PROJEKT
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Inhalt
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Produkttyp
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6", 8", 12" Rahmenwafer
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2D-Inspektionselemente
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Fremdkörper, Klebstoffreste, Partikel, Kratzer, Risse, Verunreinigungen, CP-Abweichungen, übermäßige Fläche usw.
Schnittkanalabweichung und Absplitterungen |
Elemente der Schnittpfadprüfung
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6", 8", 12" Rahmenkassette
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Objektiv und Auflösung
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2x (2.75 um)/3.5x (1.57 um)/
5x(1.1um)/7.5x(0.73um)/10x(0.55um) |
Präzision
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0.55 μm/Pixel
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Optional und individuell
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INK-Modul, IR-Modul
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