Plazma kaynağı
|
RF
|
||
Güç
|
ICP
|
_
|
|
BIAS
|
1000W(seçenek)
|
||
Uygulanabilir kapsam
|
4~8 inç
|
||
Tek işlem dilim sayısı
|
1
|
||
Dış görünüş boyutları
|
850mmx900mmx1850mm
|
||
Sistem Kontrolü
|
PLC
|
||
Otomasyon Seviyesi
|
Manuel
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved