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  • Automatischer Einzel-Platten-Schleifer für chemische mechanische Polierung (CMP) von Wafers
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Automatischer Einzel-Platten-Schleifer für chemische mechanische Polierung (CMP) von Wafers

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Produktbeschreibung
ATOM Single Platen CMP

Maschinenmerkmale

Das Gerät ist flexibel und kann mehrere Köpfe unterstützen.
Die Prozessfähigkeit der Ausrüstung nähert sich dem Hauptstrommodellniveau von Produkten gleicher Größe.
Gute Konsistenz zwischen den Geräteprozessen.

Anwendungsbereiche

4-8 Zoll STI, ILD/IMD, TSV, TGV Schleifen und Oberflächenpolieren von Materialien wie SiC, LT, LN, GaAs usw.

Technische Parameter

4-Zoll, 6-Zoll, 8-Zoll Köpfe, Mehrzonensteuerung
Typ Φ20 Zoll 508MM Plattform
Kopfdruckregenauigkeit <0.05PSI
Drehgeschwindigkeitsregenauigkeit von Kopf und Plattform <2RPM

1. LoadPort-Einheit

Der Port kann umgeklappt werden, um das Cassette im Qtank zu tauchen und so die Bildung von Schmiermittelkristallen auf der
polierten Oberfläche des Wafers zu vermeiden. Mit Cassette-Mapping-Funktion ausgestattet.

2. Roboter-Materialabrufeinheit

Mit einem 4-Achsen-Roboter ausgestattet, kann er Wafers automatisch vom Cassette zur Schleifstation übertragen.

3. Schleifereinheit

Diese Einheit ist mit Platen * 1, Kopf * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1 und EPD-Endpunkt
erkennung ausgestattet. Sie kann automatische Waferschaltung und -entladung, Mehrzonenkopfsteuung, Slurry
landepunktänderung mit Rezepteinstellungen, Endpunkterkennung und andere Funktionen erreichen.
CMP-Schleiferkopf
Die auf diesem Gerät konfigurierten Schleiferköpfe wurden alle unabhängig von unserer Firma entwickelt, entworfen und hergestellt.
Unter ihnen ist der 4-Zoll 3-Höhle-Kopf ein einzigartiges Produkt unserer Firma, das die Lücke des fehlenden Mehrhöhle-4-Zoll-Kopfs in China schließt. Unsere Firma kann den Kopf schnell nach den Merkmalen des Kundenprodukts anpassen oder nach Maß anfertigen. Im Entwicklungsprozess der TGV-Dünnschicht (200um) Produkte wurde die interne Struktur des Kopfs modifiziert, um die Anforderungen der Dünnschichtschleifung zu erfüllen. Während des Entwicklungsprozesses der LN-Oberflächen- OX-Schleiftechnologie hat unsere Firma den 6-Zoll-Kopf tiefgreifend aktualisiert und erfolgreich den Produktranforderungen des Kunden entsprochen.
ANWENDUNGEN
Herkömmlicher IC-Planarisierungs-Schleifprozess;
TGV/TSV-Prozess;
Smart Cut und Pre-Bonding CMP;
SIC-Substratschleifung/Galliumarsenid-Schleifung.
Spezifikation
Hafen
Menge * 1, mit Q-Tank
Roboter
Menge * 1, für Waferschaltung
HCLU
Menge * 1, für automatisches Laden und Entladen von Wafers
Schleifkopf
Menge * 13 Kavitätsteuerung, Steuergenauigkeit von 0,1 PSI, kann 400-1200 µm Waferoperationen unterstützen.
Geschwindigkeit der Schleifkopf
5-150U/min
Polierscheibe
Menge * 1 Schleifscheiben Größe 508mm, Geschwindigkeit der Schleifpads 10-150u/min.
Ausrüstungsarm
Menge * 1 Schleifpad. Das Schleifpad kann online (gleichzeitig) oder offline (nach dem Schleifen) bearbeitet werden. Der Ausrüstungs-
arm ist mit einer Ausrüstungsschale ausgestattet, die rotieren und nach oben und unten bewegt werden kann, wobei die Geschwindigkeit und das Nachdruckgewicht kontrolliert werden können. Die
ausrüstungswerkzeuge sind auf der Ausrüstungsschale installiert und können schnell
entfernt werden. Je nach verschiedenen Arten von Schleifpads werden verschiedene Arten von Dressing-Werkzeugen konfiguriert, einschließlich Dressing-
bürsten, Diamantringe und Diamantscheiben.
UPA Schleifkopf Luftdrucksteuereinheit
Menge * 13. Zoneneinstellung für einen besseren Effekt der Oberflächenplanarisierung
Schleifflüssigkeits-Versorgungspumpe
Menge * 2. Peristaltische Pumpen werden zur Flüssigkeitszufuhr verwendet, mit 2 peristaltischen Pumpen, die konfiguriert sind, um unterschiedliche Schleifmittel auf den Schleifscheiben zu liefern. Jede Pumpe kann in jedem Schritt des Prozesses eingesetzt werden.
flüssigkeiten auf die Schleifscheibe. Jede Pumpe kann in jedem Schritt des Prozesses eingesetzt werden.
Schlamm-Arm
Menge * 1 kann den Ablagepunkt des Schlammes kontrollieren und die Schleifpads reinigen.
Das Operationssystem ermöglicht eine Benutzerebene-Kontrolle, wie Betriebsmodus, Wartungsmodus und Technikmodus, wobei verschiedene Modi durch Passwörter geschützt sind. Die Systemsoftware kann die Prozessparameter jedes Prozessschritts bearbeiten und die dünne Schicht auf der Chipschichtoberfläche gemäß dem Programm planarisieren und polieren. Sie kann den Betriebsstatus der Anlage überwachen, Prozessparameter in Echtzeit überwachen und das Softwareprogramm speichert automatisch verschiedene Prozessdaten. Mit Notaus-Schalter ausgestattet.
verschiedene Modi werden durch Passwörter geschützt. Das Systemsoftware kann die Prozessparameter jedes Prozessschritts bearbeiten und die dünne Schicht auf der Chipschichtoberfläche gemäß dem Programm planarisieren und
polieren. Es kann den Betriebsstatus der Anlage überwachen, Prozessparameter in Echtzeit überwachen und die Software speichert automatisch verschiedene Prozessdaten. Ausgerüstet mit einem Notaus-Schalter
prozessparameter in Echtzeit und die Software kann automatisch verschiedene Prozessdaten speichern. Mit einem Notaus-Schalter ausgestattet
taste, die verwendet wird, um den Betrieb von Geräten sofort zu stoppen und die Steuerungsspannung abzuschalten.
Verpackung & Lieferung
Unternehmensprofil
FAQ
1. Preisinformationen:
Alle unsere Preise sind wettbewerbsfähig und verhandelbar. Der Preis variiert je nach Konfiguration und Komplexität der Anpassung Ihres Geräts.

2. Über Stichprobe:
Wir können Ihnen Stichprobenproduktionsdienstleistungen anbieten, Sie müssen jedoch einige Gebühren übernehmen.

3. Über Zahlung:
Wenn der Plan bestätigt ist, müssen Sie uns zuerst einen Anzahlbetrag zahlen und die Fabrik wird beginnen, die Waren vorzubereiten. Nachdem die
ausrüstung bereitsteht und Sie den Restbetrag bezahlt haben, werden wir sie verschicken.

4. Über Lieferung:
Nachdem die Fertigung des Geräts abgeschlossen ist, werden wir Ihnen das Akzeptanzvideo senden und Sie können auch vor Ort kommen, um das Gerät zu inspizieren.

5. Installation und Feinabstimmung:
Wenn das Gerät in Ihrer Fabrik eintrifft, können wir Ingenieure entsenden, um das Gerät zu installieren und einzustellen. Dafür werden wir Ihnen eine separate Kostenvorabschätzung bereitstellen.

6. Über die Garantie:
Unsere Geräte haben eine Garantie von 12 Monaten. Nach Ablauf der Garantieperiode werden wir bei Schäden an Ersatzteilen nur den Kostenpreis verlangen, falls diese ersetzt werden müssen.

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