ASKING DESCUM Fotolackentfernung ICP Trockenplasma-Fotolackentfernungsmaschine, China ASKING DESCUM Fotolackentfernung ICP Trockenplasma-Fotolackentfernungsmaschine Hersteller, Lieferanten, Fabrik

Beschreibung

ICP-Trockenplasma-Fotolack-Entfernungsmaschine

Die ICP-Trockenplasma-Fotolack-Entfernungsmaschine wird hauptsächlich zum Entfernen von Polymeren, zum Veraschen, Entkalken, zur Entfernung von Fotolack nach Ionenimplantation und zur Entfernung von Oberflächenrückständen verwendet. Der Hohlraum ist für 4-8 Zoll große Proben geeignet, wobei 1-2 Stücke in einem einzigen Prozess verarbeitet werden.

VERASCHUNG
Polymerentfernung
Trockenes Entfernen der Hartmaskenschicht
Entfernung des Fotowiderstands nach Ionenimplantation
Fotowiderstandsentfernung im BAW/SAW-Prozess
Trockenreinigung der Antireflex-Grafikfilmschicht
Entfernung von Oberflächenrückständen
Oberflächenreinigung nach dem Ätzen
DESCUM

ASKING DESCUM Fotolackentfernung ICP Dry Plasma Fotolackentfernungsmaschine Details

ASKING DESCUM Fotolackentfernung ICP Dry Plasma Fotolackentfernungsmaschine Fabrik

Normen

PLASMA			RF	RF
Power	ICP	1000w	1000w
Power		BIAS	600 W (Option)	600 W (Option)
Anwendbarer Umfang			4 bis 8 Jahre	4 bis 8 Jahre
Anzahl einzelner Verarbeitungssegmente			1	2
Aussehen Abmessungen			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Systemkontrolle			Industrielle Steuerung	Industrielle Steuerung
Automatisierungsstufe			maschinell	maschinell