Yarı iletken endüstrisi ekipmanları MDLB-MC200 Fotomask temizleyici, Çin Yarı iletken endüstrisi ekipmanları MDLB-MC200 Fotomask temizleyici Üreticiler, Tedarikçiler, Fabrika

MDLB-MC200

Fotomask temizleyici

Temizleme ünitesi:

Temizleme odası, pürüzsüz bir yüzeye sahip ve temizlenmesi kolay korozyona dayanıklı malzemelerle işlenmiştir. İç boşluğun alt kısmında, atık sıvının fabrika atık boşaltma boru hattına boşaltılmasına izin vermek için yer çekimini kullanan bir atık boşaltma portu vardır. Boşluğun içinde, atmosferi boşluktan zamanında çıkarabilen bir emme portu vardır. 3 otomatik salıncak koluyla donatılmış olup, otomatik temizlik sağlayabilir.

Yapılandırma parametre tablosu:

Hayır.	Proje	Özellikler	Uyarılar
1	Ekipmana Genel Bakış	Aygıt Adı: Photomask Cleaner
		Ekipman modeli: MDLB-MC200
		Genel boyutlar (yaklaşık): 1300 mm (G) * 1000 mm (D) * 1950 mm (Y)
		Tüm makinenin ağırlığı (yaklaşık): 300KG
		Ameliyat masası yüksekliği: 900 ± 50mm
		Alt tabaka boyutu özellikleri: 2/4/5/6/8 inç kare maske plakaları için uygundur
		İşlem akışı: manuel gofret yerleştirme → temizleme (fırça, temizleme solüsyonu → yüksek basınçlı su → megasonik su → deiyonize su → azot gazı kurutma) → manuel gofret çıkarma
		Ekipman türü: yarı otomatik, manuel yükleme ve boşaltma
2	Ekipman yapımı	Kabuk: paslanmaz çelik, pürüzsüz, korozyona dayanıklı, temizlemesi kolay
		Temizleme odası: PP, pürüzsüz, korozyona dayanıklı, temizlenmesi kolay
		Boru hattı: PU/PFA eşleştirme boru hattı kullanılır
		Çalışma aydınlatması: Korozyon önleyici sarı ışık aydınlatması
		Kapı açılış stili: Kapı açılış alarmı fonksiyonuna sahip çift kapı
		Dokunmatik ekran: 10 inç tam renkli dokunmatik ekran * 1
		FFU: Sınıf 100
		Sızdırmaz alt destek: mevcut
3	Yüksek hassasiyetli servo motor	Miktar: 1
		Hız: -3000~3000rpm	Boş yük
		Mil dönüşünün maksimum ivmelenmesi: 3000rpm/S	Boş yük
		Hız doğruluğu: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)
		Hız çözünürlüğü: 1rpm
4	Otomatik salıncak kolu	Miktar: 3
4	Otomatik salıncak kolu	Salınım kolu hızı: 1~30 °/S
5	Ünitesini temizlerken	Temizleme salıncak kolu: 1 kanal deiyonize su, 1 kanal azot gazı Megasonik Kol: 1 Megasonik, 1 Yüksek Basınçlı Su Fırça kolu: 1 fırça, 1 su, 1 temizleme solüsyonu
		Temizleme yöntemi: otomatik temizleme
		Deiyonize su emme fonksiyonu: mevcut
		Geri yıkama (deiyonize su): 1 rota
		Tedarik yöntemi: Temizleme solüsyonu: Diyafram pompası Deiyonize su: doğrudan fabrika tarafından sağlanır
		Sıvı seviye algılamalı basınç tankı
6	Fırça fırçası	Miktar: 1 (kendi kendini temizleme fonksiyonu ile)
		Hız: 1000 rpm'ye kadar, ayarlanabilir hız
		Yükseklik manuel olarak ayarlanabilir
7	Tepsiyi yükleyin	Miktar: 5
		Malzeme: PPS+paslanmaz çelik
		Boyut: 2/4/5/6/8 inç kare maske plakaları için uygundur
		Alt tabaka sabitleme yöntemi: Pençe sabitleme yöntemi
8	Kontrol sistemi	Kontrol sistemi: PLC kontrolü kullanılarak
		Program: Her biri 100 adımdan oluşan 100 grup, maksimum tek adım süresi 3000.0 saniye Çözünürlük: 0.1S
		Program kaydedilebilir, çağrılabilir, değiştirilebilir ve silinebilir
		Şifreleme izinlerini ayarlayın: sırasıyla cihaz operatörleri, teknisyenler, yöneticiler ve üreticiler için
		Sinyal kulesi tipi: kırmızı, sarı, yeşil 3 renk