Teknik parametre | Ölçüm modu | PSI/VSI/süper alan derinliği/parlak alan |
Tek ölçüm görüş alanı (20× objektif lens) | 500*350μm (otomatik dikiş) | |
Açı ayarı | ±12° manuel | |
Z ekseni ayarı | 20mm elektrikli + 50mm manuel (kaba ve ince ayar mekanizması) | |
Boylamsal tarama aralığı | 0-10mm | |
Boylamsal çözünürlük | <0.2 nm | |
Uzunlamasına pürüzlülük ölçümünün tekrarlanabilirliği | 0.01 nm (PSI modu) | |
adım yüksekliğinin gösterge hatası ölçüm | <0.75% (VSI modu) | |
Yanal çözünürlük: @550nm | 0.69μm (20× objektif lens) | |
Ölçülebilir numune yansıtıcılığı | 0.1% -100% | |
Ölçüm süresi | <5sn (PSI modu) | |
Analiz fonksiyonu | Analiz fonksiyonu | 3D yükseklik ölçümü, 3D pürüzlülük analizi, 2D boyut ölçümü |
3D veri çıkışı | 3D nokta bulutu verileri, gri tonlamalı görüntü verileri, özelleştirilmiş rapor |
Hedef büyütme | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
sayısal açıklık | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Optik çözünürlük @550nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Odak derinliği (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
Çalışma mesafesi (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
Telif Hakkı © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Tüm Hakları Saklıdır