MCXJ-MLS8 Maskenloses Lithografiesystem, China MCXJ-MLS8 Maskenloses Lithografiesystem Hersteller, Lieferanten, Fabrik

Beschreibung

Beispiel:

MCXJ-MLS8 Herstellung eines maskenlosen Lithografiesystems

Diagramm der Gerätestruktur

MCXJ-MLS8 Lieferant von maskenlosen Lithografiesystemen

Normen

Exposure-Host-Strukturdiagramm

Struktur	veranschaulichen
Freilegen der Arbeitsplatte	Belichtungsbereich: Arbeitsplatte, Substratplatzierungsbereich
Optisches System	Laseremissionsformungsbereich
Umweltkontrollsystem	Kontrollieren Sie die Innentemperatur und den Überdruck des Geräts
Plattformsystem	Steuert die Bewegung des Belichtungstisches, um den Vorgang des Belichtungspfads abzuschließen
Kontrollsystem	Steuerung der gesamten Anlage

Hinweis: Da sich durch die Aufrüstung der Maschine das tatsächliche Erscheinungsbild ändern kann, unterliegen die Einzelheiten dem tatsächlichen Produkt.

Nein.	Arbeitsumfeld	Erfordern
1	Lichtquellenumgebung	Gelbes Licht
2	Temperaturen	22 ± 2
3	Luftfeuchtigkeit	50% ± 10%
4	Sauberkeit	1000
5	CDA	0.6 ± 0.1 MPa, 200 l/min, trockene, saubere Luft
6	Energieversorgung	220–240 V, 50/60 Hz, 2.5 kW; das Erdungskabel muss geerdet sein.
7	Kühlwasser	Temp.: 10℃~20℃ Druck: 0.3 MPa ~ 0.5 MPa Durchflussrate: 20 l/min Druckunterschied: 0.3 MPa Kaliber übernehmen: Rc3/8
8	Veranstaltungsort	Niveau: ±3mm/3000mm Schütteln: VC-B Lager: 750kg/㎡
10	Internet	Ein Netzwerkport
11	Maschinengröße	1300 x 1100 x 2100 mm
12	Gerätegewicht	1500 kg

Nein.	PROJEKT	Spez.	Anmerkung
1	Auflösung	0.6 µm/oder andere Anforderungen	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10 % bei 1 µm
3	Substratdicke	0.2 mm × 4 mm
4	Genauigkeit des Datumsrasters	60nm
5	Auflage	± 500nm	130mmx130mm
6	Nähgenauigkeit	± 200nm	AZ703
7	MAXIMALE Belichtungsgröße	190X190mm
8	Durchsatz	≥300mm2/min	≤ 50 mJ/cm²;
9	Lichtquelle	LD 375 nm
10	Lichtleistung	6W
11	Energiegleichmäßigkeit	≥ 95%
12	Licht Leben	10000hr

Verpackung & Lieferung

Unternehmensprofil

Wir verfügen über 16 Jahre Erfahrung im Geräteverkauf. Wir können Ihnen professionelle Komplettlösungen für Semiconductor Front-End- und Back-End Package Line-Geräte aus China anbieten.