1.MDAM-CMPA200 ist ein ideales Schleif- und Poliersystem für die Hochleistungsschleifung und -politur verschiedener Materialwafer (SiC, Saphir, GaN, AlN...), wie z. B. Filtermaterialien, Keilmaterialien, LCD-Panele usw.
2.Vier Motortriebwerke und vier außergewöhnlich große Polierköpfe ermöglichen das gleichzeitige Polieren bis zu 48 2" Wafers. Daher ist die MP-Reihe Maschine ideal für den Einsatz in einer Volllastproduktionsumgebung.
3.Das automatische Steuerungspaneel der Maschine verwendet eine tragbare Touchscreen-Steuereinheit, und Prozessparameter können frei eingegeben und geändert werden.
4.Automatische Steuerung und intelligente Lade-/Entladesysteme können Wafers schnell auf Epitaxialvorbereitungsoberflächen schleifen. Dieses System ist besonders nützlich für den Betrieb harter Substratmaterialien und kann auch Wafers bis 8" ø verarbeiten.
5.MDAM-CMPA200 Präzisions schleifen- und polierenmaschine umfasst einen Hauptkörper, ein Fernsteuersystem, Haltevorrichtung, Vakuumsystem, Füllersystem, Schleif- und Polierplatten usw.
6.MDAM-CMPA200 Präzisions schleifen- und polierenmaschine, der Hauptkörper und alle Ersatzteile bestehen aus hoch korrosionsbeständigen Materialien, die gesamte Maschine ist korrosionsfest und eignet sich für chemisch-mechanisches Schleifen und Polieren verschiedener Halbleitermaterialien.
7.Durch ein eigenständiges Fernsteuersystem kann auch eine Mehrfachmaschinen-Kopplungssteuerung erreicht werden. Über eine Steuerstation können mehrere Schleif- und Poliermaschinen gesteuert werden, was es bequem macht, während des Prozesses Prozessparameter zu ändern. Es kann auch eine präzise numerische Steuerung mehrerer Prozesse gleichzeitig erreicht werden, was die Arbeits-effizienz und den Prozessgenauigkeit erheblich verbessert.
8. Das automatische Füllsystem kann die Tropfgeschwindigkeit je nach unterschiedlichen Prozessanforderungen anpassen und stellt sich automatisch ab, wenn das Schleifmittel aufgebraucht ist, um Schäden am Probestück bei Fehlen von Schleifmittel zu verhindern.
9. Das Gerätekontrollsistem verfügt über eine Zeiteinstellfunktion. Wenn die voreingestellte Zeit erreicht ist, schaltet sich das System automatisch aus.