Yarıiletken Endüstrisi için Ultrasonik Tarama Mikroskobu Çözümü

Zaman: 2025-02-27

Ultrasonik Test Prensibi

Ultrasonik dönüştürücü, bağlantı ortamı (su) aracılığıyla DUT'a ulaşan ultrasonik darbe üretir.

Akustik empedans farkından dolayı ultrasonik dalgalar farklı malzemelerin ara yüzeyinde yansır.

Ultrasonik dönüştürücü yansıyan yankıyı alır ve onu elektrik sinyallerine dönüştürür.

Bilgisayar elektrik sinyalini işleyerek dalga formunu veya görüntüsünü ekrana yansıtır.

Tarama formu

Tarama: Belirli bir noktadaki dalga formu;

Yatay eksen dalga formunun ortaya çıktığı zamanı gösterir;

Dikey eksen dalga formunun genliğini göstermektedir.

C taraması: enine kesit taraması;

Yatay ve dikey eksenler fiziksel boyutları göstermektedir;

Renk dalga formunun genliğini göstermektedir.

B taraması: uzunlamasına kesitsel tarama;

Yatay eksen fiziksel boyutları göstermektedir;

Dikey eksen dalga formunun ortaya çıktığı zamanı gösterir;

Renk, dalga formunun genliğini ve fazını gösterir

Çok katmanlı tarama: Çok katmanlı C taraması, numunenin derinlik yönünde gerçekleştirilir.

İletim taraması: İletilen ses dalgalarını toplayıp görüntü oluşturmak için örneğin altına alıcılar eklenir.

Tespit avantajları ve sınırlamaları

Avantajları:

1. Ultrasonik algılama, metaller, metal olmayanlar ve kompozit malzemeler dahil olmak üzere çok çeşitli malzemelere uygulanabilir;

2. Çoğu malzemeye nüfuz edebilir;

3. Arayüz değişikliklerine karşı çok hassastır;

4. İnsan vücuduna ve çevreye zararsızdır.

Sınırlamalar:

1. Dalga formu seçimi nispeten karmaşıktır;

2. Numunenin şekli tespit etkisini etkiler;

3. Arızanın konumu ve şekli, tespit sonucunu belirli ölçüde etkiler;

4. Numunenin malzemesi ve tane boyutu, tespit üzerinde büyük etkiye sahiptir.

Wafer yükleme işlemi sırasında kaynak kalitesi denetimi

Wafer yükleme makinesinin başlatılması ve hata ayıklama süreci sırasında izleme yaparak çeşitli ekipman parametrelerindeki ve durumlarındaki anormallikleri sezgisel olarak keşfeder.

Emiş kafasının yüksekliği ve açısı;

Lehimin oksidasyonu ve sıcaklığı;

Kurşun çerçeve malzemesi ve talaş malzemesi

Talaş yükleme sırasında kaynak kalite denetimi

Talaş yükleme makinesinin başlatılması ve hata ayıklaması sırasında izleme, çeşitli ekipman parametrelerindeki ve durumlarındaki anormallikleri sezgisel olarak bulabilir

Emiş kafasının yüksekliği ve açısı;

Lehimin oksidasyonu ve sıcaklığı;

Kurşun çerçeve ve çipin malzemesi

Çip kaynaklama sürecindeki boşluklar, cihazın kullanımı sırasında yetersiz ısı dağılımına neden olarak hizmet ömrünü ve güvenilirliğini etkiler. Ultrasonik test yöntemleri kullanılarak, kaynak boşluğu kusurları hızlı ve etkili bir şekilde tespit edilebilir.