Projekt
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Inhalt
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Produkttyp
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6", 8", 12" Rahmenwafer
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2D-Prüfobjekte
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Fremdkörper, verbliebener Klebstoff, Partikel, Kratzer, Risse, Verschmutzungen, CP-Abweichung, übermäßige Fläche, etc.
Abweichung und Splitterung im Schnittkanal |
Prüfpunkte für den Schnittpfad
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6", 8", 12" Rahmenkassette
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Linse und Auflösung
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2x (2,75 µm) / 3,5x (1,57 µm) /
5x (1,1 µm) / 7,5x (0,73 µm) / 10x (0,55 µm) |
Präzision
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0,55 µm/Pixel
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Optional und angepasst
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TINTEN-Modul, IR-Modul
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