حل لإزالة الضوء الحساس على وافر شبه الموصل

لماذا تحتاج أقراص شبه الموصل إلى إزالة الفوتوريسست؟

في عمليات إنتاج شرائح شبه الموصلات، يتم استخدام كمية كبيرة من الفوتوريسست لنقل رسومات اللوحة الدائرية من خلال حساسية التطوير للقناع والفوتوريسست إلى الفوتوريسست الموجود على القرص، مما يشكل رسومات فوتوريسست محددة على سطح القرص. بعد ذلك، يتم إكمال عملية الحفر أو زرع الأيونات على الفيلم السفلي أو قاعدة القرص تحت حماية الفوتوريسست، ثم يتم إزالة الفوتوريسست الأصلي بالكامل.

إزالة الفوتوريسست هي الخطوة النهائية في عملية التصوير الضوئي. بعد اكتمال العمليات الرسومية مثل الحفر/زرع الأيونات، يكون الفوتوريسست المتبقي على سطح القرص قد أكمل وظائف نقل الرسم والطبقة الوقائية، ويتم إزالته بالكامل من خلال عملية إزالة الفوتوريسست.

إزالة مادة الفوتوريسست هي خطوة جد مهمة في عملية التصنيع الدقيقة. سواء تم إزالة مادة الفوتوريسست بالكامل أم لا، وما إذا كانت تسبب ضررًا للوحة الدائرية سيؤثر مباشرةً على عملية تصنيع رقائق الدوائر المتكاملة اللاحقة.

ما هي العمليات لإزالة الفوتوريسست في أشباه الموصلات؟

باستثناء الاختلاف في وسائط الفوتوريسست، يمكن تقسيمها إلى فئتين: الإزالة بالأكسدة والإزالة بالمذيبات.

مقارنة بين طرق إزالة اللُّصوق المختلفة:

كما يمكن رؤيته من الشكل أعلاه، فإن تقنية الفصل الجاف مناسبة لمعظم عمليات الفصل، مع فصل شامل وسريع، مما يجعلها أفضل طريقة بين العمليات الموجودة حاليًا. كما أن تقنية الفصل باستخدام المايكروويف PLASMA هي نوع من أنواع الفصل الجاف.

جهاز إزالة المادة الحساسة للضوء الخاص بنا باستخدام المايكروويف PLASMA مجهز بأول تقنية مولد إزالة المادة الحساسة للضوء بالمايكروويف شبه الموصلة المحلية، ويحتوي على رف دوران المغناطيسية لتوفير إخراج بلازما مايكروويف أكثر كفاءة وتجانساً. يوفر أقراص السيليكون والأجهزة المعدنية الأخرى تقنية قوة ثنائية "مايكروويف + تحيز RF" لتلبية احتياجات العملاء المختلفين.

مايكروويف PLASMA جهاز إزالة الضوء الحساس

① البلازما تحتوي على جزيئات الجذور الحرة دون انحياز ولا ضرر كهربائي؛

② يمكن وضع المنتج على托盘ات، أو في مجلات مفتوحة أو مقفلة، مع كفاءة معالجة عالية؛

③ يمكن تجهيز المجلة بإطار دوار، ومن خلال تصميم ECR المعقول وتنظيم جيد لتدفق الغاز، يمكن تحقيق مستوى عالٍ نسبيًا من الاتساق؛

④ تصميم نظام التحكم المتكامل، مع برامج تحكم محمية ببراءة اختراع، مما يجعل التشغيل أكثر سهولة؛