Bileşik semiyarıtkabuller için güvenilir RTP ekipmanı sağlayın、SlC、LED ve MEMS
Özellik
* Infradöv halojen lamba boru ısıtma, soğutma için hava soğutma kullanılır; * Lambanın gücü için PlD sıcaklık kontrolü, sıcaklık artışını doğru bir şekilde kontrol edebilir ve iyi tekrarlanabilirlik ve sıcaklık eşitliğini sağlar; * Malzeme girişi WAFER yüzeyinde ayarlanmıştır, bu da annealing sürecinde soğuk nokta üretimini önlemeye ve ürünün iyi sıcaklık eşitliğini sağlamaya yarar; * Hem atmosferik hem de vakum işleme yöntemleri seçilebilir, önceden temizleme ve body saf-Laştırılması yapılır; * İki küme proses gazı standarttır ve maksimum 6 kümeye kadar genişletilebilir; * Ölçülebilir tek kristal silikon numunesinin maksimum boyutu 12 inç (300x300 MM); * Güvenli sıcaklık açılım koruması, sıcaklık denetleyici açılım izin koruması ve cihaz acil durum durdurma güvenliği koruması tamamen uygulanarak aletin güvenliğini sağlar;
Test raporu
20. derece eğrilerinin çakışması
850 ℃ de sıcaklık kontrolü için 20 eğri
20 ortalama sıcaklık eğrisinin çakışması
1250 ℃ sıcaklık kontrolü
RTP sıcaklık kontrolü 1000 ℃ süreç
960 ℃ süreç, kızılötesi pirometre tarafından kontrol edilir
LED süreç verisi
RTD Wafer, özel işleme tekniklerini kullanarak bir waferin yüzeyinde belirli konumlarda sıcaklık sensörleri (RTDs) yerleştiren bir sıcaklık sensörüdür ve bu da waferin yüzey sıcaklığının gerçek zamanlı ölçümünü sağlar.
Waferin yüzeyindeki belirli konumlardaki gerçek sıcaklık ölçümleri ve waferin genel sıcaklık dağılımı RTD Wafer aracılığıyla elde edilebilir; Ayrıca, ısı işleme süreci sırasında waferlerdeki geçici sıcaklık değişikliklerinin sürekli izlenmesi için de kullanılabilir.
Speksiyasyon
Paketleme ve Teslimat
Şirket Profili
Ekipman satışında 16 yıllık deneyimimiz bulunmaktadır. Sizi Çin'den Semiconductor ön ve arkadaşı Paketleme Hattı Ekipmanları için tek noktadan çözüm sunabiliriz!
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
