Modell |
MDTS-WT2200 |
Anzahl der Dünnachsen |
2 |
Anzahl Werkbänke |
3, Indexmethode |
Schleifscheibenwelle |
Anzahl der Luftspindeln: 2 Spindelmotor: 7,5 kW Frequenzumrichtermotor Geschwindigkeit: 0~6000 U/min, stufenlos verstellbar Schleifradnorm: Φ203mm Schleifradtyp: Diamantschleifrad |
Schleifradfütterungssystem |
Anzahl: 2 Satz Futtersystem-Steuerungsmethode: LM-Schienen und Kugelgewinde Kombination Antriebsmotor: Servomotor Mindestfutterspeed: 0,1um/sec Maximaler Futtergeschwindigkeit: 50mm/sec |
Werkbank |
Menge: 3, Indexmodus Spindelmotor: Servomotor Geschwindigkeit: 0~300rpm, stufenlos verstellbar Aufnahmemethode: Vakuumanziehung |
Arbeitsplattform-Drehtisch |
Antriebsart: Servomotor Drehbereich: 0~240° Positionierungsgestaltung: sensorgestützte Positionierung |
Automatische Dicke Messsystem |
Messmethode: IPG-Kontakt-Online-Echtzeitmessung Anzahl der Messköpfe: 2 Messempfänger: Sensor auf 0,1 µm Niveau |
Automatisches Laden\/ Entladen-System |
Box-Typ: 6-8-Zoll-Cassette, 25 Schichten Methode für automatisches Laden\/Entladen: Mit Wafer-Manipulator, um Schäden an dünnen Wafers zu vermeiden WaferDicke: 150um-1000um |
Arbeitsflächenreinigungsfunktion |
Reinigungsmethode: Ölschleifpapierpolitur & DI-Wasser + Luft zweiflüssig spülen |
Automatische Reinigung/ Trocknungssystem |
Reinigung: DIW Düsenreinigung Trocknungsmethode: Abblasen + Trocknen Geschwindigkeit: max. 1000rpm stufenlos verstellbar |
Statische Eliminierungssystem |
Ionenschwert oder Orion-Lüfter |
Spindelkühler |
Temperatur: 18-22°C Durchflussrate: 4~8L/min |
Kontrollsystem |
Steuerungssystem: PC-Steuerungssystem, Touchscreen mit 3-Farben-Alarmlampe Chinesisch/Englisch Mensch-Maschine-Schnittstelle |
Maximale Waferrgröße |
Maximal kompatibel mit 8 Zoll |
Geschwindigkeitsbereich |
0~6000 UMD |
Z-Achse Verfahrweg |
160mm |
Z-Achsen-Zuführgeschwindigkeit |
0,1~100µm/sec |
Schnellrückfahrgeschwindigkeit der Z-Achse |
50mm/sec |
Auflösung der Z-Achse |
0.1um |
Online Dickenmessbereich |
0~1800µm |
Auflösung der Online-Dickenmessung |
0.1um |
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