Ürün |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Ürün Boyutu |
≤6 inç |
≤8 inç |
≤8 inç |
||
RF güç kaynağı |
0-300W/500W/1000W Ayarlanabilir, otomatik eşleşme |
||||
Moleküler Pomp |
-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Özel |
Antiseptik620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Özel |
|||
Foreline pompa |
Mekanik pompa\/kurutma pompa |
Kuru Pompa |
|||
İşlem basıncı |
Denetlenmeyen basınç\/0-1Torr denetlenebilir basınç |
||||
gaz tipi |
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Özel (En fazla 9 kanal, korozyonlu ve zehirli gaz yok) |
H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(En fazla 9 kanal) |
|||
gaz aralığı |
0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/özel |
||||
YükKilidi |
Evet/Hayır |
Evet |
|||
Örnek sıcaklık kontrolü |
10°C~Oda sıcaklığı/-30°C~100°C/Ozel |
-30°C~100°C /Ozel |
|||
Arka helyum soğutma |
Evet/Hayır |
Evet |
|||
İşlem boşluk kaplama |
Evet/Hayır |
Evet |
|||
Boşluk duvarı sıcaklık kontrolü |
Hayır/Odasıcaklığı~60/120°C |
Odasıcaklığı-60/120°C |
|||
Kontrol Sistemi |
Otomatik/özel |
||||
Oksitlenme malzemesi |
Silikon tabanlı: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Manyetik maddeler/alloy maddeler Metal madde: Ni/Cr/Al/Au. Organik madde: PR/PMMA/HDMS/Organik film. |
Silikon tabanlı: Si/SiO2/SiNx. III-V (Not 3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (Not 3): CdTe. Manyetik maddeler/alloy maddeler Metal madde: Ni/Cr/Al/Au. Organik malzeme: PR/PMMA/HDMS /organik film. |
Mikrodalga cihazları, güç cihazları vb. için uygun.
Minder-High-tech Reaktif İyon Etçilme (RIE) makinesi, çeşitli türdeki malzemeleri inanılmaz bir hassasiyetle etçilebilir ve analiz edebilen en modern teknoloji parçasıdır. Bu makine, mikrofabricasyon veya etçilme düzenli olarak gereken çeşitli endüstriler için tasarlanmıştır. Yüksek kaliteli malzemelerden yapılmış olmasından dolayı dayanıklı, güvenilir ve muhteşem sonuçlar üretebilen bir makinadır.
Bir RF plazma jeneratörü ile donatılmıştır ve bu etkili bir şekilde çalışır. RIE sistemi, besleme benzininden plazma oluşturmak için bir koplama yöntemi kullanır. Bu teknik, ürünle ilişkili olan etçilme oranını artıran yüksek yoğunlukta bir plazma yaratır. RIE makinesinin etçilme süreci etkili, doğru ve çok kontrol edilebilir, belirli bir derinliğe ulaşılmasını sağlar. Bu özellik, onu araştırma veya endüstri işleri için harika bir seçeneğe dönüştürür.
Makine, mikroelektronik, MEMS üretim ve semiconductor üretim gibi geniş bir alan kaplamaktadır. Bu makine, semiçizgiler endüstrisinde silikon, galium arsenide ve germaniyum gibi semiçizgi malzemelerinin oyulması ve mikromekanik işlemede önemli bir rol oynar. Minder-High-tech RIE cihazı ayrıca polyimide, silicon dioxide ve silicon nitride gibi yumuşak ve sert malzemelerin imal edilmesi için MEMS endüstrisinde de kullanılmaktadır. Ayrıca, elektronik ürünler ve hizmetlerle ilgili endüstrilerdeki hata analizi için de kullanılabilir.
Çeşitli özellikler içerir ve kullanımı kolay hale getirir. Yazılım, kullanıcının cihazda kullanılan oyaslama parametrelerinin tamamını kontrol etmesini sağlar ve kullanıcı dostudur. Makine ayarları dahili belleğe kaydedilir ve 100'den fazla ayar setini depolayabilir. Bir dokunmatik ekranı vardır ki bu, operatörü gaz akışı, güç yoğunluğu ve basınç gibi parametreleri ayarlarken yardımcı olur. Minder-High-tech RIE makinesi ayrıca, malzemelerin doğru sıcaklıkta oyaslama yapıldığından emin olup hasar görmelerini önleyen bir sıcaklık kontrol özelliği de içerir.
Güvenilir ve verimli bir makine gerektiren şirketler için mükemmeldir ve doğru ve hassas sonuçlar sunabilir. Bu cihaz, üst düzey teknolojiyle tasarlanmıştır ve oldukça yüksek bir seviyeye sahiptir. Çeşitli sektörlerdeki araştırma ve endüstri uygulamaları için esnekliği ve kullanıcı dostu özellikleri sayesinde çok iyi bir seçenektir.
Ayrıca, makinenin mümkün olan en kısa sürede herhangi bir mekanik sorunu tespit etmesini ve düzeltilmesini sağlayan verimli bir hata analizi sistemi vardır. Bu sistem, RIE makinesinin yaşam döngüsü boyunca yüksek kalite ve güvenilirlikte kalmasını sağlar. Hassas ve verimli aşınma veya mikrofabricasyon gerektiren herhangi bir endüstride, Minder-High-tech RIE makinesi mükemmel bir çözümdür.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved