürüzlülüğü:5. Pasivasyon katmanını, yapışma katmanını ve arka silikon gravürünü destekleyin;
6. Cu/Al seçim oranı:>50
7. Hepsi bir arada makine UxGxY: 1300mmX750mmX950mm
8. Tek tıkla yürütmeyi destekleyin
İşlem sonucu

Silikon bazlı malzeme gravürü

Silikon bazlı malzemeler, nano-baskı desenleri, dizi
desenler ve mercek deseni aşındırma
Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analiz fabrikası

InP normal sıcaklıkta aşındırma

Dalga kılavuzu yapısı, rezonans boşluğu yapısı dahil olmak üzere optik iletişimde kullanılan InP tabanlı cihazların desen gravürü.
Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi tedarikçisi

SiC malzeme gravürü

Mikrodalga cihazları, elektrikli cihazlar vb. için uygundur.


Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi ayrıntıları

Fiziksel püskürtme, dağlama Organik malzeme aşındırma

Bazı metaller (Ni/Cr gibi) ve seramikler gibi aşındırılması zor malzemelerin aşındırılmasında uygulanır ve
desenli kaşıntı.
Fotorezist (PR)/PMMA/HDMS/polimer gibi organik bileşiklerin aşındırılması ve uzaklaştırılması için kullanılır.
Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analiz fabrikası
Arıza analizi sonuçlarının görüntülenmesi
Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi üretimi
Ürün Detayları 
Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi ayrıntıları
Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi üretimi
Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi tedarikçisi
Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analiz fabrikası
Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi üretimi
Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analiz fabrikası
Paketleme ve Teslimat 
Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analiz fabrikası
Reaktif iyon aşındırma sistemi RIE makinesi RIE Arıza analizi ayrıntıları
lehim makinası
Şirket Profili

Minder-Yüksek Teknoloji Reaktif İyon Aşındırma (RIE) makinesi, çeşitli malzeme türlerini inanılmaz bir hassasiyetle aşındırabilen ve analiz edebilen son teknoloji ürünü bir üründür. Bu makine, düzenli olarak mikrofabrikasyon veya dağlamanın gerekli olduğu çeşitli endüstrilerde kullanılmak üzere tasarlanmıştır. Dayanıklı, güvenilir ve mükemmel sonuçlar üretebilen yüksek kaliteli malzemelerden yapılmıştır. 

 

RF plazma jeneratörü ile donatılmış olması etkilidir. RIE sistemi, besleme benzininden plazma elde etmek için endüktif bir bağlantı kullanır. Bu teknik, ürünle ilişkili aşındırma oranını artıran yüksek yoğunluklu bir plazma oluşturur. RIE makinesinin aşındırma işlemi etkili, doğru ve son derece kontrol edilebilir olup, belirli bir derinliğin gerçekleştirilmesine olanak tanır. Bu özellik benzersizdir ve araştırma veya endüstri çalışmaları için mükemmel bir seçimdir. 

 

Makine, mikroelektronik, MEMS üretimi ve yarı iletken üretimi de dahil olmak üzere geniş bir ürün yelpazesine sahiptir. Bu makine, yarı iletken endüstrisinde silikon, galyum arsenit ve germanyum gibi yarı iletken malzemelerin aşındırılmasında ve mikro işlenmesinde önemli bir rol oynar. Minder-Yüksek teknolojili RIE cihazı ayrıca MEMS endüstrisinde poliimid, silikon dioksit ve silikon nitrür gibi yumuşak ve sert malzemelerin üretimi için kuruldu. Ayrıca elektronik hizmet ve ürünlerle ilişkili sektörlerdeki arıza analizi için de erişilebilir. 

 

Kullanımı kolaylaştıran çeşitli özellikler içerir. Kullanıcı dostu bir yazılımdır ve operatöre cihazda kullanılan gravür parametreleri üzerinde tam kontrol sağlar. Makine ayarları dahili hafızasına kaydedilir ve 100'den fazla ayarı saklayabilir. Operatörün gaz hareketi, güç kalınlığı ve basınç gibi parametreleri ayarlamasına olanak tanıyan bir ekran vardır. Minder-High-tech RIE makinesi aynı zamanda malzemelerin doğru sıcaklıkta aşındırılmasını sağlayan ve onlara zarar gelmesini önleyen sıcaklık kontrol özelliğine de sahiptir. 

 

Güvenilir ve verimli bir makineye ihtiyaç duyan firmalar için mükemmel, doğru ve kesin sonuçlar sağlayabilir. Bu cihaz birinci sınıf teknoloji ile tasarlanmış olup bir çok seviyeye sahiptir. Çok yönlülüğü ve kullanıcı dostu özellikleri, onu farklı sektörlerde çok iyi araştırma ve endüstri uygulamaları arasında bir seçim haline getiriyor. 

 

Ayrıca makinenin herhangi bir mekanik sorunu mümkün olan en kısa sürede tespit edip düzeltmesini sağlayan etkili bir arıza analiz sistemine de sahiptir. Bu sistem, RIE makinesinin kullanım ömrü boyunca yüksek kalite ve güvenilirliği korumasını sağlar. Hassas ve verimli gravür veya mikrofabrikasyon gerektiren her endüstri için Minder-Yüksek teknolojili RIE makinesi mükemmel çözümdür.


Sorgula

Sorgula E-posta WhatsApp WeChat
Iyi
×

İletişime geçin