Automatischer chemisch-mechanischer Wafer-Polierer CMP mit einer Platte, China Automatischer chemisch-mechanischer Wafer-Polierer CMP mit einer Platte, Hersteller, Lieferanten, Fabrik

Beschreibung

ATOM Einplatten-CMP

Maschinenmerkmale

Das Gerät ist flexibel und kann mehrere Köpfe unterstützen.
Die Prozessfähigkeit der Anlage liegt nahe am Niveau der Mainstream-Modelle von Produkten gleicher Größe.
Gute Konsistenz des Geräteübergreifenden Prozesses.

Anwendungsgebiete

4-8 Zoll STI-, ILD/IMD-, TSV-, TGV-Polieren und Oberflächenpolieren von Verbindungen wie SiC, LT, LN, GaAs usw.

Technische Parameter

4-Zoll-, 6-Zoll- und 8-Zoll-Köpfe, Mehrzonensteuerung
Art der Φ20 Zoll 508MM Platte
Genauigkeit der Kopfdruckregelung <0.05 PSI
Genauigkeit der Drehzahlregelung von Kopf und Walze < 2 U/min

Produkt: Automatischer chemisch-mechanischer Waferpolierer mit einer Platte, cmp-53

1. LoadPort-Einheit

Der Anschluss kann umgedreht werden, um die Kassette in den Qtank einzutauchen, wodurch die Bildung von Schlammkristallen auf dem
polierte Oberfläche des Wafers. Ausgestattet mit Cassette Mapping-Funktion.

Produkt: Automatischer chemisch-mechanischer Waferpolierer mit einer Platte, cmp-54

2. Robotermaterial-Rückholeinheit

Ausgestattet mit einem 4-Achsen-Roboter kann es Wafer automatisch von der Kassette zur Poliereinheit transferieren.

Produkt: Automatischer chemisch-mechanischer Waferpolierer mit einer Platte, cmp-55

3. Poliereinheit

Dieses Gerät ist ausgestattet mit Platte * 1, Kopf * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1 und EPD-Endpunkt
Erkennung. Es ermöglicht automatisches Laden und Entladen von Wafern, Mehrzonenkopfsteuerung, Slurry
Landepunktänderung mit Rezepteinstellungen, Endpunkterkennung und anderen Funktionen.

Produkt: Automatischer chemisch-mechanischer Waferpolierer mit einer Platte, cmp-56

CMP Polierkopf

Die auf diesem Gerät konfigurierten Polierköpfe werden alle von unserem Unternehmen unabhängig entwickelt, entworfen und produziert.
Darunter ist der 4-Zoll-3-Hohlraum-Kopf ein einzigartiges Produkt, das von unserem Unternehmen entwickelt wurde und die Lücke füllt, die es in China an 4-Zoll-Kopf mit mehreren Hohlräumen gibt. Unser Unternehmen kann den Kopf schnell entsprechend den Eigenschaften des Produkts des Kunden modifizieren oder anpassen. Bei der Entwicklung von TGV-Dünnschichtprodukten (200 µm) wurde die interne Struktur des Kopfes modifiziert, um den Anforderungen des Dünnschichtpolierens gerecht zu werden. Während des Entwicklungsprozesses der LN-Oberflächen-OX-Poliertechnologie hat unser Unternehmen den 6-Zoll-Kopf grundlegend verbessert und die Produktanforderungen des Kunden erfolgreich erfüllt.

Produkt: Automatischer chemisch-mechanischer Waferpolierer mit einer Platte, cmp-57

Anwendungen

Traditioneller IC-Planarisierungspolierprozess;

TGV/TSV-Verfahren;

Smart Cut und Pre-Bonding CMP;

Polieren von SIC-Substraten/Polieren von Galliumarsenid.

Produkt: Automatischer chemisch-mechanischer Waferpolierer mit einer Platte, cmp-58

Normen

Hafen	Menge * 1, mit Q-Tank
Roboter	Menge * 1, für Wafertransfer
HCLU	Anzahl * 1, zum automatischen Be- und Entladen von Wafern
Polierkopf	Menge * 13 Hohlraumsteuerung, Steuerungsgenauigkeit von 0.1 PSI, kann 400–1200 UM-Waferoperationen unterstützen.
Geschwindigkeit des Polierkopfes	5-150RPM
Polierscheibe	Menge * 1 Polierscheibe, Größe 508 mm, Polierpad-Geschwindigkeit 10–150 U/min.
Trimmarm	Menge * 1 Polierpad. Das Polierpad kann online (gleichzeitig) oder offline (nach dem Polieren) poliert werden. Das Trimmen Der Arm ist mit einer Trimmwelle ausgestattet, die sich drehen und auf und ab bewegen kann, und die Geschwindigkeit und der Abtrieb können gesteuert werden. Der Das Trimmwerkzeug ist auf der Trimmwelle montiert und kann schnell entfernt. Entsprechend den verschiedenen Polierpadtypen werden unterschiedliche Abrichtwerkzeuge konfiguriert, darunter Abrichtwerkzeuge Bürsten, Diamantringe und Diamantscheiben.
UPA Polierkopf Luftdruck-Steuergerät	Menge * 13Zone einstellbar für bessere Oberflächenplanarisierungswirkung
Polierflüssigkeits-Versorgungspumpe	Menge * 2. Schlauchpumpen werden für die Flüssigkeitszufuhr verwendet, wobei 2 Schlauchpumpen so konfiguriert sind, dass sie unterschiedliche Poliermittel liefern Flüssigkeiten zur Polierscheibe. Jede Pumpe kann in jedem Prozessschritt eingesetzt werden.
Güllearm	Menge * 1 kann den Landepunkt der Aufschlämmung steuern und das Polierpad reinigen.
Das Betriebskontrollsystem kann eine Steuerung auf Benutzerebene erreichen, wie z. B. Bedienermodus, Wartungsmodus und technischer Modus, und var Die verschiedenen Modi werden durch Passwörter gesteuert. Die Systemsoftware kann die Prozessparameter jedes Prozessschrittes bearbeiten und Polieren Sie den dünnen Film auf der Chipoberfläche gemäß dem Programm. Es kann den Betriebsstatus der Ausrüstung überwachen, überwachen Prozessparameter in Echtzeit, und die Software kann verschiedene Prozessdaten automatisch speichern. Ausgestattet mit einem Not-Aus Taste, mit der der Gerätebetrieb sofort gestoppt und die Steuerstromversorgung unterbrochen werden kann.

Verpackung & Lieferung

Produkt: Automatischer chemisch-mechanischer Waferpolierer mit einer Platte, cmp-59

Produkt: Automatischer chemisch-mechanischer Waferpolierer mit einer Platte, cmp-60

Unternehmensprofil

FAQ

1. Über den Preis:
Alle unsere Preise sind wettbewerbsfähig und verhandelbar. Der Preis variiert je nach Konfiguration und Anpassungsaufwand Ihres Geräts.

2. Über die Probe:
Wir können Ihnen Dienstleistungen zur Musterproduktion anbieten, hierfür fallen jedoch möglicherweise Gebühren an.

3. Über die Zahlung:
Nachdem der Plan bestätigt wurde, müssen Sie uns zunächst eine Anzahlung leisten, und die Fabrik beginnt mit der Vorbereitung der Waren. Nach dem
Wenn die Ausrüstung bereit ist und Sie den Restbetrag bezahlen, versenden wir sie.

4. Über die Lieferung:
Nachdem die Herstellung der Ausrüstung abgeschlossen ist, senden wir Ihnen das Abnahmevideo zu und Sie können auch vor Ort vorbeikommen, um die Ausrüstung zu inspizieren.

5. Installation und Debugging:
Nachdem die Geräte in Ihrem Werk eingetroffen sind, können wir Techniker zur Installation und Fehlerbehebung der Geräte entsenden. Für diese Servicegebühr erstellen wir Ihnen ein separates Angebot.

6. Über die Garantie:
Für unsere Geräte gilt eine Garantiezeit von 12 Monaten. Wenn nach Ablauf der Garantiezeit Teile beschädigt sind und ersetzt werden müssen, berechnen wir nur den Selbstkostenpreis.