Automatische CMP-Nachreinigung, China Automatische CMP-Nachreinigung – Hersteller, Lieferanten, Fabrik

Beschreibung

Reinigungsgeräte nach dem chemisch-mechanischen Polieren von Wafern

CMP-Pfosten Chean

Maschinenmerkmale

Starke Prozessfähigkeit
Doppelkammerbürsten mit einem breiten Spektrum an Prozessanwendbarkeit
Das Gerät nimmt eine kleine Fläche mit Abmessungen von 2200 * 800 * 2200 (mm) ein.

Anwendungsgebiete

6-8 Zoll CMP nach dem Bürsten
Reinigung nach dem Schleifen von SIC oder anderen Substraten

Technische Parameter

Reinigung nach 4-Zoll- und 6-Zoll-CMP
Zweikammer-Design, unabhängiger Kammerbetrieb Nass rein und trocken raus oder trocken rein und trocken raus
Hochgeschwindigkeits-Schleudertrocknen SRD

LoadPort-Einheit, Ladeeinheit

LoadPort ist die Ladeeinheit dieses Gerätes

Nasskassettenzufuhr
Hat eine feuchtigkeitsspendende Sprühfunktion

Bürsteneinheit, Waferreinigungseinheit

Zweikammereinheit, die zwei verschiedene Reinigungslösungen unterstützen kann
Die Bürstenposition kann je nach Rezeptur angepasst werden.Bandförderer

SRD-Einheit, Wafer-Trocknungseinheit

Schleudertrocknung mit Waferklemme, mit einer maximalen Geschwindigkeit von 4000 U/min
Kann AS-Reinigung auf der Waferoberfläche durchführen und DIW sprühen

UNLOAD-Einheit, Schneideeinheit

Die UnLoad-Einheit verfügt über eine unabhängige FFU, um die Sauberkeit der Waferausgabe zu gewährleisten

Conveyor

Nassbereich ist Bandförderer

Trockenbereich für Roboterteleportation

Beschreibung der Bürsteneinheit

Wie in der linken Abbildung gezeigt, besteht die Bürsteneinheit dieses Gerätes aus zwei Bürsteneinheiten, nämlich BU1 und BU2.

Der Bürstendruck jeder Einheit kann separat eingestellt werden (wie im Rezept angegeben) und jede Bürstenklingeneinheit kann separat mit unterschiedlichen chemischen Reinigungslösungen gewaschen werden.

Die Bürste der Maschine besteht aus PVA-Bürsten, einem auf dem Markt weit verbreiteten Typ.
Die Übertragung zwischen den Hohlräumen erfolgt über ein Förderband. Im Hohlraum befindet sich eine DIW-Spülung

SRD-Einheit

Die SRD-Einheit ist mit einem Klemm-CHUCK und einem AS-ARM ausgestattet, der die Waferoberfläche zusätzlich physikalisch reinigen und trockenschleudern kann.

Normen

Gerätegröße:	2200 * 800 * 2200 (mm)
Lade- und Entlademethoden	eintrocknen/einfeuchten/austrocknen
Anzahl Bürsteinheiten	2
Anzahl der SRD-Einheiten	1
Transportmethode	Nasszonen-Bandtransport, Trockenzonen-Robotertransport
Die Größe der Ausrüstung mit einer Bürstenkammer von 1 beträgt 1850 * 800 * 2200

Verpackung & Lieferung

Unternehmensprofil

FAQ

1. Über den Preis:
Alle unsere Preise sind wettbewerbsfähig und verhandelbar. Der Preis variiert je nach Konfiguration und Anpassungsaufwand Ihres Geräts.

2. Über die Probe:
Wir können Ihnen Dienstleistungen zur Musterproduktion anbieten, hierfür fallen jedoch möglicherweise Gebühren an.

3. Über die Zahlung:
Nachdem der Plan bestätigt wurde, müssen Sie uns zunächst eine Anzahlung leisten, und die Fabrik beginnt mit der Vorbereitung der Waren. Nach dem
Wenn die Ausrüstung bereit ist und Sie den Restbetrag bezahlen, versenden wir sie.

4. Über die Lieferung:
Nachdem die Herstellung der Ausrüstung abgeschlossen ist, senden wir Ihnen das Abnahmevideo zu und Sie können auch vor Ort vorbeikommen, um die Ausrüstung zu inspizieren.

5. Installation und Debugging:
Nachdem die Geräte in Ihrem Werk eingetroffen sind, können wir Techniker zur Installation und Fehlerbehebung der Geräte entsenden. Für diese Servicegebühr erstellen wir Ihnen ein separates Angebot.

6. Über die Garantie:

Für unsere Geräte gilt eine Garantiezeit von 12 Monaten. Wenn nach Ablauf der Garantiezeit Teile beschädigt sind und ersetzt werden müssen, berechnen wir nur den Selbstkostenpreis.