Yarı iletken endüstrisi RIE PLAZMA PR temizleme makinesi Fotorezist Kalıntısı Temizleme, Çin Yarı iletken endüstrisi RIE PLAZMA PR temizleme makinesi Fotorezist Kalıntısı Temizleme Üreticileri, Tedarikçiler, Fabrika

Ürün Açıklaması

RIE PLAZMA Fotorezist Sökücü

Silisyum karbür aşındırma
Aşındırma sonrası yüzey temizliği
ÇÖZÜM
Sert maske katmanı, kuru temizleme
Silikon oksit veya silikon nitrür aşındırma
Ortamlar arasındaki optik direncin kaldırılması
Yüzey kalıntısının giderilmesi

Yarı iletken endüstrisi RIE PLASMA PR temizleme makinesi Fotorezist Kalıntı Temizleme ayrıntıları

Süreç

Yarı iletken endüstrisi RIE PLAZMA PR temizleme makinesi Fotorezist Kalıntı Temizleme fabrikası

Yarı iletken endüstrisi RIE PLAZMA PR temizleme makinesi Fotorezist Kalıntı Giderme üretimi

avantajı:

Temel Avantaj

Yüksek zamk giderme oranı: Yüksek yoğunluklu plazma, hızlı zamk giderme oranı
Stabilite: Plazma işleminden sonra yüksek tekrarlanabilirlik
Uzak plazma: Uzak plazma, levhaya düşük iyon hasarı
Öne çıkan yazılım: yazılımın bağımsız araştırılması ve geliştirilmesi, sezgisel süreç animasyonu, ayrıntılı veriler ve kayıtlar
Tekdüzelik: Plazma, kelebek vana aracılığıyla basıncı ve sıcaklığı kontrol edebilir
Güvenlik faktörü: Düşük plazma, ürün deşarjındaki hasarı azaltır.
Satış sonrası servis: Hızlı yanıt ve yeterli stok
Toz kontrolü: Müşteri gereksinimlerini karşılayın.
Temel teknoloji: Ar-Ge ekibi üyelerinin yaklaşık %40'ı ile

Kaset Platformu (MD-ST 6100/620)

1. 4 Gofret Taşıyıcı
2. Yüksek uyumluluk: levha boyutu seçiminin esnekliği, yüksek maliyet ve çözüm verimliliği sağlar
3. Yüksek stabiliteye sahip vakum transfer odası:
Olgun ve istikrarlı vakum iletim tasarımı, piyasada uzun yıllardan beri olgun bir şekilde uygulanmaktadır ve müşteriler tarafından iyi tanınmaktadır.
Döner tabla tasarımı, kompakt alan, PARTİKAL riskini önemli ölçüde azaltır
4. İnsancıllaştırılmış yazılım işletim arayüzü:
Sezgisel insanlaştırılmış yazılım işletim arayüzü, makinenin çalışma durumunun gerçek zamanlı izlenmesi;
Yanlış çalışmayı önlemek için kapsamlı alarm ve kusursuz işlevler.
Güçlü veri dışa aktarma işlevi, çeşitli süreç parametrelerinin kayıtları ve ürün üretim kayıtlarının dışa aktarımı.

Robot

1. Tek seferlik çift plaka alma ve yerleştirme tasarımı yüksek verimlilik sağlar
2. Alan verimliliğini artırın.

Isıtma Plakası

1. Yüksek hassasiyetli sıcaklık kontrollü gofret plakası
Oda sıcaklığından 250°C'ye kadar gofret ısıtma plakası, sıcaklık kontrol doğruluğu ±1°C
Gofret ısıtma plakası profesyonel aletler ve tekdüzelik ile kalibre edilmiştir. ±3°C dahilinde tutkal çıkarma işleminin homojen olmasını sağlayın
2. Tek odacıklı çift plaka işleme
Tek odacıklı çift plaka tasarımı;
Her bir levha için bağımsız güç deşarj tasarımı, her bir levhanın olmasını sağlar. Yuvarlak PR kaldırma etkisi;
UPH verimliliğini sağlama öncülüğünde ürün maliyetini azaltın. Güçlü uyumluluk
3. Üretim kapasitesi: çift parçalı tasarım reaksiyon odası, yüksek üretim verimliliği.

Özellikler

PLAZMA kaynağı			RF
Power	ICP	_
Power		EĞİLİMİ	1000W(seçenek)
Uygulanabilir kapsam			4 ~ 8 inç
Tek işleme dilim sayısı			1
Görünüm boyutları			850mmx900mmx1850mm
Sistem kontrolü			PLC
Otomasyon seviyesi			Manuel

Donanım Yeteneği
Çalışma süresi/Kullanılabilir süre	≧ 95%
Ortalama temizleme süresi (MTTC)	≦6 saat
Ortalama onarım süresi (MTTR)	≦4 saat
Arızalar arasındaki ortalama süre (MTBF)	≧350 saat
Asistan arasındaki ortalama süre (MTBA)	≧24 saat
Kırıklar arasındaki ortalama levha (MWBB)	≦1 gofrette 10,000
Isıtma plakası kontrolü	50-250 °