Yarıiletken sanayi ekipmanları MDLB-MC200 Photomask temizleyici

- Hayır, hayır.

Proje

Özellikler

Notlar

1

Ekipman Genel Bakışı

Cihaz Adı: Photomask Temizleyici

Ekipman modeli: MDLB-MC200

Genel boyutlar (yaklaşık): 1300mm (G) * 1000mm (D) * 1950mm (Y)

Tüm makine ağırlığı (yaklaşık): 300KG

İşlem masası yüksekliği: 900 ± 50mm

Substrat boyut spesifikasyonları: 2/4/5/6/8 inç kare mask plakaları için uygun

İşlem akışı: elle wafer yerleştirme → temizleme (fırça, temizlik çözeltisi → yüksek basınçlı su → megasonik su → iyonsız su → azot gazı kurulama) → elle wafer çıkarma

Ekipman türü: yarı otomatik, elle yükleme ve boşaltma

2

Ekipman yapısı

Cephe: çelik, pürüzsüz, korozyon dayanıklı, temizlemek kolay

Temizleme odası: PP, pürüzsüz, korozyon dayanıklı, temizlemek kolay

Boru hattı: PU/PFA uyumlu boru hattı kullanılır

İş ışıklandırması: korozyon dirençli sarı ışık ışıklandırması

Kapı açma stili: Kapı açma alarm fonksiyonu olan çift kapı

Dokunmatik ekran: 10 inç tam renkli dokunmatik ekran * 1

FFU: 100. Sınıf

Sudan sızıntıya dayalı alt destek: mevcut

3

Yüksek hassasiyetli servo motor

Miktar: 1

Hız: -3000~3000rpm

Boş yükleme

Mandibül dönmeye maksimum ivme: 3000rpm/S

Boş yükleme

Hız doğruluğu: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)

Hız çözünürlüğü: 1rpm

4

Otomatik sallanma kolu

Adet: 3

Sallanma kolu hızı: 1~30 °/S

5

Temizleme ünitesi

Temizleme sallanma kolu: 1 kanal deiyonize su, 1 kanal azot gazı

Megasonik Kol: 1 Megasonik, 1 Yüksek Basınçlı Su

Fırça kolu: 1 fırça, 1 su, 1 temizlik çözümü

Temizleme yöntemi: otomatik temizleme

Aydınlanmış su emme fonksiyonu: mevcut

Tersten yıkama (aydınsız su): 1 yol

Tedarik yöntemi: Temizlik çözümü: Diaphragm pompa

Aydınlanmış su: fabrika tarafından doğrudan besleniyor

Sıvı seviyesi algılama olan basınç tankı

6

Fırça fırçası

Miktar: 1 (kendini temizleme fonksiyonuyla)

Hız: en fazla 1000rpm, ayarlanabilir hız

Yükseklik elle ayarlanabilir

7

Yük tepsi

Adet: 5

Malzeme: PPS+stainless çelik

Boyut: 2/4/5/6/8 inç kare mask plakaları için uygun

Substrat sabitleme yöntemi: Pençe sabitleme yöntemi

8

Kontrol Sistemi

Kontrol sistemi: PLC kontrolü kullanma

Program: 100 grup, her grup 100 adımdan oluşur, tek bir adımın maksimum süresi 3000.0 saniye

Çözünürlük: 0.1S

Program kaydedilebilir, çağrılabilir, değiştirilebilir ve silinebilir

Şifreleme izinlerini ayarla: cihaz operatörleri, teknisyenler, yöneticiler ve üreticiler için sırasıyla

Sinyal kule türü: kırmızı, sarı, yeşil 3 renk