Integrierte Lösung für Halbleiterverpackung Mikrowellenplasma-Fotolack-Entfernungsgerät , China Integrierte Lösung für Halbleiterverpackung Mikrowellenplasma-Fotolack-Entfernungsgerät Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeschreibung

Mikrowellenplasma Photoresist-Entfernungsgerät

Plasma Integrierte Lösung für Halbleiterverpackungen

Integrierte Lösung für Halbleiterverpackungen

Die Mikrowellen-Plasmaphotoresist-Entfernungsanlage ist ein System zur Entfernung von Photoresist bei niedrigem Spannungsniveau, das speziell für Halbleiter entwickelt wurde. Durch Anwendung von Mikrowellen mit einer Frequenz von 2,45 GHz am Fenster der Wand der Vakuumkammer wird eine große und kontinuierliche Menge an Plasma erzeugt, das in die Kammer gelangt, um den Chip reinigungsprozess zu durchführen. Geeignet für Materialboxen unterschiedlicher Größen kann es verschiedene Anforderungen erfüllen und individuelle Lösungen bieten.

Integrated Solution for Semiconductor Packaging Microwave Plasma Photoresist Removal Machine supplier

Integrated Solution for Semiconductor Packaging Microwave Plasma Photoresist Removal Machine manufacture

Integrated Solution for Semiconductor Packaging Microwave Plasma Photoresist Removal Machine factory

Integrated Solution for Semiconductor Packaging Microwave Plasma Photoresist Removal Machine details

Spezifikation

Plasmaquelle	mikrowellen
leistung	0-1250W
arbeitsraum	6 Magazinbereiche (Magazin-Größenbereich: L260mmxT95mmxH190mm)
verarbeitungsleistung	35um Pitch/40um Bump 15x15mm maximale Würfelgröße
Aussehende Abmessungen	480mmx470mmx500mm
Systemsteuerung	Industrielle Steuerungssysteme
Automatisierungsgrad	Handbuch