Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Anasayfa
Hakkımızda
MH Equipment
Çözüm
Yurtdışı Kullanıcılar
Video
Bize Ulaşın
Ana Sayfa> Semicon Denetim
  • Spektroskopik Elipsometre
  • Spektroskopik Elipsometre
  • Spektroskopik Elipsometre
  • Spektroskopik Elipsometre
  • Spektroskopik Elipsometre
  • Spektroskopik Elipsometre
  • Spektroskopik Elipsometre
  • Spektroskopik Elipsometre
  • Spektroskopik Elipsometre
  • Spektroskopik Elipsometre
  • Spektroskopik Elipsometre
  • Spektroskopik Elipsometre

Spektroskopik Elipsometre

Ürün Açıklaması

Spektroskopik Elipsometre

Spektral elipsometre hızlı ve çok nokta otomatik testi tamamlayabilir ve bir tıklamayla örneğin均匀liği test edebilir. Ürünün kutuplandırıcıları, analizörleri ve kompensatörleri, bandgap kompansasyon fonksiyonuyla donatılmış mutlak kodlu yüksek hassasiyetli konum kilitleme cihazlarıyla birlikte gelmektedir ki bu da sistemin doğruluğunu ve kararlılığını artırır. Işığın toplama verimliliğini artırmak için çift lif mimarisini benimsemiştir; yeterli spektrumlar, oksitlenmiş asit pürüzlü yüzeylerden veya geleneksel piramit önlerinden toplanabilir ve test edilebilir ve analiz edilebilir. Ayrıca odak otomasyonu, ışık şiddığı seçimi ve faz kompansasyonu gibi temel fonksiyonlara da sahiptir.
Maddelerin optik özelliklerinin yüksek hassasiyetli ve verimli analizine yönelik tasarlanmıştır. Otomatik olarak, hızlı ve
malzemelerin kırılma indeksi, söndürme katsayısı ve film kalınlığını doğru bir şekilde ölçün. Bilimsel araştırma, semi-iletilgenler, fotovoltaikler, optik kaplamalar, gösterim paneli ve diğer alanlardaki ince film ve malzeme karakterizasyon ihtiyaçlarına uygundur.

Ölçüm Nesnesi:

Optik kaplama: Si02, Si3N4, SnO2, Nb205,Ti02, Ta205, A2O3, MgF2,Pi.
Görüntüleme: OLED(AIG3, PCBM, NPB, NPD...), elektrotlar(ITO, PEDOT, MgO, Ag, Al, Mg...) ...
Fotovoltaik: Si, Poly-Si, SiNx, CdS, CIGS, CdTe, PFN-Br, ABX3, PEDOT:PSS, PTB7-Th:PC71BM.
Yarıiletken: Fotoresist, ZnO, SiON, SiC, SiGe, GaN, AIN, InP, GaAs, AlxGa(1-x)N
Diğerleri: OCD, 2-B materyaller, Van der Waals heterojunction ve cihaz...

Ürün Fonksiyonu:

Kırılma indeksi ölçümü: Malzemelerin farklı dalga boyunda kırılma indeksini doğru bir şekilde ölçerek, optik tasarım ve malzeme araştırması için anahtar veri sağlar.
Sönüm katsayısı ölçümü: Malzemelerin ışık emme özelliklerini analiz ederek, optoelektronik cihazların performansını optimize etmeye yardımcı olur.
Film kalınlığı ölçümü: Nanometre'den mikron seviyesine kadar olan filmlerin kalınlığını yüksek çözünürlük ve iyi tekrarlanabilirlikle algılar.
Hızlı otomatik test: Çok nokta otomatik tarama fonksiyonuyla, ölçümler 1 saniye/nokta hızına ulaşır, bu da toplu testin verimliliğini büyük ölçüde artırır.

Ölçüm prensibi:

Elipsometri ölçüm prensibi, ortamın yüzeyinden önce ve sonra ışığın kutuplaşması durumunun değişimi üzerine dayanır, optik özellik ve yapı bilgisini elde etmek için.
Gelen ışık dalga alanının iki dikey yönde ayrıştırılması, p ışığı titreşimin paralel olduğu ışık
dalga, ışık dalgasının titreşiminin dik olduğu s ışığı. P ve S ışığının amplitudleri ve fazları, ışınım ortamının yüzeyinden yansıtıldığında değişir.

Ortamın fiziksel özelliklerinin kutuplaşmanın durumunun değişimle arasındaki ilişki.

Alet çalışma ortamı:

Güç:220VAC+10%
Oda sıcaklığı:ortam sıcaklığı(10-30)℃
Nisbi nem: (20-80)%RH

Spektrometre:

Algılama birimi: 2048 piksel hızlı arka aydınlatma CCD detektörü
Detaylı parametreler:
1. spektrum aralığı 350nm-1000nm'den daha iyi
2. sahte ışık<0.02%@400nm
3. sinyal-gürültü oranı 4800
4. dinamik alan 50000:1
5. holografik ışık yolu
6. dijital çözünürlük 16-bit
7. okuma hızı >400kHz
8. veri aktarım hızı 600MB/s
9. minimum entegrasyon süresi/ayar adımı 6 us/1us
10. harici tetik gecikmesi 95ns+/-20ns
11. bilgisayar arayüzü USB4.1C/2.0
12. işletim sistemi Win 7/in 8/Win 10
ortalama QE, UV bölgesinde geriye aydınlatma CCD, ortalama QE ≥75% Soğutma sistemi mikro TE soğutması, soğutma sonrası sıcaklık 30'C
çevre sıcaklığından daha düşük.
Entegrasyon yöntemi: yazılım tarafından kontrol edilen otomatik entegrasyon süre ayarı, en iyi sonucu elde etmek için kullanılabilir

Işık kaynağı sistemi:

Işık kaynağı kuarz ampulü olan halogen lamba, dalga boyu aralığı 350nm-2000nm, bozulmadan 50000 saatten uzun ömür.
Halogen lambası için bağımsız güç kaynağı gerilimi 4.9vd

Otomatik odaklama fonksiyonuyla sahne:

Otomatik odaklama fonksiyonu ile ölçümün en iyi konumuna örneği taşıyınMesafe:100mm
Doğruluk: 0.0005mm Hem pozitif hem de negatif sınır ve sıfır konumu sensörüyle konum sınırlaması; otomatik odaklama fonksiyonunun başlangıç konumu, bitiş konumu ve adım uzunluğu Gaussian regresyon yöntemi kullanılarak yazılımda ayarlanabilir; belirli bir entegrasyon zamanı ve yoğunluğu toplamak için Focus yöntemini kullanarak ayarlayın
Ürün Yapısı
Speksiyasyon
Optik sistem:
Giriş açısı
65°
Işın sapması
< 0.3°
Ölçüm parametreleri
Psi&Del、TanPsi&CosDel、Alpha&Beta
Polarizörler
Glan-Thompson
Malzeme
a-BBO
Dengeleyici
dörtte-bir dalga faz gecikmesi, hiper akrömatik
Intensite seçimi
Doğrusal optik yoğunluk seçim elemanı. Ölçüm sürecinde iyi sinyal-gürültü oranı sağlar, veri doğruluğunu artırır,
ışık yoğunluğunu oversatuasyon veya sinyal-gürültü oranı ve doğruluğu azaltacak kadar zayıf olmaktan korur
Optik tasarım
çift lif, ışığı lambadan spektrometreye kutuplaşma elemanları aracılığıyla taşır; stabil ışık yolu, lambaları değiştirmek kolay
Fiber
anti-UV pasifleştirme; NA=0.22; açık açıklık 600um
Mikro ışık lekesi
çap ≤200um, faydalı ışığı ön yüzeyden yansıyan ve faydasız ışığı geri yansımadan ayırmak için
alt yüzey, kolayca ayırt edilebilir
Yuvarlak
1 50um, ön yüzden yansıyan faydalı ışık ve alttaki yüzden yansıyan faydasız ışığı ayırt etmek için kullanılır
yüzey
Temel parametre seçim tablosu:
Spektal aralık
350-1000nm
C
Görünür
210-1000nm
UC
UV-Görünür
210-1700nm
Bir
UV-Görünür-NIR
Optik dengeleyici
Rc
Tek dengeleyici
RC2
C2
Çift dengeleyici
Spektal aralık
X-Y
M
En fazla 230mm büyük mesafe
X-R
R
En fazla 300mm büyük çap
Paketleme ve Teslimat
Şirket Profili
Minder-Hightech, semi-iletki ve elektronik ürün endüstrisi ekipmanlarında satış ve hizmet temsilcisi dir. 2014'ten beri, şirket müşterilere Üstün, Güvenilir ve Tek Nokta Çözümler sunmayı hedeflemektedir.
SSG
1. Fiyat Hakkında:
Tüm fiyatlarımız rekabetçi ve müzakere edilebilir. Fiyat, cihazınızın yapılandırmasına ve özelleştirme karmaşıklığına bağlı olarak değişir.

2. Örnek Hakkında:
Sizin için örnek üretim hizmetleri sunabiliriz, ancak bazı ücretler ödemelisiniz.

3. Ödeme Hakkında:
Plan onaylandıktan sonra, önce bize bir ön ödeme yapmanız gerekir ve fabrika malzemeleri hazırlamaya başlayacak. Ekipman hazır olduğunda ve kalan ödemenizi yaptığınızda, gönderimi gerçekleştireceğiz.

4. Teslimat Hakkında:
Ekipman üretimi tamamlandığında, size kabul videosunu göndereceğiz ve ayrıca ekipmanı incelemek için yere gelebilirsiniz.

5. Kurulum ve Ayarlama:
Ekipman fabrikana ulaştığında, mühendislerimizi göndererek ekipmanı kurup ayarlayabiliriz. Bu hizmet için ayrı bir fiyat teklif edeceğiz.

6. Garanti Hakkında:
Ekipmalarımız 12 aylık garanti süresine sahiptir. Garanti süresinin sonunda, herhangi bir parça hasar görmüşse ve değiştirilmesi gerekiyorsa, sadece maliyet fiyatını alırız.

Sorgu

Sorgu Email WhatsApp Top
×

İLETİŞİME GEÇİN